压印光刻用复制模制作装置及其制作方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种压印光刻用复制模制作装置及压印方法。本发明专利技术的一方面的压印光刻用复制模制作装置构成为包括：辊转印部，其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面；树脂膜供应部，其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部，而向所述辊转印部进行供应；以及模膜回收部，其断续地卷取通过所述辊转印部在树脂膜的一侧的表面以规定间距贴附所述模的模膜。

【技术实现步骤摘要】
压印光刻用复制模制作装置及其制作方法
本专利技术涉及一种压印光刻用复制模制作装置及其制作方法，尤其涉及一种利用旋转而沿既定的区间进行进退运动的冲压辊来将母片上的复制(Replica)模转印(Transfer)于被断续地供应的树脂膜的一面的压印光刻用复制模制作装置及其制作方法。
技术介绍
就利用模(Mold)以压印(Imprint)的方式成型纳米大小(1～100nm)的图案的纳米压印(Nanoimprint)工程而言，虽然可以利用母(Master)片在基板上直接成型图案，但也可以从母片制作复制(Replica)模，并利用所制作的复制模来成型图案。与现有的光刻(photo-lithography)工程相比，这样的纳米压印工程可以通过比较简单的工程来成型图案，并且，当利用3次元形态的模时，可以容易成型3次元图案，当利用具有30nm以下的微细线宽的模时，还具有连光刻(photolithography)工程无法实现的微细线宽的图案也能成型的优点。因此，在半导体工程或平板显示器制造工程中，呈现出广泛适用纳米压印工程来代替现有的光刻(photo-lithography)工程的趋势。当利用纳米压印工程来成型图案时，如前述，有利用母(Master)片在基板上直接形成图案的方法。然而，这种方法的缺点在于，反复作业导致的疲劳积累使母(Master)片的图案容易受损伤等，由于价昂的母(Master)片的更换周期短，因而经济性下降。于是，近来，主要利用从母片制作复制(Replica)模，并利用所制作的复制模来成型图案的方法。在从母片制作复制(Replica)模，并利用所制作的复制模来成型图案的纳米压印工程的情况下，需要先制作具有期望的形态的图案的复制模。以往，在从母片制作复制(Replica)模时，如图1所示，通常以如下方式进行，即，在形成了期望的形态的微细图案的母片100上以预定的厚度涂布树脂200，并用按压设备300从垂直方向按压来将利用树脂的复制(Replica)模200-1转印(Transfer)于树脂膜400。然而，如图1所示，从上方向垂直方向对涂布有树脂的母片加压来转印于树脂膜的方式因图案非常微细的缘故，按压基板的加压力无法被均匀地传递至整个基板。因此，存在无法将基板，即母片的图案准确而均匀地转印于复制模的缺点。此外，就如图1所示的按压方法而言，在转印图案后从母片分离模的脱模性并不良好，存在图案的一部分在脱模过程中受损伤等，整体图案精度及准确性下降的缺点，并且，由于复制(Replica)模的大小越大，对其加压的按压面积也要变大，因而在制作大面积复制(Replica)模时受限。此外，由于在基材上涂布树脂的过程等在另外的场所和装备上进行，因而存在空间的效率性及工程的连续性下降，且作业需要较多的时间等，整体生产工程的效率性及量产性下降的缺点。现有技术文献专利文献专利文献1：韩国公开专利第10-2010-0043541号(2010年04月29日)。
技术实现思路
技术问题本专利技术旨在解决的课题在于，提供一种能够确保空间的效率性及工程的连续性，且缩短作业时间等，能够提高整体生产工程的效率性及量产性的压印光刻用复制模制作装置及其制作方法。本专利技术旨在解决的另一课题在于，提供一种脱模性良好且能够提高图案的精度及准确性的压印光刻用复制模制作装置及其制作方法。本专利技术旨在解决的又一课题在于，提供一种母片受损伤的可能性较低，因而能够持续性地再使用的压印光刻用复制模制作装置及其制作方法。技术方案作为课题的解决方案，根据本专利技术的一方面，提供一种压印光刻用复制模制作装置，包括：辊转印部，其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面；树脂膜供应部，其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部，而向所述辊转印部进行供应；以及模膜回收部，其断续地卷取通过所述辊转印部在树脂膜的一侧的表面以规定间距贴附所述模的模膜。本专利技术的压印光刻用复制模制作装置中适用的所述辊转印部可以构成为包括：母片承载器，其供安放具有图案形状且在所述图案形状上形成有模的母片W；冲压辊，其使被安放在所述母片承载器上的母片的模表面与所述树脂膜的下面相互贴紧来将所述模转印于树脂膜的下面；底架，其能够旋转地设置所述冲压辊；以及底架驱动单元，其驱动为使所述底架由载台的一侧的待机位置移动至另一侧，并从另一侧返回至一侧的所述待机位置。这里，作为一例，所述母片承载器可以包括真空吸附孔，该真空吸附孔用于吸附固定所述母片。作为另一例，所述母片承载器也可以是利用静电力来吸附固定所述母片的静电吸盘。此外，所述辊转印部具备装载所述母片承载器装载的载台。辊转印部还可以包括整列缸，该整列缸以使所述母片上的模的上面的高度与所述载台的上面相同，或比所述载台的上面高规定距离的方式对所述母片承载器进行升降驱动。辊转印部还可以包括固化机构，其该固化机构具备使被转印于树脂膜的所述模固化的UV光源。优选地，可以构成为树脂膜位于所述固化机构与模之间，且构成为所述固化机构产生的UV透射所述树脂膜而使贴紧于树脂膜侧的部分的模先固化，以使模能够顺利地从母片分离。此外，适用于本专利技术的实施例的所述树脂膜供应部可以构成为包括：被驱动辊，其为了使所述树脂膜断续地退卷而旋转；第一保护膜卷取辊，其从所述树脂膜去除并卷取贴附在从所述被驱动辊退卷的树脂膜的一面的前面保护膜；第二保护膜卷取辊，其从所述树脂膜去除并卷取贴附在从所述被驱动辊退卷的树脂膜另一面的后面保护膜；以及多个导向辊，其配置于所述被驱动辊与第一保护膜卷取辊之间以及被驱动辊与第二保护膜卷取辊之间，并对树脂膜及保护膜的移动进行导向。树脂膜供应部还可以包括编码器辊，该编码器辊在所述树脂膜移动时旋转而检测被断续地供应至所述辊转印部的树脂膜的移动距离。这里，优选所述编码器辊构成为位于构成树脂膜供应部的被驱动辊与所述辊转印部之间。此外，适用于本专利技术的实施例的所述模膜回收部可以构成为包括：驱动辊，其为了卷取由所述树脂膜供应部供应并在辊转印部经转印处理的所述模膜而被断续地旋转驱动；垫膜辊，其以介于被卷取至所述驱动辊的模膜之间的方式供应垫膜；多个导向辊，其配置于所述驱动辊与辊转印部之间而对模膜的移动进行导向；以及张力辊，其赋予用于使向所述驱动辊侧移动的模膜维持紧绷的张力。此时，可以是，所述张力辊向使张力簧基于构成辊转印部的底架的移动位置拉伸或复原的方向移动，由此，根据基于底架的移动的所述张力簧的拉伸或复原，施加于模膜的张力变化。优选地，也可以构成为，以所述导向辊中的模膜的移动方向为基准，在所述张力辊的前方配置有至少一个导向辊，从而构成为将基于所述底架的移动的模膜的脱模角度限制为预定的角度。根据本专利技术，还可以包括：标记器，其设置于所述树脂膜供应部与辊转印部之间，且在向辊转印部侧断续地移动的所述树脂膜上做用于确认转印开始位置的位置确认标记。此外，可以是，通过装载/卸载机械手从母片收纳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，包括：/n辊转印部，其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面；/n树脂膜供应部，其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部，而向所述辊转印部进行供应；以及/n模膜回收部，其断续地卷取通过所述辊转印部在树脂膜的一侧的表面以规定间距贴附所述模的模膜。/n

【技术特征摘要】
20181121 KR 10-2018-0144866;20181122 KR 10-2018-011.一种压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，包括：
辊转印部，其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面；
树脂膜供应部，其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部，而向所述辊转印部进行供应；以及
模膜回收部，其断续地卷取通过所述辊转印部在树脂膜的一侧的表面以规定间距贴附所述模的模膜。


2.根据权利要求1所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述辊转印部包括：
母片承载器，其供安放具有图案形状且在所述图案形状上形成有模的母片；
冲压辊，其使被安放在所述母片承载器上的母片的模表面与所述树脂膜的下面相互贴紧来将所述模转印于树脂膜的下面；
底架，其能够旋转地设置所述冲压辊；以及
底架驱动单元，其驱动为使所述底架由载台的一侧的待机位置移动至另一侧，并由另一侧返回至一侧的所述待机位置。


3.根据权利要求2所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述母片承载器包括：
真空吸附孔，其用于吸附固定所述母片。


4.根据权利要求2所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述母片承载器是利用静电力来吸附固定所述母片的静电吸盘。


5.根据权利要求2所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述辊转印部具备装载所述母片承载器的载台。


6.根据权利要求5所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述辊转印部还包括：
整列缸，其以使所述母片上的模的上面的高度与所述载台的上面相同，或比所述载台的上面高规定距离的方式对所述母片承载器进行升降驱动。


7.根据权利要求2所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述辊转印部还包括：
固化机构，其具备使被转印于树脂膜的所述模固化的UV光源。


8.根据权利要求7所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
构成为树脂膜位于所述固化机构与所述模之间，且构成为所述固化机构产生的UV透射所述树脂膜而使贴紧于树脂膜侧的部分的模先固化，以使模能够顺利地从母片分离。


9.根据权利要求1所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述树脂膜供应部包括：
被驱动辊，其为了使所述树脂膜断续地退卷而旋转；
第一保护膜卷取辊，其从所述树脂膜去除并卷取贴附在从所述被驱动辊退卷的树脂膜的一面的前面保护膜；
第二保护膜卷取辊，其从所述树脂膜去除并卷取贴附在从所述被驱动辊退卷的树脂膜另一面的后面保护膜；以及
多个导向辊，其配置于所述被驱动辊与第一保护膜卷取辊之间以及被驱动辊与第二保护膜卷取辊之间，并对树脂膜及保护膜的移动进行导向。


10.根据权利要求1所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述树脂膜供应部包括：
编码器辊，其在所述树脂膜移动时旋转而检测被断续地供应至所述辊转印部的树脂膜的移动距离。


11.根据权利要求10所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述树脂膜供应部包括为了使所述树脂膜断续地退卷而旋转的被驱动辊，
所述编码器辊位于所述被驱动辊与所述辊转印部之间。


12.根据权利要求1所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述模膜回收部包括：
驱动辊，其为了卷取由所述树脂膜供应部供应并在辊转印部经转印处理的所述模膜而被断续地旋转驱动；
垫膜辊，其以介于被卷取至所述驱动辊的模膜之间的方式供应垫膜；
多个导向辊，其配置于所述驱动辊与辊转印部之间而对模膜的移动进行导向；以及
张力辊，其赋予用于使向所述驱动辊侧移动的模膜维持紧绷的张力。


13.根据权利要求12所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
所述辊转印部包括：
冲压辊，其使母片的模表面与所述树脂膜的下面相互贴紧来将所述模转印于树脂膜的下面；
底架，其能够旋转地设置所述冲压辊；以及
底架驱动单元，其驱动为使所述底架由载台的一侧的待机位置移动至另一侧，并从另一侧返回至一侧的所述待机位置，
所述张力辊向使张力簧基于所述底架的移动位置拉伸或复原的方向移动，根据基于所述底架的移动的所述张力簧的拉伸或复原，施加于模膜的张力变化。


14.根据权利要求13所述的压印光刻用复制模制作装置，其特征在于，
以所述导向辊中的模膜的移动方向为基准，在所述张力辊的前方配置有至少一个导向辊，从而构成为将基于所述底架的移动的模膜的脱模角度限制为预定的角度。

【专利技术属性】
技术研发人员：具滋鹏，金泰完，权相民，郑熙锡，
申请(专利权)人：吉佳蓝科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR