下载压印光刻用复制模制作装置及其制作方法的技术资料

文档序号:24330077

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本发明公开一种压印光刻用复制模制作装置及压印方法。本发明的一方面的压印光刻用复制模制作装置构成为包括:辊转印部,其以辊压方式将模转印于由一侧供应的树脂膜的下面;树脂膜供应部,其使待转印所述模的树脂膜断续地退卷至所述辊转印部,而向所述辊转印部...
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