一种防止氮气内漏的装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，供气设备包括复数个气体钢瓶、供气总管、氮气总管，气体钢瓶通过对应的供气通道与供气总管连接，气体钢瓶通过对应的氮气通道与氮气总管连接，供气通道上设有供气管关断阀。氮气通道上设有扫净关断阀、压力检测器、真空抽气机构和氮气隔离阀，扫净关断阀靠近气体钢瓶，氮气隔离阀靠近氮气总管，压力检测器和真空抽气机构分别设于扫净关断阀和氮气隔离阀之间，压力检测器与控制器连接，控制器与压力警报器连接。本发明专利技术的防止氮气内漏的装置，用以解决现有技术中氮气内漏污染制程气体，造成产品的报废且不易甄别等问题。

【技术实现步骤摘要】
一种防止氮气内漏的装置
本专利技术涉及气体供应
，具体涉及一种防止氮气内漏的装置。
技术介绍
现有气瓶柜供气装置中，如图2所述，气体钢瓶1通过供气通道3向外供气，在换瓶时，气体钢瓶通过氮气通道4进行氮气扫净，氮气通道4上设有扫净关断阀2。在供气过程中，扫净关断阀2漏气时，将造成氮气进入气体钢瓶1或供气通道3中，污染制程气体，造成产品的报废。尤其是现代高端芯片制程要求的线径，已微缩奈米级别，微量的氮气污染，便意谓着巨大营利损失。一般的气瓶柜对这个氮气泄漏的问题，无法防范，只有在产品出问题后，查找原因，才有可能发现问题。而且因为扫净关断阀属于通道中间的阀，漏出的气体会流到通道中，不会对外排放，即所谓的内漏，要找到内漏的问题，并确认问题点，需要有一定程度的专业能力，才能在众多可能的原因中，甄别出问题属于阀件内漏。
技术实现思路
本申请提供一种防止氮气内漏的装置，用以解决现有技术中氮气内漏污染制程气体，造成产品的报废且不易甄别等问题。为实现上述目的，本专利技术提供了一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，供气设备包括复数个气体钢瓶、供气总管、氮气总管，所述气体钢瓶通过对应的供气通道与所述供气总管连接，所述气体钢瓶通过对应的氮气通道与所述氮气总管连接，所述供气通道上设有供气管关断阀。防止氮气内漏的装置包括设于所述氮气通道上的扫净关断阀、压力检测器、真空抽气机构和氮气隔离阀，所述扫净关断阀靠近所述气体钢瓶，所述氮气隔离阀靠近氮气总管，所述压力检测器和所述真空抽气机构分别设于所述扫净关断阀和所述氮气隔离阀之间，所述压力检测器与控制器连接，所述控制器与压力警报器连接。相对现有技术而言，本专利技术通过设置扫净关断阀和氮气隔离阀，在气体钢瓶在供气时，扫净关断阀和氮气隔离阀都处在关闭状态，使得扫净关断阀和氮气隔离阀之间呈封闭状态，通过真空抽气机构将扫净关断阀和氮气隔离阀之间抽成真空状态，如果扫净关断阀泄漏，气体钢瓶内气体会流向真空段，而不会反向流动，确保氮气通道里氮气不会流进气体钢瓶内；并且在扫净关断阀和氮气隔离阀之间设有压力检测器，通过压力检测器检测扫净关断阀和氮气隔离阀之间压力，在真空状态下，如果扫净关断阀泄漏，压力检测器检测到压力值变大，压力变化值大于1psig时，压力警报器发出警报，操作人员收到警报，需转知专业工程师，进行了解，做适当的维修。进一步的改进在于，所述真空抽气机构与所述控制器连接，通过控制器控制真空抽气机构使得操作更为方便。进一步的改进在于，所述供气管关断阀包括供气管高压关断阀和供气管低压关断阀，通过设置供气管高压关断阀，压力过高进行关断，供气管低压关断阀，压力过低进行关断，保证了通道内压力维持在正常压力下，确保了通道安全。进一步的改进在于，所述供气管高压关断阀、所述供气管低压关断阀、所述扫净关断阀和所述氮气隔离阀分别与所述控制器连接，通过控制器控制便于操作人员进行操作。附图说明图1为供气设备的结构示意图；图2为现有技术中的气瓶柜供气装置的结构示意图。对应说明书附图内的附图标记参考如下：
技术介绍
中：1.气体钢瓶；2.扫净关断阀；3.供气通道；4.氮气通道。具体实施方式中：5.左气体钢瓶；6.压力检测器；7.扫净关断阀；8.左供气通道；9.左供气管高压关断阀；10.左供气管低压关断阀；11.右供气管低压关断阀；12.右供气管高压关断阀；13.右供气通道；14.右气体钢瓶；15.控制器；16.左氮气通道；17.氮气隔断阀；18.右氮气通道；19.左通道；20.右通道；21.氮气总管；22.供气总管。具体实施方式为了使专利技术实现的技术手段、创造特征、达成目的和功效易于明白了解，下结合具体图示，进一步阐述本专利技术。如图1所示，本专利技术一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，供气设备包括复数个气体钢瓶,复数个气体钢瓶为两个气体钢瓶，分别为左气体钢瓶5和右气体钢瓶14，左气体钢瓶5通过左通道19和左供气通道8连接，左气体钢瓶5通过左供气通道8与供气总管22连接，氮气总管21通过左氮气通道16与左供气通道8连接，左供气通道8上设有左供气管高压关断阀9和左供气管低压关断阀10，左供气管高压关断阀9靠近左气体钢瓶5；右气体钢瓶14通过右通道20和右供气通道13连接，右气体钢瓶14通过右供气通道13与供气总管22连接，氮气总管21通过右氮气通道18与右供气通道13连接，右供气通道13上设有右供气管高压关断阀12和右供气管低压关断阀11，右供气管高压关断阀12靠近右气体钢瓶14。在左氮气通道16和右氮气通道18上分别设有防止氮气内漏的装置，在氮气通道上设置扫净关断阀7和氮气隔离阀17，在气体钢瓶在供气时，扫净关断阀7和氮气隔离阀17都处在关闭状态，使得扫净关断阀7和氮气隔离阀17之间呈封闭状态，通过真空抽气机构将扫净关断阀7和氮气隔离阀17之间抽成真空状态，如果扫净关断阀7泄漏，气体钢瓶气体会流向真空段，而不会反向流动，确保氮气通道里氮气不会流进气体钢瓶内；并且在扫净关断阀7和氮气隔离阀17之间设有压力检测器6，通过压力检测器6检测扫净关断阀7和氮气隔离阀17之间压力，在真空状态下，如果扫净关断阀7泄漏，压力检测器6检测到压力值变大，压力变化值大于1psig时，压力警报器发出警报，由工程师进行检修，压力变化的原因包括扫净关断阀7、氮气隔离阀17或压入传讯器6的故障，维修人员只需要对其进行检修就好。左氮气通道16和右氮气通道18上的防止氮气内漏的装置独立运作，不会相互影响。综上所述，本专利技术一种防止氮气内漏的装置，以防患未然的方式，有效防止氮气内漏进入供气系统，解决了现有技术中氮气内漏污染制程气体，造成产品的报废且不易甄别等问题。以上对专利技术的具体实施例进行了描述。需要理解的是，专利技术并不局限于上述特定实施方式，其中未尽详细描述的设备和结构应该理解为用本领域中的普通方式予以实施；本领域技术人员可以在权利要求的范围内做出各种变形或修改做出若干简单推演、变形或替换，这并不影响专利技术的实质内容。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，所述供气设备包括复数个气体钢瓶、供气总管、氮气总管，所述气体钢瓶通过对应的供气通道与所述供气总管连接，所述气体钢瓶通过对应的氮气通道与所述氮气总管连接，所述供气通道上设有供气管关断阀，其特征在于，包括设于所述氮气通道上的扫净关断阀、压力检测器、真空抽气机构和氮气隔离阀，所述扫净关断阀靠近所述气体钢瓶，所述氮气隔离阀靠近氮气总管，所述压力检测器和所述真空抽气机构分别设于所述扫净关断阀和所述氮气隔离阀之间，所述压力检测器与控制器连接，所述控制器与压力警报器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种防止氮气内漏的装置，用于供气设备，所述供气设备包括复数个气体钢瓶、供气总管、氮气总管，所述气体钢瓶通过对应的供气通道与所述供气总管连接，所述气体钢瓶通过对应的氮气通道与所述氮气总管连接，所述供气通道上设有供气管关断阀，其特征在于，包括设于所述氮气通道上的扫净关断阀、压力检测器、真空抽气机构和氮气隔离阀，所述扫净关断阀靠近所述气体钢瓶，所述氮气隔离阀靠近氮气总管，所述压力检测器和所述真空抽气机构分别设于所述扫净关断阀和所述氮气隔离阀之间，所述压力检测器与控制器...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈水波，
申请(专利权)人：苏州工业园区可伦坡系统集成科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32