【技术实现步骤摘要】
一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置
本技术涉及电源散热
,具体为一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。
技术介绍
目前,偏压电源是真空电弧离子镀及其它真空物理气相沉积设备中一个重要组件,在镀膜工艺流程中为工件提供负(或正)偏压,偏压电源工作于二级高频变换模式,单极脉冲方式输出。电源的电压调整通过改变高频变换电路的电源电压来实现,调压电路具有1%的稳率,偏压电源的内部要设置散热装置。现有技术技术的偏压电源大多采用风冷进行散热,散热的效果不好,而使用水冷散热时,水经过细管吸收热量后再回流进入水箱内,之后再旋环出时水吸收的热量没有完全散出,导致水冷的效果减弱。因此,我们提出一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,通过在外壳的内部上端固定有第一毛细管,并在左侧的进风网右侧的外壳内部固定第二毛细管,第一毛细管吸收设备工作的热量后再流至第二毛细管处,可以由进风网处进入的冷风将第二毛细管内的水较为充分的降温,热量散热较完全的水可以保持较好的水冷 ...
【技术保护点】
1.一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,包括外壳(1)和水箱(2),其特征在于:所述水箱(2)固定在外壳(1)的左侧上端内壁上,所述外壳(1)的左侧中部设置有进风网(5);/n所述水箱(2)右侧的外壳(1)内壁上固定有第一毛细管(3),所述进风网(5)右侧的外壳(1)内壁上固定有第二毛细管(4),且第一毛细管(3)的左侧和第二毛细管(4)的上端均与水箱(2)的内部连通,外壳(1)的左侧下端内部固定有水泵(10),第二毛细管(4)的下端与水泵(10)的出口连通,第一毛细管(3)的右侧通过导管(11)与水泵(10)的进口连通,所述外壳(1)的右侧中部设置有排风网(6),排风网(6 ...
【技术特征摘要】
1.一种直流转换脉冲偏压电源水冷装置,包括外壳(1)和水箱(2),其特征在于:所述水箱(2)固定在外壳(1)的左侧上端内壁上,所述外壳(1)的左侧中部设置有进风网(5);
所述水箱(2)右侧的外壳(1)内壁上固定有第一毛细管(3),所述进风网(5)右侧的外壳(1)内壁上固定有第二毛细管(4),且第一毛细管(3)的左侧和第二毛细管(4)的上端均与水箱(2)的内部连通,外壳(1)的左侧下端内部固定有水泵(10),第二毛细管(4)的下端与水泵(10)的出口连通,第一毛细管(3)的右侧通过导管(11)与水泵(10)的进口连通,所述外壳(1)的右侧中部设置有排风网(6),排风网(6)左侧的外壳(1)内部固定有风扇(12)。
2.根据权利要求1所述的一种直流转换脉冲偏压电源...
【专利技术属性】
技术研发人员:窦久存,窦立洋,
申请(专利权)人:唐山标先电子有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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