一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源制造技术

本实用新型专利技术属于中频交流磁控溅射电源技术领域，尤其为一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座，安装座内部设置有安装槽，安装槽上设置有电源主体，安装座上固定安装有把手，把手上设置有防滑套，安装座内部设置有活动腔，活动腔内部设置有压缩弹簧，压缩弹簧顶部固定连接有活动柱，活动柱顶部设置有限位压板。本实用新型专利技术通过设置有活动槽、复位弹簧、活动支撑柱、卡槽、空腔、插销和限位弹簧进行配合使用，通过拉动插销或者按压安装座，可方便对活动支撑柱进行收纳或者支撑使用，防止台面或者地面有积水容易导致其内部受潮，影响设备工作使用效果，便于更好的进行长期工作使用，可进一步提升整体装置结构的实用性和功能性。性和功能性。性和功能性。

【技术实现步骤摘要】
一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源


[0001]本技术涉及中频交流磁控溅射电源
，具体为一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源。

技术介绍

[0002]直流磁控溅射是物理气相沉积的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤，而直流磁控溅射电源工作于高频变换模式，直流输出，电源电流调整通过改变高频变换的脉冲宽度来实现。现有的带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，在工作使用过程中仍然存在待改进之处，例如申请号CN202121962040.6一种具有防误触结构的直流磁控溅射电源，包括保护外壳、隔离握持机构、滑动保护机构和内置散热机构，所述保护外壳的两侧设置有隔离握持机构，所述保护外壳的内部设置有滑动保护机构，所述滑动保护机构的内部设置有内置散热机构；所述滑动保护机构包括：内置电源，其设置于所述保护外壳的内部；滑槽，其设置于所述内置电源的两侧内壁；拉槽，其设置于所述内置电源的一侧额内壁；操作面，其设置于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)内部设置有安装槽(2)，所述安装槽(2)上设置有电源主体(3)，所述安装座(1)上固定安装有把手(4)，所述把手(4)上设置有防滑套(5)，所述安装座(1)内部设置有活动腔(6)，所述活动腔(6)内部设置有压缩弹簧(7)，所述压缩弹簧(7)顶部固定连接有活动柱(8)，所述活动柱(8)顶部设置有限位压板(9)，所述安装座(1)内部固定安装有电机设备(10)，所述电机设备(10)一端设置有螺纹杆(11)，所述螺纹杆(11)上设置有螺纹套(12)，所述螺纹套(12)顶部固定安装有散热风扇(13)，所述安装座(1)底部设置有活动槽(14)，所述活动槽(14)内部设置有复位弹簧(15)，所述复位弹簧(15)底部固定连接有活动支撑柱(16)，所述活动支撑柱(16)一侧设置有卡槽(17)，所述活动槽(14)一侧设置有空腔(18)，所述空腔(18)内部设置有插销(19)，所述插销(19)一侧设置有限位弹簧(20)。2.根据权利要求1所述的一种带有防误触结构的中频交流磁控溅射电源，其特征在于：所述安装槽(2)内径尺寸与电源主体...

【专利技术属性】
技术研发人员：窦久存，
申请(专利权)人：唐山标先电子有限公司，
类型：新型
国别省市：