【技术实现步骤摘要】
直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备
本技术涉及光伏
，特别是涉及直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备。
技术介绍
随着光伏技术的发展，单晶硅的使用也越来越广泛。例如，利用单晶硅制成的硅片作为电池片的主要组成结构，随着光伏装机容量的增加，单晶硅硅片的使用也越来越广泛。现有的技术中，往往采用单晶炉等单晶硅生产设备生产单晶硅，其具体的生产方法如下：自单晶炉的顶部通入氩气等惰性气体，将坩埚内的硅原料加热成熔融硅，再从该熔融硅的液面，即，晶体生长液面，生长拉制成单晶硅棒。在拉制单晶硅的过程中，工作气体从上至下导入石英坩埚内的熔融硅表面。然而，将工作气体从上至下导入坩埚内的过程中，工作气体很容易将单晶炉的内壁上的杂质，或者单晶炉内的导流筒等其他热场部件上的杂质冲入单晶生长气氛中，可能破坏单晶硅的晶格生长秩序，严重地会导致单晶硅棒断棱，从而影响单晶硅的产量和生产效率。
技术实现思路
鉴于上述问题，提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备。...
【技术保护点】
1.直拉单晶用热屏装置，其特征在于，包括：/n内屏，用于围绕单晶设置；/n外屏，同轴设置于所述内屏远离所述单晶的一侧，所述外屏与所述内屏连接；以及/n导流通道，嵌设于所述内屏与所述外屏之间，所述导流通道与所述内屏连接，所述导流通道用于引入工作气体。/n
【技术特征摘要】
1.直拉单晶用热屏装置，其特征在于，包括：
内屏，用于围绕单晶设置；
外屏，同轴设置于所述内屏远离所述单晶的一侧，所述外屏与所述内屏连接；以及
导流通道，嵌设于所述内屏与所述外屏之间，所述导流通道与所述内屏连接，所述导流通道用于引入工作气体。
2.根据权利要求1所述的直拉单晶用热屏装置，其特征在于，所述导流通道包括多个导气管，所述多个导气管在远离所述单晶的一侧围绕所述内屏的中心轴线等角度分布。
3.根据权利要求2所述的直拉单晶用热屏装置，其特征在于，所述多个导气管均与所述内屏相贴合接触。
4.根据权利要求2所述的直拉单晶用热屏装置，其特征在于，所述导气管包括：管壁以及位于所述管壁内的导气通道，引入的所述工作气体流经所述导气通道。
5.根据权利要求4所述的直拉单晶用热屏装置，其特征在于，所述管壁包括第一子管壁、第二子管壁、以及设置于所述第一子管壁和所述第二子管壁之间的冷却夹层。
6...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨敏，白喜军，李强，张亮桢，
申请(专利权)人：宁夏隆基硅材料有限公司，
类型：新型
国别省市：宁夏;64
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。