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本实用新型提供了一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备，所述直拉单晶用热屏装置包括：内屏，用于围绕单晶设置；外屏，同轴设置于所述内屏远离所述单晶的一侧；以及导流通道，嵌设于所述内屏与所述外屏之间，所述导流通道用于引入工作气体。本实用新型实施...
该专利属于宁夏隆基硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏隆基硅材料有限公司授权不得商用。

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