多芯片叠加式半导体器件制造技术

技术编号:24277611 阅读:40 留言:0更新日期:2020-05-23 15:36
本实用新型专利技术公开一种多芯片叠加式半导体器件,包括至少两片层叠设置的芯片,所述芯片的上表面和下表面均具有供焊接的电极区,相邻两片芯片之间设有一铜片,此铜片上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料,此焊料的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料端部在铜片和电极区之间形成一焊料层,所述芯片的宽度为4~12mm,其长度为4~12mm。本实用新型专利技术不仅能够代替现有技术中焊料、铜片加焊料的组装结构,简化组装工艺,提高生产效率、降低工艺管控难度,还能改善铜片与芯片之间焊料铺展的均匀性,并避免焊料溢出电极区,提升了产品的可靠性。

Multichip stacked semiconductor device

【技术实现步骤摘要】
多芯片叠加式半导体器件
本技术涉及一种多芯片叠加式半导体器件,属于半导体产品

技术介绍
现有的多芯片叠加产品,在为了保证芯片之间良好导电性的同时,还要在芯片之间形成合理的间距,一般两层芯片之间通常采用2层焊料加1层铜片的组装工艺,但是,该工艺存在如下弊端:一方面,组装过程中需要贴装2层焊片或其他焊料,工序较多、工艺管控难度大,另一方面,铜片上下层焊料与铜片之间铺展的厚度均匀性管控难度大,导致成型产品质量不佳。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种多芯片叠加式半导体器件,该半导体器件不仅能够降低工艺管控难度、提高工艺效率,还能改善产品质量、提升成品可靠性。为达到上述目的,本技术采用的技术方案是:包括至少两片层叠设置的芯片,所述芯片的上表面和下表面均具有供焊接的电极区,相邻两片芯片之间设有一铜片,此铜片上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料,此焊料的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料端部在铜片和电极区之间形成一焊料层。上述技术方案中进一步改进的方案如下:1.上述方案中,所述芯片的宽度为4~12mm,其长度为4~12mm。2.上述方案中,所述芯片的数目为三片或者三片以上。3.上述方案中,所述铜片为金属铜网,所述通孔为金属铜网的网孔。4.上述方案中,所述铜片为多孔铜板。由于上述技术方案的运用,本技术与现有技术相比具有下列优点:本技术多芯片叠加式半导体器件,通过将焊料以预成型的方式与铜片组装在一起,不仅能够代替现有技术中焊料、铜片加焊料的组装结构,简化组装工艺,提高生产效率、降低工艺管控难度,还能改善铜片与芯片之间焊料铺展的均匀性,并避免焊料溢出电极区,提升了产品的可靠性。附图说明附图1为本技术多芯片叠加式半导体器件的整体结构示意图;附图2为芯片的俯视图。以下附图中:1、芯片;11、电极区;2、铜片;4、焊料;5、焊料层。具体实施方式实施例1:一种多芯片叠加式半导体器件,参照附图1~2,包括至少两片层叠设置的芯片1,所述芯片1的上表面和下表面均具有供焊接的电极区11,相邻两片芯片1之间设有一铜片2,此铜片2上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料4,此焊料4的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料4端部在铜片2和电极区11之间形成一焊料层5。上述芯片1的宽度为4mm,其长度为4mm;上述芯片1设置为三片;上述铜片2为金属铜网,所述通孔为金属铜网的网孔。实施例2:一种多芯片叠加式半导体器件,参照附图1~2,包括至少两片层叠设置的芯片1,所述芯片1的上表面和下表面均具有供焊接的电极区11,相邻两片芯片1之间设有一铜片2,此铜片2上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料4,此焊料4的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料4端部在铜片2和电极区11之间形成一焊料层5。上述芯片1的宽度为12mm,其长度为12mm;上述芯片1设置为三片;上述铜片2为多孔铜板。采用上述多芯片叠加式半导体器件时,其通过将焊料以预成型的方式与铜片组装在一起,不仅能够代替现有技术中焊料、铜片加焊料的组装结构,简化组装工艺,提高生产效率、降低工艺管控难度,还能改善铜片与芯片之间焊料铺展的均匀性,并避免焊料溢出电极区,提升了产品的可靠性。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施,并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多芯片叠加式半导体器件,其特征在于:包括至少两片层叠设置的芯片(1),所述芯片(1)的上表面和下表面均具有供焊接的电极区(11),相邻两片芯片(1)之间设有一铜片(2),此铜片(2)上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料(4),此焊料(4)的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料(4)端部在铜片(2)和电极区(11)之间形成一焊料层(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种多芯片叠加式半导体器件,其特征在于:包括至少两片层叠设置的芯片(1),所述芯片(1)的上表面和下表面均具有供焊接的电极区(11),相邻两片芯片(1)之间设有一铜片(2),此铜片(2)上开有若干个通孔,此通孔内填充有一焊料(4),此焊料(4)的两端从通孔内延伸出,焊接时,延伸出通孔的焊料(4)端部在铜片(2)和电极区(11)之间形成一焊料层(5)。


2.根据权利要求1所述的多芯片叠加式半导体器件,其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员:何洪运郝艳霞沈加勇
申请(专利权)人:苏州固锝电子股份有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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