【技术实现步骤摘要】
湿度传感器设备的校准
本专利技术涉及湿度传感器设备，具体涉及湿度传感器设备的校准，湿度传感器设备被配置为测量相对湿度并确定环境中的露点。
技术介绍
可以通过多种技术基于合适材料的电阻变化和电容变化来来测量湿度。例如，在借助于测量电容确定相对湿度(给定温度下水蒸气与水的比率)的基于半导体的系统中，可以基于用作电容器电介质的聚合物材料的可逆吸水特性来测量湿度。通常，常规的电容式相对湿度传感器设备包括半导体基底和一对电极，它们形成在半导体基底的表面上，并且以特定距离彼此面对。湿敏介电薄膜放置在电极之间，并形成在半导体基底的表面上。薄膜的电容响应于湿度而变化。该传感器通过检测所述一对电极之间的响应于周围湿度变化的电容变化而检测湿度。电容感测型的湿度感测元件通常包括对水分不敏感的非导电结构，在该结构上安装或沉积有合适的电极元件，以及覆盖电极的介电且高度水分敏感材料的层或涂层，所述材料定位成能够在短时间内从周围大气中吸收水并达到平衡。集成相对湿度传感器设备的响应偏移和斜率可以被设置为特定值，以便实现所需的传感器精度值。电...
【技术保护点】
1.一种校准湿度传感器设备的方法，包括以下步骤：/na)使用第一校准偏移由湿度传感器设备在环境中的第一温度下确定第一露点和第一相对湿度；/nb)然后加热湿度传感器设备，具体是通过自加热，以此加热环境至高于第一温度的第二温度；/nc)然后由湿度传感器设备在第二温度下确定第二露点；/nd)然后确定所确定的第二露点和所确定的第一露点的差是否大于预定差；以及/ne)然后，如果确定了所确定的第二露点和所确定的第一露点的差大于预定差，则将湿度传感器设备的第一校准偏移改变一预定值，以获得第二校准偏移。/n
【技术特征摘要】
20181114 EP 18306487.21.一种校准湿度传感器设备的方法，包括以下步骤：
a)使用第一校准偏移由湿度传感器设备在环境中的第一温度下确定第一露点和第一相对湿度；
b)然后加热湿度传感器设备，具体是通过自加热，以此加热环境至高于第一温度的第二温度；
c)然后由湿度传感器设备在第二温度下确定第二露点；
d)然后确定所确定的第二露点和所确定的第一露点的差是否大于预定差；以及
e)然后，如果确定了所确定的第二露点和所确定的第一露点的差大于预定差，则将湿度传感器设备的第一校准偏移改变一预定值，以获得第二校准偏移。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，第一和第二校准偏移与湿度传感器设备确定的相对湿度相关；并且
i)如果确定了第二露点低于所确定的第一露点，则将第一校准偏移增加所述预定值；并且
ii)如果确定了第二露点高于所确定的第一露点，则将第一校准偏移降低所述预定值。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，所述预定值是第一校准偏移的某预定函数。
4.根据前述权利要求中的任一项所述的方法，还包括以下依次进行的步骤：
f)基于经改变的校准偏移确定第一露点的新值；
g)然后由湿度传感器设备在第三温度下确定第三露点；
h)然后确定所确定的第三露点和第一露点的所确定的新值的差是否大于预定差；以及
i)然后，如果确定了所确定的第三露点和第一露点的所述确定的新值的差...
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