一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备技术

本发明专利技术涉及真空测试技术领域，公开一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备。其中，真空封堵机构包括堵头、固定块和多个外径不同的套环。堵头包括封堵部和固定部，封堵部的直径大于通孔的直径，封堵部能够与真空腔壁的一侧贴合。套环能够套设在固定部上且能够可拆卸地卡设在通孔中。固定块能够与真空腔壁的另一侧贴合，固定部能够穿过固定块与紧固件可拆卸地固定连接，以使封堵部与真空腔壁紧密贴合并封堵通孔。本发明专利技术提供的真空封堵机构，只需针对通孔尺寸更换不同尺寸的套环，而无需更换不同尺寸的堵头，由于套环结构简单，更易加工，所以能够降低成本，另外通过套环卡设在通孔中，可以防止堵头发生侧向移动导致漏气，提高密封的可靠性。

A vacuum sealing mechanism, vacuum sealing method and vacuum testing equipment

【技术实现步骤摘要】
一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备
本专利技术涉及真空测试
，尤其涉及一种真空封堵机构、真空封堵方法及真空测试设备。
技术介绍
随着经济的发展，在越来越来的行业都需要用真空腔，即将一个密闭的腔体抽成真空，在这个真空环境下进行各种加工、处理和操作等，例如半导体行业、面板显示行业、镀膜行业、太阳能发电行业和外太空环境模拟等。在真空腔的生产过程中，通常需要对真空腔进行检漏，以保证真空腔的密闭性。目前，较为常用的方法是氦质谱检漏法，原理是将真空腔密封起来抽气，从外部打氦气，如果有漏气点，则氦气会被吸入真空腔进而被泵抽至氦质谱检漏仪中，得到漏气率。由于真空腔壁上通常都会开设一个至多个不同尺寸的通孔作为接口，因此检漏过程中需要将各种不同尺寸的通孔都堵起来。在现有技术中，通常针对每一个通孔的尺寸加工向匹配的堵头，然后利用堵头对多个不同尺寸的通孔进行一一封堵。但是，此种方法的成本较高，堵头的种类繁多且不具备兼容性，不利于堵头的标准化。因此，亟需一种新型的真空封堵机构以解决上述技术问题。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提供一种真空封堵机构，能够降低成本，提高堵头的兼容性和标准化，而且能够防止堵头发生侧向移动导致漏气，提高堵头密封的可靠性。本专利技术的另一个目的在于提供一种真空封堵方法，采用上述真空封堵机构，不仅封堵方法简单，可操作性强，而且能够保证密封的可靠性。本专利技术的另一个目的在于提供一种真空测试设备，通过应用上述真空封堵机构，能够保证密封的可靠性，提高测试结果的准确性。为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种真空封堵机构，用于封堵真空腔壁上的通孔，包括：堵头，包括封堵部和固定部，所述封堵部的直径大于所述通孔的直径，所述封堵部能够与所述真空腔壁的一侧贴合；多个外径不同的套环，所述套环能够套设在所述固定部上且所述套环能够可拆卸地卡设在所述通孔中；固定块，能够与所述真空腔壁的另一侧贴合，所述固定部能够穿过所述固定块与紧固件可拆卸地固定连接，以使所述封堵部与所述真空腔壁紧密贴合并封堵所述通孔。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述套环为一体成型结构。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述套环包括多个刚性子套环，多个所述刚性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述套环包括多个弹性子套环，多个所述弹性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述套环包括刚性子套环和弹性子套环，所述刚性子套环和所述弹性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述套环呈圆形、矩形、长圆形或三角形。作为所述真空封堵机构的优选方案，还包括密封件，每个所述封堵部上均设置有所述密封件，所述密封件能够与所述真空腔壁的侧壁抵接。作为所述真空封堵机构的优选方案，所述封堵部上设置有安装槽，所述密封件固定在所述安装槽中。一种真空封堵方法，采用如上所述的真空封堵机构，所述真空封堵方法包括：S1.根据真空腔壁上的通孔的尺寸，选择相应尺寸的套环，并将相应尺寸的所述套环套设在堵头的固定部上；S2.将所述固定部穿过所述通孔，并使所述堵头的封堵部贴合在所述真空腔壁的一侧，所述套环卡设在所述通孔中；S3.将固定块套设在所述固定部上，将紧固件安装在所述固定部上，并使所述紧固件与所述固定块抵接，所述固定块抵持在所述真空腔壁的另一侧，调整所述紧固件与所述固定部的相对位置，使所述封堵部与所述真空腔壁紧密贴合以封堵所述通孔。一种真空测试设备，包括如上所述的真空封堵机构。本专利技术的有益效果为：本专利技术提供的真空封堵机构，在使用时，只需针对不同尺寸的通孔更换不同尺寸的套环，而无需更换不同尺寸的堵头，由于套环的结构相较于堵头的结构简单，更易于加工，所以能够降低成本，同时还有利于提高堵头的兼容性以及堵头的标准化，另外通过将套环卡设在通孔中，可以防止堵头发生侧向移动导致漏气，确保固定部定位在通孔的中心位置，提高封堵部密封的可靠性，同时能够避免固定块受力不均衡。本专利技术提供的真空封堵方法，采用上述真空封堵机构，不仅封堵方法简单，可操作性强，而且能够保证密封的可靠性。本专利技术提供的真空测试设备，通过应用上述真空封堵机构，能够保证密封的可靠性，提高测试结果的准确性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对本专利技术实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据本专利技术实施例的内容和这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术实施例一提供的真空封堵机构在第一角度下的结构示意图；图2是本专利技术实施例一提供的真空封堵机构在第二角度下的结构示意图；图3是本专利技术实施例一提供的真空封堵机构的剖视图；图4是本专利技术实施例一提供的真空封堵机构中堵头的结构示意图；图5是本专利技术实施例四提供的第一种套环的结构示意图；图6是本专利技术实施例四提供的第二种套环的结构示意图。图中：100-真空腔壁；101-通孔；1-堵头；11-封堵部；111-安装槽；12-固定部；2-套环；21-滚柱；3-固定块；4-紧固件；5-密封件。具体实施方式为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本专利技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，或者用于区分不同结构或部件，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。实施例一如图1-图3所示，本实施例提供一种真空封堵机构，用于在真空测试时封堵真空腔壁100上的通孔101。具体地，真空封堵机构包括堵头1、固定块3和多个外径不同的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空封堵机构，用于封堵真空腔壁(100)上的通孔(101)，其特征在于，包括：/n堵头(1)，包括封堵部(11)和固定部(12)，所述封堵部(11)的直径大于所述通孔(101)的直径，所述封堵部(11)能够与所述真空腔壁(100)的一侧贴合；/n多个外径不同的套环(2)，所述套环(2)能够套设在所述固定部(12)上且所述套环(2)能够可拆卸地卡设在所述通孔(101)中；/n固定块(3)，能够与所述真空腔壁(100)的另一侧贴合，所述固定部(12)能够穿过所述固定块(3)与紧固件(4)可拆卸地固定连接，以使所述封堵部(11)与所述真空腔壁(100)紧密贴合并封堵所述通孔(101)。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空封堵机构，用于封堵真空腔壁(100)上的通孔(101)，其特征在于，包括：
堵头(1)，包括封堵部(11)和固定部(12)，所述封堵部(11)的直径大于所述通孔(101)的直径，所述封堵部(11)能够与所述真空腔壁(100)的一侧贴合；
多个外径不同的套环(2)，所述套环(2)能够套设在所述固定部(12)上且所述套环(2)能够可拆卸地卡设在所述通孔(101)中；
固定块(3)，能够与所述真空腔壁(100)的另一侧贴合，所述固定部(12)能够穿过所述固定块(3)与紧固件(4)可拆卸地固定连接，以使所述封堵部(11)与所述真空腔壁(100)紧密贴合并封堵所述通孔(101)。


2.根据权利要求1所述的真空封堵机构，其特征在于，所述套环(2)为一体成型结构。


3.根据权利要求1所述的真空封堵机构，其特征在于，所述套环(2)包括多个刚性子套环，多个所述刚性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环(2)。


4.根据权利要求1所述的真空封堵机构，其特征在于，所述套环(2)包括多个弹性子套环，多个所述弹性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环(2)。


5.根据权利要求1所述的真空封堵机构，其特征在于，所述套环(2)包括刚性子套环和弹性子套环，所述刚性子套环和所述弹性子套环能够嵌套组成不同外径的所述套环(2)。


6.根据权利要求1-5任一项所述的真空封堵机...

【专利技术属性】
技术研发人员：武启飞，高永喜，廖良生，梁舰，李涛，黄稳，虞强龙，
申请(专利权)人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32