夹具及原子层沉积装置制造方法及图纸

本申请公开了一种夹具及原子层沉积装置，夹具包括相对设置的两块侧板，两块侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块端板和两块侧板围合成两端开口的容腔，端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板；原子层沉积装置包括真空腔，真空腔内设置有样品台，真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，样品台用于放置夹具，通过夹具固定电池片，将电池片切割部分从容腔的开口露出，侧板和端板保护电池片未切割部分，对电池片的切割部分进行原子层沉积，在电池片的切割部分形成钝化膜，提升切割后电池片的电性能，修复电池片由于切割造成的损伤。

Fixture and atomic layer deposition device

【技术实现步骤摘要】
夹具及原子层沉积装置
本技术一般涉及光伏领域，具体涉及太阳能组件领域，尤其涉及一种夹具及原子层沉积装置。
技术介绍
近年来，光伏技术发展迅猛，晶硅电池转换效率节节攀升，以每年约0.5％abs的幅度逐年递增。随着晶硅电池效率的提升，电流密度也随之提升。目前高效晶硅电池的电流密度已达40.3mA/cm2，这导致传统的整片电池互联的方式产生较高的功率损失。将整片电池分割成两片或多个小片，每小片的串联电流下降至整片电流的1/N(N为切片数量)，由此制备而成的组件功率损失会得到大幅改善，比如半片组件(1/2分片)相较于常规组件有2％～4％的功率提升，叠瓦组件(1/5分片或1/6分片)相较于常规组件有10％以上的功率提升。通常利用激光切割技术实现整片电池的分离，激光切片解决了互联功率损失的问题，但又引入了电池片切割效率损失的问题，据报道PERC(passivatedemitterandrealcell，发射极和背面钝化)电池1/2分片的切割效率损失为0.1％～0.2％abs，TOPCon(tunneloxidepassivatedcontact，隧穿氧化层钝化接触)电池1/2分片的切割效率损失为0.3％～0.4％abs，HIT(heterojunctionwithintrinsicthin-layer，本征薄膜异质结)电池1/2分片的切割效率损失在0.4％～0.5％abs，而且电池片效率越高，切割效率损失越大，切割效率损失跟切割次数(N-1)成正比。激光切割对电池片造成损伤的一个重要原因是在激光切割后形成的裸露断面处的载流子的复合速率加剧，降低了电池性能。
技术实现思路
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种减少切割对电池片损伤的夹具及原子层沉积装置。第一方面，本技术的夹具，包括相对设置的两块侧板，两块侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块端板和两块侧板围合成两端开口的容腔，端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板。第二方面，本技术的原子层沉积装置，包括真空腔，真空腔内设置有样品台，真空腔分别连接有真空泵、第一气体喷射部、第二气体喷射部以及第三气体喷射部，样品台用于放置夹具。根据本申请实施例提供的技术方案，通过夹具固定电池片，将电池片切割部分从容腔的开口露出，侧板和端板保护电池片未切割部分，对电池片的切割部分进行原子层沉积，在电池片的切割部分形成钝化膜，提升切割后电池片的电性能，修复电池片由于切割造成的损伤，能够解决切割对电池片造成损伤导致电池片电性能下降的问题。附图说明通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图2为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图3为沿着图2中A-A线的剖视图；图4为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图5为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图6为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图7为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图8为沿着图7中B-B线的剖视图；图9为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图10为本技术的实施例的夹具的结构示意图；图11为本技术的实施例的原子层沉积装置的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。本技术的其中一个实施例为，请参考图1-10，一种夹具，包括相对设置的两块侧板10，两块侧板10之间设置有两块相对设置的端板20，两块端板20和两块侧板10围合成两端开口的容腔，端板20可移动地固定连接有活动板30，活动板30的移动方向为靠近或者远离任一侧板10。在本技术的实施例中，夹具用于固定并保护电池片，将多块电池片放入活动板与侧板之间的空间，调整活动板固定在端板上的位置，使得活动板紧压电池片，进而使得电池片之间相互紧压，避免在原子层沉积过程中，气体进入电池片之间的间隙，从而保护了电池片的未切割部位。当然，在将多块电池片固定在夹具上时，多块电池片的切割部位均从容腔的开口端裸露出来，并且保证电池片不露出容腔的开口端，以减少原子层沉积对电池片未切割部位的影响。如果是半切电池片，可以将所有半切电池片的切割部位从容腔的同一开口端裸露，进而提高原子层沉积的加工效率。如果是五分或者六分电池片，可以将电池片的切割部位从容腔的两个开口端同时裸露，可以对两个开口端的电池片的切割部位同时进行原子层沉积，提高原子层沉积的效率和速度。端板可移动地固定连接有活动板，活动板的移动方向为靠近或者远离任一侧板，使得活动板能够根据不同数量的电池片进行适应性调节固定在端板的位置，提高了夹具的通用性。侧板、端板和活动板可以采用不锈钢OCr18Ni9材料，以提高夹具的稳定性和可靠性。参考图3和8，进一步的，至少一块端板20面向活动板30的一侧设置有滑动槽21，滑动槽21沿着活动板30的移动方向设置，活动板30设置有滑动块31，滑动块31沿着滑动槽21的导向滑动。在本技术的实施例中，滑动块与滑动槽配合，使得活动板能够沿着固定路径进行滑动，同时，也能够起到固定的作用，提高活动板与端板的连接强度。当然，可以在两块端板上均设置滑动槽，滑动槽与滑动块一一对应，进一步提高活动板与端板的连接强度。进一步的，至少一块端板20面向活动板30的一侧设置有滑动块，滑动块沿着活动板的移动方向设置，活动板30设置有滑动槽，滑动槽沿着滑动块的导向滑动。在本技术的实施例中，滑动块与滑动槽配合，使得活动板能够沿着固定路径进行滑动，同时，也能够起到固定的作用，提高活动板与端板的连接强度。当然，可以在两块端板上均设置滑动块，滑动槽与滑动块一一对应，进一步提高活动板与端板的连接强度。进一步的，活动板30面向任一端板20的一侧伸出有连接部32，端板20面向连接部32的侧面与连接部32与可拆卸地固定连接。在本技术的实施例中，通过连接部将活动板与端板固定，便于对活动板进行位置调整，同时，连接部能够提高活动板与端板的连接强度，提高了夹具的可靠性。参考图1-5。进一步的，端板20远离连接部32的一侧可拆卸地固定连接有底板40，底板40封闭容腔的一个开口端。在本技术的实施例中，在对半切电池片进行原子层沉积时，由于电池片只有一侧存在切割部位，需要将空腔的一个开口端进行封闭，也就是空腔只留下一个开口端，电池片的切割部位从仅剩的一个开口端裸露，使得原子层沉积仅作用于电池片的切割部位，减少原子层沉积对电池片未切割部位的影响，提高了切割后本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种夹具，其特征在于，包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块所述端板和两块所述侧板围合成两端开口的容腔，所述端板可移动地固定连接有活动板，所述活动板的移动方向为靠近或者远离任一所述侧板。/n

【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，包括相对设置的两块侧板，两块所述侧板之间设置有两块相对设置的端板，两块所述端板和两块所述侧板围合成两端开口的容腔，所述端板可移动地固定连接有活动板，所述活动板的移动方向为靠近或者远离任一所述侧板。


2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动块，所述滑动块沿着所述滑动槽的导向滑动。


3.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，至少一块所述端板面向所述活动板的一侧设置有滑动块，所述滑动块沿着所述活动板的移动方向设置，所述活动板设置有滑动槽，所述滑动槽沿着所述滑动块的导向滑动。


4.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述活动板面向任一所述端板的一侧伸出有连接部，所述端板面向所述连接部的侧面与所述连接部与可拆卸地固定连接。


5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述端板远离所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琦忠，袁陨来，王建波，朱琛，吕俊，
申请(专利权)人：泰州隆基乐叶光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32