一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，适用于低压到常压的反应环境。该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中，液态前驱体钢瓶上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室，与反应室连接的管路上设有双通阀，所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶通过管路连接反应室，在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀与反应室之间设有压力表，蝶阀两端并联有针阀。本实用新型专利技术操作简便，适用范围广，能有效避免传统鼓泡法、注射泵法带来的各种缺陷。

A chemical vapor deposition reactor for liquid precursor

【技术实现步骤摘要】
一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉
本技术属于化学气相沉积
，具体为一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉。
技术介绍
一般化学气相沉积反应中引入液态前驱体的方法有以下几种：1）注射泵直接引入；2）鼓泡法将惰性气体作载气，通入液态前驱体中，将其带出；3）将液态前驱体加热成气态通入。这些方式都存在着不宜控制液态前驱体含量的问题，反应难以精确控制。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的上述问题而提出的一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，该反应炉通过粗调和微调蝶阀与针阀，可以直观有效地调控参与反应的液态前驱体含量。实现本技术目的的具体技术方案是：一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，特点是：该反应炉包括：反应室；设置于反应室前端、通过管路与反应室并联连接的液态前驱体钢瓶和气体钢瓶；设置于反应室后端、通过管路与反应室连接的蝶阀和连接蝶阀的真空泵；其中，液态前驱体钢瓶上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室，与反应室连接的管路上设有双通阀，所述液态前驱体钢瓶设于水浴或油浴装置中；气体钢瓶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，其特征在于，该反应炉包括：反应室（1）；设置于反应室（1）前端、通过管路与反应室（1）并联连接的液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）；设置于反应室（1）后端、通过管路与反应室（1）连接的蝶阀（4）和连接蝶阀（4）的真空泵（5）；其中，液态前驱体钢瓶（7）上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室（1），与反应室（1）连接的管路上设有双通阀（8），所述液态前驱体钢瓶（7）设于水浴或油浴装置（6）中；气体钢瓶（9）通过管路连接反应室（1），在连接管路上设有双通阀；所述蝶阀（4）与反应室（1）之间设有压力表（2），蝶阀（4）两端并联有针阀（3）。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于液态前驱体的化学气相沉积反应炉，其特征在于，该反应炉包括：反应室（1）；设置于反应室（1）前端、通过管路与反应室（1）并联连接的液态前驱体钢瓶（7）和气体钢瓶（9）；设置于反应室（1）后端、通过管路与反应室（1）连接的蝶阀（4）和连接蝶阀（4）的真空泵（5）；其中，液态前驱体钢瓶（7）上设有两根管路，一根通往大气，一根连接反应室（1），与反应室（1）连接的管路上设有双通阀（8），所述液态前驱体钢瓶（7）...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋也男，杨鑫良，
申请(专利权)人：华东师范大学，
类型：新型
国别省市：上海;31