一种特气管路制造技术

本发明专利技术公开了一种特气管路，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接；有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。

A special gas pipeline

【技术实现步骤摘要】
一种特气管路
本专利技术涉及太阳能电池
，具体涉及一种特气管路。
技术介绍
PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)设备是太阳能电池生产的重要工艺环节设备，特气管路是PECVD(等离子体增强化学的气相沉积法)镀膜设备的重要组成部分，生产过程通过特气管路输送硅烷、氨气、三甲基铝(TMA)等工艺气体，持续生产过程中特气孔的大小、均匀一致性，直接影响工艺腔内气体的分布，特气孔分布均匀与否决定着镀膜的质量好坏和外观颜色的一致性。现有的特气管路，是在管道上直接打孔，均匀分布着若干大小相同的小孔。特气孔每五至七天的维护周期内都会被工艺生成物(氮化硅、氧化铝等)堵塞，堵塞特气孔的物质坚硬，需要用钻头对特气孔进行打磨清理，而多次钻头打磨后容易使特气孔破损变形，从而影响气体分布，造成产品(晶体硅太阳能电池)的质量不良；根据特气管路的不同材质需要每三个月或者六个月，最长一年就得更换特气管道。现有部分厂家对特气孔进行改良，例如增加环状装置，增加可拆卸的螺纹栓等，但是在实际生产过程中尚未能解决工艺气体沉积较多、通孔清理不及时及不便等问题，实际应用中管道直接打孔为最常用特气管道的特气孔方式。因此亟待一种特气管路的出现，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本专利技术提出了一种特气管路，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。为了达到上述目的，本专利技术的技术方案如下：一种特气管路，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接。本专利技术提供的一种特气管路，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。在上述技术方案的基础上，还可做如下改进：作为优选的方案，所述喇叭特气孔的下方进气口的直径小于所述喇叭特气孔的上方出气口的直径。作为优选的方案，包括：主气管、供气管和至少两根以上支气管，所述主气管相连通的两根对称分布的支气管，所述支气管连通所述供气管，所述防堵塞喇叭特气孔设置于所述供气管侧壁上并与所述供气管连通，一种特气通过所述防堵塞喇叭特气孔均匀进入工艺腔体内。作为优选的方案，所述外罩呈圆柱状、圆台状、倒圆台状或六边形状中的任一种。作为优选的方案，所述喇叭状特气孔的下方进气孔的直径为0.1mm-2mm。作为优选的方案，所述喇叭状特气孔的上方出气孔的直径为1.5mm-5mm。作为优选的方案，所述防堵塞喇叭特气孔高度为1mm-5mm。作为优选的方案，所述防堵塞喇叭状特气孔与所述供气管侧壁可拆卸式连接。作为优选的方案，所述防堵塞喇叭状特气孔与所述供气管侧壁连接处设有密封圈。作为优选的方案，包括：沉积物厚度检测传感器、中央处理器和主管道控制器，所述沉积物厚度检测传感器与所述中央处理器电连接，所述中央处理器与所述主管道控制器电连接，控制主管道的特气输入或特气截止。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种特气管路的结构图；图2为本专利技术实施例提供的一种特气管路中A的放大结构图；图3为本专利技术实施例提供的一种特气管路的结构图；图4为本专利技术实施例提供的一种特气管路的防堵塞喇叭特气孔的结构图；图5为本专利技术实施例提供的一种特气管路的流程图；其中：1.供气管，2.防堵塞喇叭特气孔，3.喇叭状特气孔的下方进气口，4.喇叭状特气孔的上方出气口，5.外罩，6.喇叭状特气孔，7.喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接处，8.主气管，9.支气管，11.特气。具体实施方式下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。下面结合附图详细说明本专利技术的优选实施方式。为了达到本专利技术的目的，如图1至5所示，本实施例中的一种特气管路，包括：供气管1、若干组防堵塞喇叭特气孔2，所述防堵塞喇叭特气孔2均匀设置于所述供气管1壁上，所述防堵塞喇叭特气孔2包括：外罩5和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔6，所述喇叭状特气孔的下方进气口3与所述供气管1壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口4的侧壁与所述外罩5的开口侧壁相切连接。本专利技术提供的一种特气管路，有效的避免了特气管道特气孔容易堵塞的问题出现，降低了特气管道的堵塞周期，增加了特气管道寿命，降低了特气管道的生成成本，降低了产线产能损失。在一些实施例中，所述喇叭特气孔的下方进气口3的直径小于所述喇叭特气孔的上方出气口4的直径。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，喇叭特气孔的上方出气口4直径为3mm，喇叭特气孔的下方进气口3的直径为1mm，喇叭特气孔的上方出气口4的面积相当于喇叭特气孔的下方进气口3面积的9倍，喇叭特气孔的上方出气口4的面积远大于喇叭特气孔的下方进气口3面积，这样有效的避免了特气管道的防堵塞喇叭特气孔2容易堵塞的问题出现。在一些实施例中，包括：主气管8、供气管1和至少两根以上支气管9，所述主气管8相连通的两根对称分布的支气管9，所述支气管9连通所述供气管1，所述防堵塞喇叭特气孔2设置于所述供气管1侧壁上并与所述供气管1连通，一种特气11通过所述防堵塞喇叭特气孔2均匀进入工艺腔体内。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，采用特气管道的防堵塞喇叭口特气孔2，在使用过程中，一路特气管道仅有一路特气11，工艺过程中防堵塞喇叭口特气孔2的气体为一种气体，不容易有工艺沉积物沉积，减少了防堵塞喇叭口特气孔2的堵塞。在一些实施例中，所述外罩5呈圆柱状、圆台状、倒圆台状或六边形状中的任一种。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，可以使用不同结构的供气管。在一些实施例中，所述喇叭状特气孔的下方进气孔3的直径为0.1mm-2mm。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，这样有效的避免了特气管道的防堵塞喇叭特气孔2容易堵塞的问题出现。在一些实施例中，所述喇叭状特气孔的上方出气孔4的直径为1.5mm-5mm。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，这样有效的避免了特气管道的防堵塞喇叭特气孔2容易堵塞的问题出现。在一些实施例中，所述防堵塞喇叭特气孔2高度为1mm-5mm。采用上述实施例，其结构简单，操作方便，这样有效的避免了特气管道的防堵本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种特气管路，其特征在于，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种特气管路，其特征在于，包括：供气管、若干组防堵塞喇叭特气孔，所述防堵塞喇叭特气孔均匀设置于所述供气管壁上，所述防堵塞喇叭特气孔包括：外罩和设置于所述外罩内的喇叭状特气孔，所述喇叭状特气孔的下方进气口与所述供气管壁连通连接，所述喇叭状特气孔的上方出气口的侧壁与所述外罩的开口侧壁相切连接。


2.根据权利要求1所述的特气管路，其特征在于，所述喇叭特气孔的下方进气口的直径小于所述喇叭特气孔的上方出气口的直径。


3.根据权利要求2所述的特气管路，其特征在于，包括：主气管、供气管和至少两根以上支气管，所述主气管相连通的两根对称分布的支气管，所述支气管连通所述供气管，所述防堵塞喇叭特气孔设置于所述供气管侧壁上并与所述供气管连通，一种特气通过所述防堵塞喇叭特气孔均匀进入工艺腔体。


4.根据权利要求3所述的特气管路，其特征在于，所述外罩呈圆柱状、圆台状、倒圆台状或六边形状中的任一种。

【专利技术属性】
技术研发人员：时宝，孟思霖，邱凯坤，
申请(专利权)人：江苏科来材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32