【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜机的冷却装置
本技术涉及真空镀膜领域，更具体地说，涉及一种用于真空镀膜机的冷却装置。
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延及PLD激光溅射沉积等多种种类。真空镀膜机在工作的时候会产生大量的热量，需要及时有效的进行冷却，以确保其正常工作；现有的冷却装置将冷却水直接喷洒在真空镀膜机腔体表面进行降温，但由于冷却水在喷洒后会附带灰尘，在回流至水箱后污染水源，需要不停地更换水源，且在散热时多为真空镀膜机散热，而冷却水并未得到散热，需要不停地通入新的冷却水进行散热，浪费大量能源。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种快速降温且能够除尘的用于真空镀膜机的冷却装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种用于真空镀膜机的冷却装置，包括外箱、真空镀膜机、冷却箱以及散热装置；所述真空镀膜机设置在所述外箱中；所述冷却箱位于所述外箱一侧、且与所述外箱之间通过管道连接；所述散热装置包...
【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：包括外箱、真空镀膜机、冷却箱以及散热装置；所述真空镀膜机设置在所述外箱中；所述冷却箱位于所述外箱一侧、且与所述外箱之间通过管道连接；所述散热装置包括第一散热组件及第二散热组件；所述第一散热组件安装在所述外箱顶部；所述第二散热组件安装在所述冷却箱顶部；所述外箱上设有清扫组件，所述清扫组件位于所述第一散热组件一侧；所述第一散热组件、第二散热组件及清扫组件之间通过皮带连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜机的冷却装置，其特征在于：包括外箱、真空镀膜机、冷却箱以及散热装置；所述真空镀膜机设置在所述外箱中；所述冷却箱位于所述外箱一侧、且与所述外箱之间通过管道连接；所述散热装置包括第一散热组件及第二散热组件；所述第一散热组件安装在所述外箱顶部；所述第二散热组件安装在所述冷却箱顶部；所述外箱上设有清扫组件，所述清扫组件位于所述第一散热组件一侧；所述第一散热组件、第二散热组件及清扫组件之间通过皮带连接。
2.根据权利要求1所述的冷却装置，其特征在于，所述第一散热组件包括第一风罩、电机、第一扇叶及第一皮带轮；所述第一风罩安装在所述外箱顶部；所述电机安装在所述第一风罩远离所述外箱一侧；所述第一扇叶与第一皮带轮均设置在第一风罩中；所述电机的电机轴依次穿过第一风罩、第一扇叶及第一皮带轮；所述第一皮带轮与所述清扫组件及所述第二散热组件之间通过皮带连接；所述第一风罩靠近所述清扫组件的侧壁设有第一缺口。
3.根据权利要求2所述的冷却装置，其特征在于，所述第二散热组件包括第二风罩、第一转轴、第二扇叶以及第二皮带轮；所述第二风罩安装在所述冷却箱顶部；所述第二扇叶及第二皮带轮设置在所述第二风罩中；所述第一转轴依次穿过第二风罩、第二扇叶及第二皮带轮；所述第二皮带轮与所述第一皮带轮及清扫组件之间通过...
【专利技术属性】
技术研发人员：王孟良，梅艳红，王孟仁，高春玲，陈卓，梅洪蕾，陈春奇，许进，周强，孟健，
申请(专利权)人：深圳天成真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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