一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板、加工装置和限位装置，所述底座板顶部一侧固定有加工装置，所述底座板内部开有加工槽，所述加工槽内部底部设有限位装置，所述限位装置与底座板内壁固定连接，所述限位装置设有四个，所述限位装置呈矩形排列，此碳化硅籽晶制备用的抛光装置，使用驱动电机带动抛光轮对碳化硅籽晶进行抛光，抛光动力较为稳定，抛光效果好，提升后续碳化硅制备的质量，使用吸盘吸取碳化硅籽晶片，一方面吸附力更强，便于籽晶抛光的稳定性，提升抛光效果，另一方面保护籽晶片，防止籽晶片折断等其它人造成缺陷，提升籽晶制备的产量。

A polishing device for silicon carbide seed preparation

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置
本技术涉及碳化硅制备
，具体为一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置。
技术介绍
金刚砂又名碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，碳化硅又称碳硅石，在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂。现有的碳化硅制备工艺中，通常采用碳化硅籽晶贴片方式制备碳化硅，碳化硅籽晶的状态影响碳化硅制备的速度与质量，现有的碳化硅籽晶制备时需要使用较大的碳化硅晶体切片，后抛光，现有的籽晶制备大都使用人工方式机械抛光或者化学抛光，化学抛光会与籽晶反应造成籽晶表面缺陷，从而影响碳化硅制备的速度和质量，现有的人工机械抛光通常直接手动抛光，但是碳化硅籽晶的厚度为300μm-500μm，容易变形，抛光时注意事项较多，员工不注意就会损坏籽晶，抛光效果较差，为此，我们提出一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板、加工装置和限位装置，所述底座板顶部一侧固定有加工装置，所述底座板内部开有加工槽，所述加工槽内部底部设有限位装置，所述限位装置与底座板内壁固定连接，所述限位装置设有四个，所述限位装置呈矩形排列。所述限位装置由顶出气缸和吸盘构成，所述底座板内壁固定有顶出气缸，所述顶出气缸顶部固定有吸盘，所述吸盘位于加工槽底部。所述加工槽顶部倒角。所述加工装置由支撑架、加工气缸、滑动区域、滑块、连接板、固定板、驱动电机和抛光轮构成，所述底座板顶部一侧固定有支撑架，所述支撑架内部固定有加工气缸，所述加工气缸顶部设有滑动区域，所述滑动区域内部设有滑块，所述滑块与加工气缸固定连接，所述滑块一侧固定有连接板，所述连接板一侧固定有固定板，所述固定板内部固定有驱动电机，所述驱动电机输出端固定有抛光轮，所述抛光轮位于加工槽顶部。所述滑块两侧对称设有滑板，所述滑动区域两侧对称设有滑槽，所述滑板和支撑架通过滑槽滑动连接。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、本技术使用驱动电机带动抛光轮对碳化硅籽晶进行抛光，抛光动力较为稳定，抛光效果好，提升后续碳化硅制备的质量，使用吸盘吸取碳化硅籽晶片，一方面吸附力更强，便于籽晶抛光的稳定性，提升抛光效果，另一方面保护籽晶片，防止籽晶片折断等其它人造成缺陷，提升籽晶制备的产量。2、本技术使用顶出气缸便于碳化硅籽晶加工完毕后的取出，加工槽顶部倒角，便于籽晶放入加工槽内，提升加工效率，使用滑板结合滑槽，便于抛光轮稳定的上升下降，便于籽晶的精密抛光。附图说明图1为本技术局部剖视图；图2为图1中A区域放大图。图中：1-底座板；2-加工装置；3-限位装置；4-加工槽；5-支撑架；6-加工气缸；7-滑动区域；8-滑块；9-连接板；10-固定板；11-驱动电机；12-抛光轮；13-滑板；14-滑槽；15-顶出气缸；16-吸盘；17-倒角。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板1、加工装置2和限位装置3，所述底座板1顶部一侧固定有加工装置2，所述底座板1内部开有加工槽4，所述加工槽4内部底部设有限位装置3，所述限位装置3与底座板1内壁固定连接，所述限位装置3设有四个，所述限位装置3呈矩形排列，使用加工装置2提供抛光动力，限位装置3固定碳化硅籽晶，提升抛光效果，提升抛光后碳化硅制备的产量。所述限位装置3由顶出气缸15和吸盘16构成，所述底座板1内壁固定有顶出气缸15，所述顶出气缸15顶部固定有吸盘16，所述吸盘16位于加工槽4底部，使用吸盘16便于碳化硅籽晶的限位，提升抛光效果，使用顶出气缸15便于碳化硅籽晶加工完毕后的取出。所述加工槽4顶部倒角17，便于籽晶放入加工槽4内。将切片后的碳化硅籽晶片放入加工槽4内，吸盘16吸住籽晶，加工装置2加工，加工完毕后，吸盘16松开籽晶，顶出气缸15顶出籽晶。所述加工装置2由支撑架5、加工气缸6、滑动区域7、滑块8、连接板9、固定板10、驱动电机11和抛光轮12构成，所述底座板1顶部一侧固定有支撑架5，所述支撑架5内部固定有加工气缸6，所述加工气缸6顶部设有滑动区域7，所述滑动区域7内部设有滑块8，所述滑块8与加工气缸6固定连接，所述滑块8一侧固定有连接板9，所述连接板9一侧固定有固定板10，所述固定板10内部固定有驱动电机11，所述驱动电机11输出端固定有抛光轮12，所述抛光轮12位于加工槽4顶部，使用驱动电机11提供稳定的动力，便于籽晶的抛光加工。所述滑块8两侧对称设有滑板13，所述滑动区域7两侧对称设有滑槽14，所述滑板13和支撑架5通过滑槽14滑动连接，使用滑板13结合滑槽14，便于抛光轮12稳定的上升下降，便于籽晶的精密抛光。在籽晶被限位装置3固定后，驱动电机11旋转，带动抛光轮12转动，此时，加工气缸6带动固定板10下降，抛光轮12接触籽晶抛光，抛光后，驱动电机11停止转动，加工气缸6伸出，籽晶加工完成。本方案中，驱动电机11优选M20型号，电机运行电路为常规电机正反转控制程序，本技术中涉及的电路以及控制均为现有技术，在此不进行过多赘述。需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板(1)、加工装置(2)和限位装置(3)，其特征在于：所述底座板(1)顶部一侧固定有加工装置(2)，所述底座板(1)内部开有加工槽(4)，所述加工槽(4)内部底部设有限位装置(3)，所述限位装置(3)与底座板(1)内壁固定连接，所述限位装置(3)设有四个，所述限位装置(3)呈矩形排列。/n

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，包括底座板(1)、加工装置(2)和限位装置(3)，其特征在于：所述底座板(1)顶部一侧固定有加工装置(2)，所述底座板(1)内部开有加工槽(4)，所述加工槽(4)内部底部设有限位装置(3)，所述限位装置(3)与底座板(1)内壁固定连接，所述限位装置(3)设有四个，所述限位装置(3)呈矩形排列。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，其特征在于：所述限位装置(3)由顶出气缸(15)和吸盘(16)构成，所述底座板(1)内壁固定有顶出气缸(15)，所述顶出气缸(15)顶部固定有吸盘(16)，所述吸盘(16)位于加工槽(4)底部。


3.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，其特征在于：所述加工槽(4)顶部倒角(17)。


4.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵杰，程鹏，
申请(专利权)人：天津市卓辉电子有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12