下载一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置的技术资料

文档序号:24210109

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本实用新型公开了一种碳化硅籽晶制备用的抛光装置,包括底座板、加工装置和限位装置,所述底座板顶部一侧固定有加工装置,所述底座板内部开有加工槽,所述加工槽内部底部设有限位装置,所述限位装置与底座板内壁固定连接,所述限位装置设有四个,所述限位装置...
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