一种碳化硅籽晶筛选组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种碳化硅籽晶筛选组件，包括筛选壳、筛选板和出料板，所述筛选壳内部的顶端设有入料口，所述筛选壳内壁设有滑动槽，且筛选板外侧滑动连接在滑动槽处，所述筛选板底端固定有多个缓冲固定件，此碳化硅籽晶筛选组件，通过将筛选板滑动连接在筛选壳内部，且振动电机直接作用于筛选板，且筛选板在多个缓冲支撑件的支撑作用下，充分在筛选壳内部进行振动，同时，由于在第一出料口设置的限位阻挡件，从而当振动电机工作一段时间后，合格的碳化硅籽晶在筛选板上全部滑落至出料板上，此时，限位阻挡件运行，使阻挡板脱离第一出料口处，使不合格碳化硅籽晶快速排出，从而提高了碳化硅籽晶的筛选质量。

A silicon carbide seed screening module

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅籽晶筛选组件
本技术涉及碳化硅
，具体为一种碳化硅籽晶筛选组件。
技术介绍
SiC半导体材料是继第一代元素半导体材料(Si)和第二代化合物半导体材料(GaAs、GaP、InP等)之后发展起来的第三代宽带隙(WideBand-gapSemiconductor,WBS)半导体材料的代表，与前两代半导体材料相比，SiC具有宽带隙、高临界击穿电场、高热导率、高载流子饱和漂移速度以及极好的化学稳定性等特点，在光电子和微电子领域，具有巨大的应用潜力。根据申请号201720771077.8，本技术公开了一种碳化硅籽晶筛选装置，包括底座，所述底座的上端中部设有筛选罐，所述筛选罐的左侧中部设有第一出料口，所述筛选罐的右侧下部设有第二出料口，所述筛选罐的底部安装有振荡器，所述筛选罐的内腔上部设有过滤板，所述筛选罐的内部下侧设有导料板，所述筛选罐的前后部通过第一销轴连接有支撑杆，所述支撑杆的上部通过第二销轴连接于支撑架的上部，本技术通过过滤板和导料板的倾斜设置，使得在筛选罐在振荡器作用下，需筛选的碳化硅籽晶可顺利由过滤板过滤，经由第一出料口排本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种碳化硅籽晶筛选组件，包括筛选壳(1)、筛选板(2)和出料板(3)，其特征在于：所述筛选壳(1)内部的顶端设有入料口(4)，所述筛选壳(1)内壁设有滑动槽(5)，且筛选板(2)外侧滑动连接在滑动槽(5)处，所述筛选板(2)底端固定有多个缓冲固定件(6)，且筛选板(2)通过多个缓冲固定件(6)与筛选壳(1)内壁固定连接，所述筛选板(2)底端固定连接有振动电机(7)，所述筛选壳(1)的一侧设有第一出料口(9)，所述筛选壳(1)内壁靠近第一出料口(9)的一侧设有限位阻挡件(8)，所述限位阻挡件(8)输出端位于筛选板(2)上，所述出料板(3)位于筛选板(2)底端，且出料板(3)固定连接在筛选壳(...

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅籽晶筛选组件，包括筛选壳(1)、筛选板(2)和出料板(3)，其特征在于：所述筛选壳(1)内部的顶端设有入料口(4)，所述筛选壳(1)内壁设有滑动槽(5)，且筛选板(2)外侧滑动连接在滑动槽(5)处，所述筛选板(2)底端固定有多个缓冲固定件(6)，且筛选板(2)通过多个缓冲固定件(6)与筛选壳(1)内壁固定连接，所述筛选板(2)底端固定连接有振动电机(7)，所述筛选壳(1)的一侧设有第一出料口(9)，所述筛选壳(1)内壁靠近第一出料口(9)的一侧设有限位阻挡件(8)，所述限位阻挡件(8)输出端位于筛选板(2)上，所述出料板(3)位于筛选板(2)底端，且出料板(3)固定连接在筛选壳(1)内部，所述筛选壳(1)上设有第二出料口(10)，且第二出料口(10)位于出料板(3)输出端上。


2.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶筛选组件，其特征在于：所述缓冲固定件(6)包括缓冲弹簧(11)、锲形块(12)、T型块(13)和支撑板(14)，所述缓冲弹簧(11)的顶端通过锲形块(12)与筛选板(2)底端固定连接，且缓冲弹簧(11)底端通过T型块(13)与支撑板(14)固定连接，所述支撑板(14)与筛选壳(1)固定连接。


3.根据权利要求1所述的一种碳化硅籽晶筛选组件，其特征在于：所述限位阻挡件(8)包括电动推杆(15)、限位板(16)、阻挡板(17)、支撑件(18)和限位壳(19)，所述电动推杆(15)通过固定板与筛选壳(1)内壁固定连接，所述电动推杆(15)输出端与限位板(16)...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，吉野辰萌，
申请(专利权)人：天津市卓辉电子有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12