头芯片及其制造方法、液体喷射头、及液体喷射记录装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够抑制杂散电容，提高画质的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。本公开的一种实施方式所涉及的头芯片是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射前述液体的头芯片。前述促动器板包括：表面以及背面；通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于前述表面的第一开口、以及设于前述背面、并且前述既定方向的长度比前述第一开口短的第二开口；以及电极，其具有在前述第一开口侧的前述通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与前述表面侧部分相比前述第二开口侧的前述侧壁设置、并且前述既定方向的大小与前述表面侧部分相同或比前述表面侧部分大的背面侧部分。

Head chip and its manufacturing method, liquid jet head and liquid jet recording device

【技术实现步骤摘要】
头芯片及其制造方法、液体喷射头、及液体喷射记录装置
本公开涉及头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。
技术介绍
作为液体喷射记录装置的一种，提供有将油墨（液体）吐出（喷射）到记录纸等被记录介质来进行图像、字符等的记录的喷墨方式的记录装置（例如，参照专利文献1）。在该方式的液体喷射记录装置中，通过从油墨储罐向喷墨头（液体喷射头）供给油墨，并从该喷墨头的喷嘴孔对被记录介质吐出油墨，从而进行图像、字符等的记录。另外，在这样的喷墨头中，设有吐出油墨的头芯片。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利第8091987号说明书。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在此种头芯片等中，例如，存在因杂散容量导致吐出速度偏差，画质降低的风险。因而，希望提供能够抑制杂散电容，提高画质的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置。用于解决问题的方案本公开的一种实施方式所涉及的头芯片是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射液体的头芯片，促动器板包括：表面以及背面；通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于表面的第一开口、以及设于背面、并且既定方向的长度比第一开口短的第二开口；以及电极，其具有在第一开口侧的通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与表面侧部分相比第二开口侧的侧壁设置、并且既定方向的大小与表面侧部分相同或比表面侧部分大的背面侧部分。本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头具备上述本公开的一种实施方式所涉及的头芯片、以及对头芯片供给液体的供给机构。本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置具备上述本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射头、以及容纳液体的容纳部。本公开的一种实施方式所涉及的头芯片的制造方法是具备对液体施加压力的促动器板、并喷射液体的头芯片的制造方法，形成促动器板的工序包含：在具有表面以及背面的压电基板，形成沿既定方向延伸且在表面具有第一开口的通道的工序；用掩膜覆盖第一开口的既定方向的两端部的工序；从设有掩膜的第一开口对通道的侧壁蒸镀导电材料以形成第一蒸镀部的工序；通过以达到通道的方式磨削压电基板的背面，在压电基板的背面侧形成既定方向的长度比第一开口短的第二开口的工序；以及从第二开口对通道的侧壁蒸镀导电材料以形成第二蒸镀部，从而形成包含第一蒸镀部以及第二蒸镀部的电极的工序。专利技术效果根据本公开的一种实施方式所涉及的头芯片及其制造方法、液体喷射头以及液体喷射记录装置，能够抑制杂散电容，提高画质。附图说明图1是表示本公开的一种实施方式所涉及的液体喷射记录装置的概要结构例的示意立体图；图2是表示图1中所示的循环机构等的详细结构例的示意图；图3是表示图2中所示的液体喷射头的详细结构例的分解立体图；图4是表示图3中所示的促动器板的背面的结构例的立体图；图5是表示沿着图3中所示的A-A线的截面的结构例的示意图；图6是表示沿着图3中所示的B-B线的截面的结构例的示意图；图7是表示图3中所示的吐出通道和公共电极的关系的一例的示意图；图8是表示沿着图3中所示的C-C线的截面的一部分的结构例的示意图；图9A是表示图3等中所示的液体喷射头的制造方法的一例的流程图；图9B是表示图9A后续的工序的流程图；图10A是用于说明图9A中所示的液体喷射头的制造方法的一个工序的截面示意图；图10B是表示图10A后续的工序的截面示意图；图10C是表示图10B后续的工序的截面示意图；图10D是表示图10C后续的工序的截面示意图；图10E是表示图10D后续的工序的截面示意图；图10F是表示图10E后续的工序的截面示意图；图10G是表示图10F后续的工序的截面示意图；图10H是表示图10G后续的工序的截面示意图；图11A是用于说明图9A中所示的步骤S5的工序的平面示意图；图11B是与图11A对应的截面示意图；图12是用于说明图11B所示的区域的示意图；图13是表示比较例所涉及的液体喷射头的主要部分的结构的示意图；图14是表示变形例所涉及的液体喷射头的主要部分的结构的示意图。具体实施方式以下，参照附图来详细地说明本公开的实施方式。以外，说明按照以下顺序进行。1.实施方式（在促动器板，设有包含表面侧部分以及背面侧部分的电极的、侧射型的液体喷射头）2.变形例（边射型的液体喷射头的例子）3.其它变形例。<1.实施方式>[打印机1的整体结构]图1是将本公开的一种实施方式所涉及的打印机1的概要结构例示意性地利用立体图表示的图。打印机1与本公开中的“液体喷射记录装置”的一个具体例对应。打印机1是利用后述的油墨9对作为被记录介质的记录纸P进行图像、字符等的记录（印刷）的喷墨打印机。该打印机1之后另外详细说明，是使油墨9循环至既定的流路以利用的、油墨循环式的喷墨打印机。如图1所示，打印机1具备一对运送机构2a、2b、油墨储罐3、喷墨头4、循环机构5和扫描机构6。这些各部件容纳在具有规定形状的框体10内。此外，在本说明书的说明中使用的各附图中，为了使各部件为能够识别的大小，适当变更各部件的比例尺。喷墨头4（后述的喷墨头4Y、4M、4C、4K）与本公开中的“液体喷射头”的一个具体例对应。（运送机构2a、2b）如图1所示，运送机构2a、2b各自是将记录纸P沿着运送方向d（X轴方向）运送的机构。这些运送机构2a、2b各自具有栅格辊21、夹送辊22以及驱动机构（未图示）。栅格辊21以及夹送辊22各自沿着Y轴方向（记录纸P的宽度方向）延伸设置。驱动机构是使栅格辊21绕轴旋转（在Z-X面内旋转）的机构，例如使用马达等构成。（油墨储罐3）油墨储罐3是容纳对喷墨头4供给的油墨9的储罐。油墨9与本公开中的“液体”的一个具体例对应。油墨储罐3是将油墨9容纳于内部的储罐。作为该油墨储罐3，在本例中如图1所示，设有单独地容纳黄（Y）、洋红（M）、青（C）、黑（K）这四色油墨9的4种储罐。即，设有容纳黄色油墨9的油墨储罐3Y、容纳洋红色油墨9的油墨储罐3M、容纳青色油墨9的油墨储罐3C、容纳黑色油墨9的油墨储罐3K。这些油墨储罐3Y、3M、3C、3K在框体10内沿着X轴方向排列配置。此外，油墨储罐3Y、3M、3C、3K各自除了所容纳的油墨9的颜色以外都为相同的结构，故在以下总称为油墨储罐3来进行说明。油墨储罐3与本公开中的“容纳部”的一个具体例对应。（喷墨头4）喷墨头4是从后述的多个喷嘴孔（喷嘴孔H1、H2）对记录纸P喷射（吐出）液滴状油墨9来进行图像、字符等的记录的头。作为该喷墨头4，在本例中也如图1所示，设有单独地喷射分别容纳于上述的油墨储罐3Y、3M、3C、3K中的四色油墨9的4种头。即，设有喷射黄色油墨9的喷墨头4Y、喷射洋红色油墨9的喷墨头4M、喷射青色油墨9的喷墨头4C、喷射黑色油墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种头芯片，为具备对液体施加压力的促动器板、并喷射所述液体的头芯片，/n所述促动器板包括：/n表面以及背面；/n通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于所述表面的第一开口、以及设于所述背面、并且所述既定方向的长度比所述第一开口短的第二开口；以及/n电极，其具有在所述第一开口侧的所述通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与所述表面侧部分相比所述第二开口侧的所述侧壁设置、并且所述既定方向的大小与所述表面侧部分相同或比所述表面侧部分大的背面侧部分。/n

【技术特征摘要】
20181109 JP 2018-2115231.一种头芯片，为具备对液体施加压力的促动器板、并喷射所述液体的头芯片，
所述促动器板包括：
表面以及背面；
通道，其沿既定方向延伸，并且具有设于所述表面的第一开口、以及设于所述背面、并且所述既定方向的长度比所述第一开口短的第二开口；以及
电极，其具有在所述第一开口侧的所述通道的侧壁设置的表面侧部分、以及在与所述表面侧部分相比所述第二开口侧的所述侧壁设置、并且所述既定方向的大小与所述表面侧部分相同或比所述表面侧部分大的背面侧部分。


2.根据权利要求1所述的头芯片，其中，所述背面侧部分的所述既定方向的大小与所述第二开口的所述既定方向的长度相同。


3.根据权利要求1或权利要求2所述的头芯片，其中，所述表面侧部分的所述既定方向的大小比所述第二开口的所述既定方向的长度小。


4.根据权利要求1或权利要求2所述的头芯片，其中，还包括喷嘴板，所述喷嘴板设有与所述通道连通的喷嘴孔。


5.一种液体喷射头，其具备：
权利要求1或权利要求2所记载的头芯片；以及
对所述头芯片供给所述液体的供给机构。


6.一种液体喷射记录装置，其具备：
权利要求5所记载的液体喷射头；以及
容纳所述液体的容纳部。


7.一种头芯片的制造方法，该头芯片具备对液体施加压力的促动器板、并喷射所述液体，
形成所述促动器板的工序...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝知季，山村祐树，三根亨，
申请(专利权)人：精工电子打印科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP