一种真圆度检测用治具制造技术

本实用新型专利技术是一种真圆度检测用治具，包括检测工作台，其特征在于，所述检测工作台呈正方形板结构，所述检测工作台的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台，所述环形检测台的外壁与所述圆形开口结构的内壁固接，所述环形检测台低于所述检测工作台的上表面。本实用新型专利技术结构设计合理，操作简便，通过设置环形检测台，检测工作台，部件清洗喷砂完毕后，将部件上部扣在环形检测台上，配合检测工作台，检测部件的真圆度，与常规的游标卡尺检测相比，避免了对同一部件进行多次随机多点检测，检测方便有效，提高了检测效率的同时降低了检测误差，进而满足了检测部件的使用需求。

A tool for measuring roundness

【技术实现步骤摘要】
一种真圆度检测用治具
本技术涉及真圆度检测工具
，尤其涉及一种真圆度检测用治具。
技术介绍
半导体设备中有一种氮化钽的物理沉积机台，机台中的部件下部防护罩(LOWERSHILED)因厚度较薄，且上部有一个开口，在清洗喷砂过程中存在变形的情况，因此，需要对清洗喷砂后的部件LOWERSHILED上部进行真圆度检测。但是，常规的检测采用游标卡尺对同一部件进行多次随机多点检测，检测费时费力，检测效率低，同时存在较大的检测误差，无法满足检测部件的使用需求。
技术实现思路
本技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种真圆度检测用治具。本技术为实现上述目的，采用以下技术方案：一种真圆度检测用治具，包括检测工作台，其特征在于，所述检测工作台呈正方形板结构，所述检测工作台的四周对应设有若干安装孔，所述安装孔内同轴设有螺栓，所述检测工作台的底部四周设有若干与所述安装孔一一对应的立柱，所述检测工作台通过所述螺栓与所述立柱固接，所述检测工作台的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台，所述环形检测台的外壁与所述圆本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真圆度检测用治具，包括检测工作台(1)，其特征在于，所述检测工作台(1)呈正方形板结构，所述检测工作台(1)的四周对应设有若干安装孔，所述安装孔内同轴设有螺栓(3)，所述检测工作台(1)的底部四周设有若干与所述安装孔一一对应的立柱(4)，所述检测工作台(1)通过所述螺栓(3)与所述立柱(4)固接，所述检测工作台(1)的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台(2)，所述环形检测台(2)的外壁与所述圆形开口结构的内壁固接，所述环形检测台(2)低于所述检测工作台(1)的上表面。/n

【技术特征摘要】
1.一种真圆度检测用治具，包括检测工作台(1)，其特征在于，所述检测工作台(1)呈正方形板结构，所述检测工作台(1)的四周对应设有若干安装孔，所述安装孔内同轴设有螺栓(3)，所述检测工作台(1)的底部四周设有若干与所述安装孔一一对应的立柱(4)，所述检测工作台(1)通过所述螺栓(3)与所述立柱(4)固接，所述检测工作台(1)的中心设有圆形开口结构，所述圆形开口结构内同轴设有环形检测台(2)，所述环形检测台(2)的外壁与所述圆形开口结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12