一种刚度可调的气浮导轨制造技术

本发明专利技术公开了一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条及滑块，所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜，还包括电磁铁，所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上，且在电磁铁通电后，电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖直方向相互靠拢的磁力。本气浮导轨的结构设计可使得其能够被运用于精密测量仪器或者超精密机床在轻负载时，拥有良好的支承刚度和运动精度和抗干扰的能力，有利于提高气浮导轨的运动精度和动力学性能。

An air floating guide rail with adjustable rigidity

【技术实现步骤摘要】
一种刚度可调的气浮导轨
本专利技术涉及气浮导轨
，特别是涉及一种刚度可调的气浮导轨。
技术介绍
气浮导轨基于气体动静压效应，实现无摩擦和无振动的平滑移动。它具有运动精度高、清洁无污染等特点。因其误差均化作用，可用比较低的制造精度来获得较高的导向精度。通常与伺服驱动，传感器组成闭环系统，实现高精度位移定位。气浮导轨在测量仪器、精密机械中得到了广泛的应用。气浮导轨一般包括以下结构：导轨座(导轨条)、溜板(滑块)、节流器、供气系统及调节装置，所述节流器形式多样，一般包括如：小孔节流器、毛细管节流器、薄膜反馈节流器等。气浮导轨按安装特征可以分为：平面封闭型、圆筒封闭型、重力平衡型和真空预载荷型。以重力平衡型气浮导轨为例，其结构简单，加工方便，但刚度低，用于负载变动较小的场合。但在具体使用时，随着气浮导轨工作条件的改变，如导轨的负载、供气压力等参数的改变，气膜厚度也会有相应的改变，从而改变了气浮导轨的动力学性能。以上刚度低的问题直接影响导轨的运动精度和抗干扰的能力，给气浮导轨的运用和性能具有较大的影响。<br>专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条(1)及滑块(3)，所述滑块(3)与导轨条(1)之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块(3)支撑在导轨条(1)上侧的第一气膜(8)，其特征在于，还包括电磁铁(2)，所述电磁铁(2)固定在导轨条(1)和/或滑块(3)上，且在电磁铁(2)通电后，电磁铁(2)产生使得导轨条(1)与滑块(3)在竖直方向相互靠拢的磁力。/n

【技术特征摘要】
1.一种刚度可调的气浮导轨，包括导轨条(1)及滑块(3)，所述滑块(3)与导轨条(1)之间具有气膜间隙，所述气膜间隙包括用于将滑块(3)支撑在导轨条(1)上侧的第一气膜(8)，其特征在于，还包括电磁铁(2)，所述电磁铁(2)固定在导轨条(1)和/或滑块(3)上，且在电磁铁(2)通电后，电磁铁(2)产生使得导轨条(1)与滑块(3)在竖直方向相互靠拢的磁力。


2.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，在导轨条(1)的宽度方向上，导轨条(1)的左侧和右侧均设置有多个电磁铁(2)；
导轨条(1)左侧的电磁铁(2)沿着导轨条(1)的长度方向依次排布；
导轨条(1)右侧的电磁铁(2)沿着导轨条(1)的长度方向依次排布；
各电磁铁(2)均可独立工作。


3.根据权利要求2所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在滑块(3)上；
所述第一气膜(8)设置在导轨条(1)宽度方向的中部；
滑块(3)的左侧和右侧均设置有一个与滑块(3)侧面相接的凹槽，所述电磁铁(2)安装在所述凹槽中。


4.根据权利要求2所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，电磁铁(2)均安装在滑块(3)上；
所述第一气膜(8)设置在导轨条(1)宽度方向的中部；
电磁铁(2)均通过顶面与滑块(3)的底面固定连接安装于滑块(3)上。


5.根据权利要求1所述的一种刚度可调的气浮导轨，其特征在于，还包括位移传感器(6)，所述位移传感器(6)用于检测所述第一气膜(8)的气膜厚度。


6.根据权利要求5所述的一种刚度可调的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨光伟，阳红，张敏，王虎，刘有海，戴晓静，孙守利，尹承真，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院机械制造工艺研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51