下载一种刚度可调的气浮导轨的技术资料

文档序号:24162860

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本发明公开了一种刚度可调的气浮导轨,包括导轨条及滑块,所述滑块与导轨条之间具有气膜间隙,所述气膜间隙包括用于将滑块支撑在导轨条上侧的第一气膜,还包括电磁铁,所述电磁铁固定在导轨条和/或滑块上,且在电磁铁通电后,电磁铁产生使得导轨条与滑块在竖...
该专利属于中国工程物理研究院机械制造工艺研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国工程物理研究院机械制造工艺研究所授权不得商用。

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