【技术实现步骤摘要】
静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置
本技术涉及材料微细加工领域,特别涉及一种静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置。本技术不仅可以提升利用纳秒激光加工透明介质材料的可加工性,而且通过施加局部压力限制等离子体扩散,提高相应的加工效率。本技术适用于对纳秒激光具有透过特性的透明介质材料的纳秒激光加工,在光学、精密加工等领域具有潜在的应用前景。
技术介绍
透明介质材料如熔融石英、蓝宝石等是非常重要的光学材料,在航空航天、精密光学等领域有十分重要的应用。然而,该类光学材料往往硬、脆,使得其加工困难。纳秒激光加工虽然广泛应用于金属等材料,但是由于该类光学材料往往对纳秒激光具有透过的特性,导致其对纳秒激光的吸收率极低,往往利用纳秒激光无法对该类透明介质材料进行直接有效加工。为了实现透明介质材料的纳秒激光加工,在透明介质背底添加有色材料或者化学试剂是经常采用的方法,这样虽然可以实现透明介质材料的纳秒激光加工,但是有色材料或者化学试剂在加工过程中亦会被剧烈烧蚀或产生化学反应,从而污染透明介质材料的加工表面。为此,如何实现透明介质材 ...
【技术保护点】
1.一种静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置,其特征在于:包括液体供压系统(1)、液体储存与排放系统(2)、工件夹持系统(3)和激光加工系统(4),其中,液体供压系统(1)固定连接在激光加工系统(4)的加工平台(403)上,液体储存与排放系统(2)与液体供压系统(1)连接,工件夹持系统(3)与液体储存与排放系统(2)连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置,其特征在于:包括液体供压系统(1)、液体储存与排放系统(2)、工件夹持系统(3)和激光加工系统(4),其中,液体供压系统(1)固定连接在激光加工系统(4)的加工平台(403)上,液体储存与排放系统(2)与液体供压系统(1)连接,工件夹持系统(3)与液体储存与排放系统(2)连接。
2.根据权利要求1所述的静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置,其特征在于:所述的液体供压系统(1)是:底板(101)固定连接在加工平台(403)上,固定件一(102)的底部、支座(105)的底部和固定件二(107)的底部分别固定连接在底板(101)上,连接板一(103)左端固定连接在固定件一(102)的上部,电动推杆(104)左端固定连接在连接板一(103)右端,电动推杆(104)缸套放在支座(105)上,连接板二(106)左端固定连接在电动推杆(104)的伸缩杆最右端,连接板二(106)右端与耐高压注射器(108)推杆端面接触,耐高压注射器(108)固定连接在固定件二(107)上,转换接头一(109)左端固定连接在耐高压注射器(108)的出口处,转换接头一(109)右端固定连接在液体储存与排放系统(2)的水槽(201)右面侧壁。
3.根据权利要求1所述的静压力水辅助纳秒激光加工透明介质材料的装置,其特征在于:所述的液体储存与排放系统(2)是:水槽(201)底部固定连接在液体供压系统(1)的底板(101)上,压力表转换接头(202)固定连接在水槽(201)的左面侧壁,压力表(203)固定连接在压力表转换接头(20...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄虎,崔明明,王超,钱永峰,
申请(专利权)人:吉林大学,
类型:新型
国别省市:吉林;22
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