一种脆性材料激光切割装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种脆性材料激光切割装置及方法，包括激光器、扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜；激光器能够输出高斯激光光束，扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜被设置在激光的光路上；输出的高斯激光光束依次射入扩束系统和光阑孔，高斯激光光束经过该扩束系统扩束，将激光光斑直径扩大；再经过光阑孔，控制光斑的能量分布；再经过锥透镜将高斯激光光束转换成贝塞尔激光光束，再射入准直透镜，形成环形光，再经过物镜聚焦，形成聚焦后贝塞尔激光光束作用在脆性材料上进行切割操作。利用本发明专利技术的激光切割装置在满足脆性材料的切断面的粗糙度要求同时也能满足对激光强度的控制要求，切割出合适形状的切断面粗糙度的脆性材料。

【技术实现步骤摘要】
一种脆性材料激光切割装置及方法
本专利技术属于激光切割领域，具体涉及一种脆性材料激光切割装置及方法。
技术介绍
面板行业的不断发展，对其内部配件玻璃、蓝宝石等材料切割要求在不断的提高，特别是崩边、断面粗糙度等方面，目前有刀轮切割、激光烧蚀切割、激光隐形切割、激光成丝切割等技术，前两种方式已经不能满足要求，隐形切割崩边可以，但断面粗糙度太大，激光成丝切割崩边和断面粗糙度都只能满足一般需求，对产品切割后的强度影响较大。而在激光切割技术方面，常见的有高斯激光光束切割和贝塞尔激光光束切割技术，对于高斯激光光束，常规的高斯激光光束由于其激光能量集中在焦点附近很短的长度范围内，很难满足对脆性材料的切断面的粗糙度要求，对于需要高质量切割的面板，高斯激光光束切割技术很难满足要求。目前，获得贝塞尔激光光束的方法主要可以分为两类，第一类是利用具有特定结构谐振腔的激光器直接产生贝塞尔激光光束，第二类是通过光束空间变换的方法由其他光束转换为贝塞尔激光光束，较为普遍的产生方式是将激光器输出的高斯激光光束通过一个锥透镜生成贝塞尔激光光束，但对于贝塞尔激光光本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种脆性材料激光切割装置，其特征在于，包括激光器、扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜；所述激光器能够输出高斯激光光束，所述扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜被设置在激光的光路上；输出的高斯激光光束依次射入扩束系统和光阑孔，所述高斯激光光束经过该扩束系统扩束，将激光光斑直径扩大；再经过所述光阑孔，控制光斑的能量分布；再经过锥透镜将高斯激光光束转换成贝塞尔激光光束，所述贝塞尔激光光束再射入准直透镜，形成环形光，再经过物镜聚焦，形成聚焦后贝塞尔激光光束作用在脆性材料上，切割该脆性材料。/n

【技术特征摘要】
1.一种脆性材料激光切割装置，其特征在于，包括激光器、扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜；所述激光器能够输出高斯激光光束，所述扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜被设置在激光的光路上；输出的高斯激光光束依次射入扩束系统和光阑孔，所述高斯激光光束经过该扩束系统扩束，将激光光斑直径扩大；再经过所述光阑孔，控制光斑的能量分布；再经过锥透镜将高斯激光光束转换成贝塞尔激光光束，所述贝塞尔激光光束再射入准直透镜，形成环形光，再经过物镜聚焦，形成聚焦后贝塞尔激光光束作用在脆性材料上，切割该脆性材料。


2.根据权利要求1所述的脆性材料激光切割装置，其特征在于，所述物镜替换为聚焦透镜组。


3.根据权利要求1或2所述的脆性材料激光切割装置，其特征在于，所述扩束系统将高斯激光光束的光斑直径扩大到5-15mm。


4.根据权利要求1或2所述的脆性材料激光切割装置，其特征在于，所述光阑孔为锯齿状光阑孔。


5.根据权利要求4所述的脆性材料激光切割装置，其特征在于，所述扩束系统将激光扩束之后形成的光斑的直径与所述锯齿状光阑孔的锯齿处的尺寸配合。

【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉芬，张明荣，谢圣君，彭荣森，吕启涛，彭伟东，黄海，李少荣，龚凯蒂，周亚飞，刑沐悦，朱高翔，张庆礼，毕瑜彬，邓鹏，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44