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本发明涉及一种脆性材料激光切割装置及方法,包括激光器、扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜;激光器能够输出高斯激光光束,扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜被设置在激光的光路上;输出的高斯激光光束依次射入扩束系统和光阑孔,高斯激...该专利属于大族激光科技产业集团股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过大族激光科技产业集团股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种脆性材料激光切割装置及方法,包括激光器、扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜;激光器能够输出高斯激光光束,扩束系统、光阑孔、锥透镜、准直透镜以及物镜被设置在激光的光路上;输出的高斯激光光束依次射入扩束系统和光阑孔,高斯激...