硅片分选机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种硅片分选机，包括：硅片传送装置；脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；以及待复测硅片收集容器，与所述硅片传送装置对接，以收集被检测为存在碎片异常的硅片。上述硅片分选机，控制系统可以通过脏污模组扫描硅片获得的信息，判断硅片是否存在碎片异常。检测为存在碎片异常的硅片收集至待复测硅片收集容器内，以避免具有脏污的硅片因漏检而被误判为合格品，从而有效提高检测合格的硅片的良率。

【技术实现步骤摘要】
硅片分选机
本技术涉及硅片分选领域，特别是涉及一种硅片分选机。
技术介绍
硅片分选机用以在硅片制作完成后对硅片进行检测，其中包括对表面脏污的硅片进行筛选。一般的，通过脏污模组对硅片进行扫描。脏污模组将扫描信息传递给控制系统，控制系统根据脏污模组的扫描信息判断硅片表面是否存在脏污现象。然而，在硅片的生产、清洗或运输等过程中，难以避免的会导致硅片碎片现象。当破碎的硅片部分或全部落在脏污模组上时，必将遮挡光源，导致具有脏污现象的硅片难以被检测到，影响检测合格的硅片的良率。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种可以有效提高检测合格的硅片的良率的硅片分选机。一种硅片分选机，包括：硅片传送装置；脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；以及控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；以及待复测硅片收集容器，与所述硅片传送装置对接，以收集被检测为存在碎片异常的硅片。上述硅片分选机，控制系统可以通过脏污模组扫描硅片获得的信息，判断硅片是否本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片分选机，其特征在于，包括：/n硅片传送装置；/n脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；/n控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；以及/n待复测硅片收集容器，与所述硅片传送装置对接，以收集被检测为存在碎片异常的硅片。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片分选机，其特征在于，包括：
硅片传送装置；
脏污检测工位，具有用以扫描硅片的脏污模组；
控制系统，用以接收所述脏污模组的扫描信息，并根据所述脏污模组的扫描信息判断硅片是否存在碎片异常；以及
待复测硅片收集容器，与所述硅片传送装置对接，以收集被检测为存在碎片异常的硅片。


2.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，当连续预设个硅片被判断为存在碎片异常时，所述控制系统控制所述硅片分选机停机。


3.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，所述脏污模组为电荷耦合器件图像传感器。


4.根据权利要求1所述的硅片分选机，其特征在于，还包括警报装置；当连续预设个硅片被检测为存在碎片异常时，所述控制系统可发送信号给所述警报装置以发出警报。


5.根据权利要求4所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋旭，
申请(专利权)人：阜宁协鑫光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32