一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管，电刷镀处理装置包括刷头和至少两个用于连接在靶材管外壁的负极连接部，刷头设置有正极连接管，正极连接管的一端连接于刷头，正极连接管的另一端连接直流电源的正极，电刷镀输液管的一端固定于刷头，电刷镀输液管的另一端连接电刷镀液，负极连接部与靶材管同轴安装，负极连接部设置有数量与负极连接部数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。本电刷镀处理装置，提高电刷镀时阳极和阴极之间的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。

A brush plating device before binding target tube

【技术实现步骤摘要】
一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置
本技术涉及旋转靶绑定预处理
，尤其是涉及一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置。
技术介绍
传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致段与段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优。在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要。其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，靶材管的长度达到2.5米以上，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，对绑定前的靶材管内壁进行电刷镀处理，提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。为了实现上述目的，本技术所采用的技术方案是一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管，电刷镀处理装置包括刷头和至少两个用于连接在靶材管外壁的负极连接部，刷头设置有正极连接管，正极连接管的一端连接于刷头，正极连接管的另一端连接直流电源的正极，电刷镀输液管的一端固定于刷头，电刷镀输液管的另一端连接电刷镀液，负极连接部与靶材管同轴安装，负极连接部设置有数量与负极连接部数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。进一步的技术方案中，相邻的所述负极连接部之间的距离设置在50cm-100cm。进一步的技术方案中，各所述负极连接部间隔相等地设置于所述靶材管的外壁，负极连接部围绕于靶材管的外壁。进一步的技术方案中，所述刷头包括刷镀头、固定座和正极连接部，正极连接部安装于固定座的中部，刷镀头安装于正极连接部。进一步的技术方案中，所述刷镀头的外侧形状与所述靶材管的内侧形状相匹配，刷镀头的一侧开设有镀头固定孔，镀头固定孔插装于所述正极连接部。进一步的技术方案中，所述固定座为中空，固定座的侧面开设有正极连接通孔，所述正极连接部安装于固定座的中空位置，正极连接部的侧面设置有固定孔，固定孔与正极连接通孔对应连接。进一步的技术方案中，所述正极连接部的下端凸出设置有一镀头安装部，所述镀头固定孔安装于镀头安装部，正极连接部的上端向内凹陷形成正极安装部，正极安装部与所述正极连接管的一端连接。进一步的技术方案中，所述刷头的外周包覆有镀液擦拭部，所述刷镀头被包裹于镀液擦拭部内，所述电刷镀输液管插入至镀液擦拭部的包裹范围内。进一步的技术方案中，所述刷头的上方安装有一刷镀滑轨，刷头滑动安装于刷镀滑轨，刷头的一侧设置有一绝缘伸缩杆，所述电刷镀输液管和所述正极连接管固定或放置于绝缘伸缩杆。进一步的技术方案中，所述刷镀滑轨包括横向滑动块和横向驱动机构，横向滑动块的一侧滑动安装于刷镀滑轨，横向滑动块的另一侧连接于所述刷头，横向滑动块驱动连接于横向驱动机构。采用上述结构后，本技术和现有技术相比所具有的优点是：本技术的电刷镀处理装置的镀膜层镀膜厚度更均匀，提高电刷镀层的致密性，镀膜效果更好，电刷镀效率高。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图。图2是本技术的刷头的结构示意图。图3是本技术的正极连接部的结构示意图。图4是本技术的固定座的结构示意图。图5是本技术的刷镀头的结构示意图。图6是本技术的刷头的安装在内壁电刷镀处理的加工设备中的结构示意图。图中：10-直流电源的正极、11-直流电源的负极、12-靶材管、13-刷镀滑轨、14-支架、15-绝缘伸缩杆、16-横向滑动块；20-电刷镀输液管、21-负极连接部、22-正极连接管；30-刷头、31-刷镀头、32-镀头固定孔、33-镀液擦拭部；40-固定座、41-正极连接通孔；50-正极连接部、51-固定孔、52-镀头安装部、53-正极安装部。具体实施方式以下仅为本技术的较佳实施例，并不因此而限定本技术的保护范围。一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，图1-图6所示，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管20，电刷镀处理装置包括刷头30和至少两个用于连接在靶材管12外壁的负极连接部21，刷头30设置有正极连接管22，正极连接管22的一端连接于刷头30，正极连接管22的另一端连接直流电源的正极10，电刷镀输液管20的一端固定于刷头30，电刷镀输液管20的另一端连接电刷镀液，负极连接部21与靶材管12同轴安装，负极连接部21设置有数量与负极连接部21数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部21连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极11。现有的旋转靶绑定多为分段绑定，分段的旋转靶长度较短，一般在绑定前进行对旋转靶的背管和靶材管12进行预处理，对靶材管12的预处理会进行刷镀，在刷镀时会对靶材管12连接直流电源的负极11，在刷镀笔上连接直流电源的正极10进行电刷镀。因分段绑定的靶材管12在连接处会形成接缝，在磁控溅射时会影响镀膜的均匀性，为了避免这问题发生因此采取一次性整管绑定。在电刷镀时对电流密度会有一定的要求，靶材管12的长度一般在2.5米以上，由于靶材管12的长度过长，使电刷镀时的电流密度过低，导致电刷镀时离子的沉积速度慢，电刷镀效果差，电刷镀效率低。本技术在靶材管12的外壁设置有至少2个负极连接部21，负极连接部21由电阻较小的导电材料制成，该负极连接部21的优选材料为铜，直流电源的负极11分别同时连接各负极连接部21，直流电源的正极10与刷头30连接，打开电源，在刷头30在靶材管12内壁进行刷镀时，因有多个负极连接部21分布在靶材管12长度方向的不同位置上，使在靶材管12的各区域的电流密度均匀，有效防止个别区域电流密度过度的现象，从而保证离子的沉积速度，电刷镀层厚度均匀，电刷镀效果好，电刷镀效率高。作为优选地，相邻的负极连接部21之间的距离设置在50cm-100cm。负极连接部21之间的距离设置过密容易造成电流密度过高，负极连接部21之间的距离设置过长容易造成电流密度过低，因此负极连接部21之间的距离要选取合适的长度，才能得到合适的电流密度。更为优选地，各负极连接部21间隔相等地设置于靶材管12的外壁，负极连接部21围绕于靶材管12的外壁。各负极连接部21间隔相等设置使各区域的电流密度更为均匀。直流电源的负极81与负极连接部21连接，形成电刷镀处理装置的阴极。直流电源的正极80与刷头30连接，形成电刷镀处理装置的阳极。具体的阳极结构为，刷头30包括刷镀头31、固定座40和正极连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(20)，其特征在于：电刷镀处理装置包括刷头(30)和至少两个用于连接在靶材管(12)外壁的负极连接部(21)，/n刷头(30)设置有正极连接管(22)，正极连接管(22)的一端连接于刷头(30)，正极连接管(22)的另一端连接直流电源的正极(10)，电刷镀输液管(20)的一端固定于刷头(30)，电刷镀输液管(20)的另一端连接电刷镀液，/n负极连接部(21)与靶材管(12)同轴安装，负极连接部(21)设置有数量与负极连接部(21)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部(21)连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(11)。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(20)，其特征在于：电刷镀处理装置包括刷头(30)和至少两个用于连接在靶材管(12)外壁的负极连接部(21)，
刷头(30)设置有正极连接管(22)，正极连接管(22)的一端连接于刷头(30)，正极连接管(22)的另一端连接直流电源的正极(10)，电刷镀输液管(20)的一端固定于刷头(30)，电刷镀输液管(20)的另一端连接电刷镀液，
负极连接部(21)与靶材管(12)同轴安装，负极连接部(21)设置有数量与负极连接部(21)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部(21)连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(11)。


2.根据权利要求1所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：相邻的所述负极连接部(21)之间的距离设置在50cm-100cm。


3.根据权利要求1所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：各所述负极连接部(21)间隔相等地设置于所述靶材管(12)的外壁，负极连接部(21)围绕于靶材管(12)的外壁。


4.根据权利要求2或3所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：所述刷头(30)包括刷镀头(31)、固定座(40)和正极连接部(50)，正极连接部(50)安装于固定座(40)的中部，刷镀头(31)安装于正极连接部(50)。


5.根据权利要求4所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：所述刷镀头(31)的外侧形状与所述靶材管(12)的内侧形状相匹配，刷镀头(31)的一侧开设有镀头固定孔(32)，镀头固定孔(32)插装于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明恒，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44