一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管，电刷镀处理装置包括刷头和至少两个用于连接在靶材管外壁的负极连接部，刷头设置有正极连接管，正极连接管的一端连接于刷头，正极连接管的另一端连接直流电源的正极，电刷镀输液管的一端固定于刷头，电刷镀输液管的另一端连接电刷镀液，负极连接部与靶材管同轴安装，负极连接部设置有数量与负极连接部数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极。本电刷镀处理装置，提高电刷镀时阳极和阴极之间的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。

A brush plating device before binding target tube

【技术实现步骤摘要】
一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置
本技术涉及旋转靶绑定预处理
，尤其是涉及一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置。
技术介绍
传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致段与段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优。在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要。其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，靶材管的长度达到2.5米以上，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，对绑定前的靶材管内壁进行电刷镀处理，提高电刷镀区域的电流密度和离子沉积速度，提高电刷镀层的致密性和电刷镀效率。为了实现上述目的，本技术所采用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(20)，其特征在于：电刷镀处理装置包括刷头(30)和至少两个用于连接在靶材管(12)外壁的负极连接部(21)，/n刷头(30)设置有正极连接管(22)，正极连接管(22)的一端连接于刷头(30)，正极连接管(22)的另一端连接直流电源的正极(10)，电刷镀输液管(20)的一端固定于刷头(30)，电刷镀输液管(20)的另一端连接电刷镀液，/n负极连接部(21)与靶材管(12)同轴安装，负极连接部(21)设置有数量与负极连接部(21)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部(21)连接，负极连接管...

【技术特征摘要】
1.一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(20)，其特征在于：电刷镀处理装置包括刷头(30)和至少两个用于连接在靶材管(12)外壁的负极连接部(21)，
刷头(30)设置有正极连接管(22)，正极连接管(22)的一端连接于刷头(30)，正极连接管(22)的另一端连接直流电源的正极(10)，电刷镀输液管(20)的一端固定于刷头(30)，电刷镀输液管(20)的另一端连接电刷镀液，
负极连接部(21)与靶材管(12)同轴安装，负极连接部(21)设置有数量与负极连接部(21)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与对应的负极连接部(21)连接，负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(11)。


2.根据权利要求1所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：相邻的所述负极连接部(21)之间的距离设置在50cm-100cm。


3.根据权利要求1所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：各所述负极连接部(21)间隔相等地设置于所述靶材管(12)的外壁，负极连接部(21)围绕于靶材管(12)的外壁。


4.根据权利要求2或3所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：所述刷头(30)包括刷镀头(31)、固定座(40)和正极连接部(50)，正极连接部(50)安装于固定座(40)的中部，刷镀头(31)安装于正极连接部(50)。


5.根据权利要求4所述的一种靶材管绑定前的电刷镀处理装置，其特征在于：所述刷镀头(31)的外侧形状与所述靶材管(12)的内侧形状相匹配，刷镀头(31)的一侧开设有镀头固定孔(32)，镀头固定孔(32)插装于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈明恒，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44