【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备
本技术涉及旋转靶绑定预处理
，尤其是涉及一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备。
技术介绍
传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定，多段绑定导致旋转靶材段之间形成接缝，该接缝在磁控溅射中会影响镀膜的均匀性，因此采取一次整管绑定的旋转靶质量更优。在对旋转靶的背管和靶材管在绑定前的预处理效果直接影响旋转靶绑定的粘结牢固度和焊合率，粘结牢固度和焊合率低使旋转靶在使用时出现导电不良、散热不均、易脱落的情况，严重影响产品的使用，因此对旋转靶的绑定前的预处理尤为重要。其中靶材管的预处理是对靶材管的内壁进行电刷镀处理，在电刷镀通电时，靶材管的长度达到2.5米以上，因靶材管的长度过长，导致电刷镀区域的电流密度低，使电刷镀层的致密性低，离子的沉积速度慢，导致电刷镀效果差，电刷镀效率低。同时现有的旋转靶电刷镀平台为人工刷镀，生产效率低，刷镀膜层厚度等靠人工经验进行控制，刷镀膜的质量无法保证。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的是提供一种旋转靶绑定内管壁预处...
【技术保护点】
1.一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架(18)，其特征在于：机架(18)安装有倾斜平台(78)，机架(18)的一侧设置有液体收集箱(19)，倾斜平台(78)的中部设置有旋转固定部(75)，旋转固定部(75)包括外固定部(76)和内旋转部(77)，外固定部(76)安装于倾斜平台(78)，内旋转部(77)滑动连接于外固定部(76)内腔中，/n倾斜平台(78)安装有电刷镀处理装置和固定支架(83)，固定支架(83)分别安装在倾斜平台(78)的两端，电刷镀处理装置包括刷头(93)、绝缘伸缩杆(84)和刷镀滑轨(82)，刷头(93)滑动安装于刷镀滑轨(82)，刷镀滑轨(8...
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，包括机架(18)，其特征在于：机架(18)安装有倾斜平台(78)，机架(18)的一侧设置有液体收集箱(19)，倾斜平台(78)的中部设置有旋转固定部(75)，旋转固定部(75)包括外固定部(76)和内旋转部(77)，外固定部(76)安装于倾斜平台(78)，内旋转部(77)滑动连接于外固定部(76)内腔中，
倾斜平台(78)安装有电刷镀处理装置和固定支架(83)，固定支架(83)分别安装在倾斜平台(78)的两端，电刷镀处理装置包括刷头(93)、绝缘伸缩杆(84)和刷镀滑轨(82)，刷头(93)滑动安装于刷镀滑轨(82)，刷镀滑轨(82)的两端分别安装于固定支架(83)，绝缘伸缩杆(84)的一端连接于刷头(93)，绝缘伸缩杆(84)的另一端连接于固定支架(83)。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述机架(18)内设置有升降驱动机构(79)，升降驱动机构(79)驱动连接所述倾斜平台(78)的一端，倾斜平台(78)的另一端铰接于机架(18)，所述液体收集箱(19)位于铰接有倾斜平台(78)的机架(18)一侧。
3.根据权利要求2所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述外固定部(76)固定安装于所述倾斜平台(78)的顶面，用于固定靶材管(12)的所述内旋转部(77)沿所述加工设备的长度方向为中空设置，所述旋转固定部(75)包括旋转驱动装置，旋转驱动装置驱动连接内旋转部(77)，内旋转部(77)相对外固定部(76)旋转。
4.根据权利要求3所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：所述电刷镀处理装置包括直流电源、用于输送电刷镀液的电刷镀输液管(90)和至少两个用于连接在所述靶材管(12)外壁的阴极连接部(91)，
所述刷头(93)设置有阳极连接管(92)，阳极连接管(92)的一端连接于刷头(93)，阳极连接管(92)的另一端连接直流电源的正极(80)，电刷镀输液管(90)的一端固定于刷头(93)，电刷镀输液管(90)的另一端插入电刷镀液，
阴极连接部(91)与靶材管(12)同轴安装，阴极连接部(91)设置有数量与阴极连接部(91)数量相等的负极连接管，各负极连接管的一端与分别一阴极连接部(91)，各负极连接管的另一端分别连接直流电源的负极(81)。
5.根据权利要求4所述的一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备，其特征在于：相邻的所述阴极连接部(91)之间的距离设置在50cm-10...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈明恒，
申请(专利权)人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44
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