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本实用新型公开了一种旋转靶绑定内管壁预处理的加工设备,包括机架,机架安装有倾斜平台,机架的一侧设置有液体收集箱,倾斜平台的中部设置有旋转固定部,旋转固定部包括外固定部和内旋转部,外固定部安装于倾斜平台,内旋转部滑动连接于外固定部内腔中,倾斜...该专利属于东莞市欧莱溅射靶材有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东莞市欧莱溅射靶材有限公司授权不得商用。
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