一种带有注油槽结构的旋转靶头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有注油槽结构的旋转靶头，包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，润滑油通过注油槽流到油封的唇口。本案注油槽设计可延长镀膜机台靶头动密封的使用寿命，提高密封性能；注油过程简便，缩短维护作业时间，节约维护成本；降低机台宕机风险，提高镀膜机台的综合效率。

A rotating target head with oil filling groove structure

【技术实现步骤摘要】
一种带有注油槽结构的旋转靶头
本技术涉及一种应用于镀膜机台上的带有注油槽结构的旋转靶头。
技术介绍
在磁控溅射镀膜机台上,行业里经常会采用平面靶或者旋转靶作为孪生靶,在旋转靶的机构设计中,有很多种方式做旋转密封,而其中有一种是应用油封作为载体来实现动密封的方式,一般使用寿命在3个月左右,因为油封的唇口和固定轴之间存在摩擦,通常都是在装配的时候加一些油来润滑,但是由于溅射室的真空环境,装配时添加的油很容易就损耗完毕,后续生产当中便无法再次添加,从而唇口和固定轴之间就开始干摩擦,久而久之油封的密封就会失效，致使油封的使用寿命短,随之而来的就是靶头开始漏气,最终宕机来修复靶头，维护作业时间长，影响生产。
技术实现思路
本技术目的是：提供一种在靶头上设置有注油槽,实现外部注油孔注油可以流到内部的油封唇口上,从而减轻唇口和固定轴之间的摩擦,大大的延长了油封的使用寿命,减少了漏气的风险，同时也节约维护成本,提高镀膜机台的综合效率。本技术的技术方案是：一种带有注油槽结构的旋转靶头，包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，外部添加润滑油通过注油槽流到油封的唇口。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，外部添加润滑油通过注油槽流到油封的唇口。


2.根据权利要求1所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：所述注油槽包括通孔和垂直凹槽；所述通孔为径向设置在密封座上；所述密封座的内侧壁上设置有轴向的并与通孔垂直...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小明，周梦荣，丛峰，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32