一种带有注油槽结构的旋转靶头制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有注油槽结构的旋转靶头，包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，润滑油通过注油槽流到油封的唇口。本案注油槽设计可延长镀膜机台靶头动密封的使用寿命，提高密封性能；注油过程简便，缩短维护作业时间，节约维护成本；降低机台宕机风险，提高镀膜机台的综合效率。

A rotating target head with oil filling groove structure

【技术实现步骤摘要】
一种带有注油槽结构的旋转靶头
本技术涉及一种应用于镀膜机台上的带有注油槽结构的旋转靶头。
技术介绍
在磁控溅射镀膜机台上,行业里经常会采用平面靶或者旋转靶作为孪生靶,在旋转靶的机构设计中,有很多种方式做旋转密封,而其中有一种是应用油封作为载体来实现动密封的方式,一般使用寿命在3个月左右,因为油封的唇口和固定轴之间存在摩擦,通常都是在装配的时候加一些油来润滑,但是由于溅射室的真空环境,装配时添加的油很容易就损耗完毕,后续生产当中便无法再次添加,从而唇口和固定轴之间就开始干摩擦,久而久之油封的密封就会失效，致使油封的使用寿命短,随之而来的就是靶头开始漏气,最终宕机来修复靶头，维护作业时间长，影响生产。
技术实现思路
本技术目的是：提供一种在靶头上设置有注油槽,实现外部注油孔注油可以流到内部的油封唇口上,从而减轻唇口和固定轴之间的摩擦,大大的延长了油封的使用寿命,减少了漏气的风险，同时也节约维护成本,提高镀膜机台的综合效率。本技术的技术方案是：一种带有注油槽结构的旋转靶头，包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，外部添加润滑油通过注油槽流到油封的唇口。优选的，所述注油槽包括通孔和垂直凹槽；所述通孔为径向设置在密封座上；所述密封座的内侧壁上设置有轴向的并与通孔垂直且相交的垂直凹槽。优选的，所述通孔为台阶孔。优选的，在所述注油槽处的垫圈上径向设置有垫圈凹槽。优选的，所述密封座内部设置有至少一个轴承。优选的，所述轴套内设置有机械密封装置。优选的，所述轴套内设置有水管组件。本技术的优点是：1．延长镀膜机台靶头动密封的使用寿命，提高密封性能；2.注油过程简便，缩短维护作业时间，节约维护成本；3.降低机台宕机风险，提高镀膜机台的综合效率。附图说明下面结合附图及实施例对本技术作进一步描述：图1为本案所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头的主要结构示意图；图2为图1中A处的放大图；图3为本案所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头的密封座的俯视结构示意图；图4为图3中B-B面的剖视结构示意图；图5为图3中C-C面的剖视结构示意图；图6为本案所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头垫圈的主视结构示意图；图7为本案所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头垫圈的俯视结构示意图；其中：1、轴套；2、绝缘底座；3、密封座；4、靶筒固定螺母；5、靶筒固定件；11、机械密封装置；12、水管组件；31、油封；32、垫圈；33、通孔；34、垂直凹槽；35、垫圈凹槽；36、轴承。具体实施方式实施例：如图1-7所示，一种带有注油槽结构的旋转靶头，包括轴套1、绝缘底座2、密封座3、靶筒固定螺母4和靶筒固定件5；所述绝缘底座2套在轴套1上，并设置在镀膜机台上；所述密封座3设置在绝缘底座2上；所述绝缘底座2下部的轴套1上设置有靶筒固定螺母4；所述轴套1的下端部设置有靶筒固定件5；所述密封座3内部设置有至少一个油封31；所述油封31与轴套1过盈配合；所述油封31上设置有垫圈32；所述垫圈32与轴套1之间存在间隙；所述密封座3上设置有注油槽，润滑油通过注油槽流到油封31的唇口；所述注油槽包括通孔33和垂直凹槽34；所述通孔33为径向设置在密封座3上；所述密封座3的内侧壁上设置有轴向的并与通孔33垂直且相交的垂直凹槽34；所述通孔33为台阶孔；在所述注油槽处的垫圈32上径向设置有垫圈凹槽35，可以使润滑油流到内部的油封31的唇口处；所述密封座3内部设置有至少一个轴承36，用于旋转；所述轴套1内设置有机械密封装置11；所述轴套1内设置有水管组件12。本例中设置有两个油封31，两个轴承36；垫圈32和轴套1之间的间隙为2mm；所述台阶孔的大孔为M8的内螺纹孔，所述垂直凹槽为铣出的φ6mm的凹槽；因垫圈32有台阶，为了能够让油继续流到内部的油封的唇口上，将垫圈的一侧铣出平面形成垫圈凹槽35，垫圈凹槽35宽10mm，深2mm。可以将润滑油从注油槽的台阶孔注入，润滑油顺着垂直凹槽34向下流到垫圈32，继而可以通过垫圈凹35槽顺着间隙流到油封31的唇口上，这样就实现了不停机的时候也能够对油封31进行加油润滑了，避免油封31干摩擦，增加油封的使用寿命，避免靶头漏气，不必宕机来进行维护，节约维护成本。上述实施例仅例示性说明本技术的原理及其功效，而非用于限制本技术。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本技术的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属
中具有通常知识者在未脱离本技术的所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本技术的权利要求所涵盖。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，外部添加润滑油通过注油槽流到油封的唇口。/n

【技术特征摘要】
1.一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：包括轴套、绝缘底座、密封座、靶筒固定螺母和靶筒固定件；所述绝缘底座套在轴套上，并设置在镀膜机台上；所述密封座设置在绝缘底座上；所述绝缘底座下部的轴套上设置有靶筒固定螺母；所述轴套的下端部设置有靶筒固定件；所述密封座内部设置有至少一个油封；所述油封与轴套过盈配合；所述油封上设置有垫圈；所述垫圈与轴套之间存在间隙；所述密封座上设置有注油槽，外部添加润滑油通过注油槽流到油封的唇口。


2.根据权利要求1所述的一种带有注油槽结构的旋转靶头，其特征在于：所述注油槽包括通孔和垂直凹槽；所述通孔为径向设置在密封座上；所述密封座的内侧壁上设置有轴向的并与通孔垂直...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐小明，周梦荣，丛峰，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32