【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶绑定吊装夹具
本技术涉及旋转靶绑定
,尤其是涉及一种旋转靶绑定吊装夹具。
技术介绍
旋转靶材呈空心圆管状,能够围绕固定的条状磁铁组件旋转,可360度均匀刻蚀靶面,具有利用率高,镀膜连续性好、镀膜成分均匀等优点。旋转靶材的传统绑定方法是将直径较大的圆筒状靶材套在直径相对较小的背管上,并在两者之间注入融合的金属铟,待冷却后,使得旋转靶材和背管通过凝固的铟连接成为一体,达到绑定的目的。传统的绑定方法将旋转靶材分多段依次绑定,该种绑定方法需要在前一段绑定的旋转靶材冷却后才能进行下一段旋转靶材的绑定,生产效率低,且旋转靶材之间的连接端口多,容易在焊接过程中端口变形而出现焊料的渗漏,内部焊料填充不充分,导致绑定效果差。因此选择旋转靶整体一次绑定,提高生产效率,避免焊料渗漏问题。整管绑定前,需要进行组装后再移动到绑定设备,因旋转靶的长度长,体积大,重量重,在移动过程中需要吊装夹具的协助才能安全、迅速地转移到绑定设备。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足,本技术的目的是提供一种旋转靶绑定吊装 ...
【技术保护点】
1.一种旋转靶绑定吊装夹具,其特征在于:包括吊盖(20)、拉杆(16)和底座(30),/n吊盖(20),用于安装在旋转靶(10)的背管(11)的端头(13),吊盖(20)覆盖背管(11)的端头(13),吊盖(20)的顶面设置有至少一吊耳(21),吊盖(20)的底面凸出设置有一端头安装部(22),端头安装部(22)围敝形成一端头安装腔(23),端头安装部(22)的外缘设置有端头连接通孔(24),端头连接通孔(24)从吊盖(20)的底面贯穿至吊盖(20)的顶面,/n底座(30),用于安装在旋转靶(10)的背管(11)的尾盖(14),底座(30)覆盖背管(11)的尾盖(14),尾 ...
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶绑定吊装夹具,其特征在于:包括吊盖(20)、拉杆(16)和底座(30),
吊盖(20),用于安装在旋转靶(10)的背管(11)的端头(13),吊盖(20)覆盖背管(11)的端头(13),吊盖(20)的顶面设置有至少一吊耳(21),吊盖(20)的底面凸出设置有一端头安装部(22),端头安装部(22)围敝形成一端头安装腔(23),端头安装部(22)的外缘设置有端头连接通孔(24),端头连接通孔(24)从吊盖(20)的底面贯穿至吊盖(20)的顶面,
底座(30),用于安装在旋转靶(10)的背管(11)的尾盖(14),底座(30)覆盖背管(11)的尾盖(14),尾盖(14)的底面凸出设置有一尾盖安装部(31),尾盖安装部(31)围敝形成一尾盖安装腔(32),尾盖安装部(31)的外缘设置有尾盖连接通孔(33),尾盖连接通孔(33)从尾盖(14)的底面贯穿至尾盖(14)的顶面,
端头连接通孔(24)与尾盖连接通孔(33)的位置相对应,拉杆(16)的两端分别活动安装于端头连接通孔(24)和尾盖连接通孔(33)。
2.根据权利要求1所述的一种旋转靶绑定吊装夹具,其特征在于:所述端头安装腔(23)和所述尾盖安装腔(32)分别与所述背管(11)同轴设置,端头安装腔(23)的内壁形状与所述背管(11)的所述端头(13)的外轮廓形状相匹配,尾盖安装腔(32)的内壁形状与背管(11)的所述尾盖(14)的外轮廓形状相匹配。
3.根据权利要求1所述的一种旋转靶...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈明恒,
申请(专利权)人:东莞市欧莱溅射靶材有限公司,
类型:新型
国别省市:广东;44
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