一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，压板与底座可拆卸连接。硅胶皮层具有良好的防腐蚀性能，在冷却液中不会被腐蚀。同时硅胶皮层还具备一定的弹性，在压板与底座之间能起到密封圈的作用，使内部的磁铁与外部的冷却液隔绝，同时密封结构简单，便于拆装，方便后期维护。硅胶皮层为透明材质，便于查看硅胶皮层内的磁铁的状态，如果磁铁有异常可以直观看到。硅胶皮层的价格低廉，便于降低防水结构成本。

A new type of magnet waterproof structure for magnetron sputtering cathode

【技术实现步骤摘要】
一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构
本技术具体涉及一种磁控溅射阴极磁铁。
技术介绍
磁控溅射技术目前国内外已大批量使用，它能制造各种功能性玻璃、复合板等产品。随着磁控溅射的普及，客户对磁控溅射的均匀性、可靠性的要求也越来越高。进而对磁控溅射的设备要求也越来越高。一般来讲，磁控溅射设备主要零部件包括电源装置、磁场装置、真空装置、气体控制器等因素。而磁场的保证是重中之重，它将直接影响到溅射的稳定性、均匀性、可靠性。因磁场主要由磁铁产生，而据一般磁控设备的设计来看，磁铁都在靶材下面的冷却液中，冷却液长时间对磁铁的浸泡，会导致磁铁表面的保护层腐蚀，进而影响磁场强度。市面上大多数解决方案是直接用不锈钢进行全封装，但此方法一是成本较高，二是无法维护，其中一处磁铁异常，整个装置需拆下来或者报废。另外，磁铁在内部的状态无法直观地了解到，如发生异常，不便排查。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是，提供一种低成本、易安装、可重复更换且直观的磁控溅射阴极磁铁防水结构。为了解决以上技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，其特征在于：包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，所述压板与底座可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，其特征在于：包括底座，磁铁设于底座上，磁铁表面覆盖透明的硅胶皮层，硅胶皮层四周被压板压在底座上，所述压板与底座可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，其特征在于：所述压板与硅胶皮层接触面为连续面。


3.根据权利要求1所述的新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，其特征在于：所述压板为框形件，所述磁铁和硅胶皮层设于框内，压板压住硅胶皮层。


4.根据权利要求1所述的新型磁控溅射阴极磁铁防水结构，其特征在于：所述磁铁为长条状或由多块磁铁拼接成长条状，压板对应的长边上设有多个连接点与底座连接。


5.根据权利要求4所述的新型磁控溅...

【专利技术属性】
技术研发人员：关治军，朱安秋，
申请(专利权)人：苏州胜利精密制造科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32