【技术实现步骤摘要】
具有叉指式换能器上的高导热层的声波器件
本申请的实施例涉及声波器件及用于该声波器件的散热结构。
技术介绍
例如表面声波(surfaceacousticwave，SAW)和体声波(bulkacousticwave，BAW)器件这样的声波器件可被用作射频电子系统中的滤波器的部件。例如，移动电话的射频前端中的滤波器可包括声波滤波器。可将两个声波滤波器布置为双工器。
技术实现思路
根据一个方面，提供了一种声波器件。所述声波器件包括：压电基板；叉指式换能器电极，其包括设置在所述基板的上表面上的预定数量的电极指；介电材料层，其具有第一部分和第二部分，所述第一部分布置在所述基板的上表面上且在所述叉指式换能器电极指之间，所述第二部分设置在所述叉指式换能器电极指上方；以及至少一个导热桥，其设置在所述介电材料层内并接触至少两个相邻的叉指式换能器电极指的上表面以从其散热。在一些实施例中，所述介电材料的所述第一部分具有与所述介电材料的所述第二部分不同的成分。在一些实施例中，所述导热桥包括设置在所述至少两个相邻的叉...
【技术保护点】
1.一种声波器件，包括：/n压电基板；/n叉指式换能器电极，其包括设置在所述基板的上表面上的预定数量的电极指；/n介电材料层，其具有第一部分和第二部分，所述第一部分设置在所述基板的所述上表面上并且在所述叉指式换能器电极指之间，所述第二部分设置在所述叉指式换能器电极指上方；以及/n至少一个导热桥，其设置在所述介电材料层内，并与至少两个相邻的叉指式换能器电极指的上表面接触以从其散热。/n
【技术特征摘要】
20181106 US 62/756,310;20190814 US 62/886,7371.一种声波器件，包括：
压电基板；
叉指式换能器电极，其包括设置在所述基板的上表面上的预定数量的电极指；
介电材料层，其具有第一部分和第二部分，所述第一部分设置在所述基板的所述上表面上并且在所述叉指式换能器电极指之间，所述第二部分设置在所述叉指式换能器电极指上方；以及
至少一个导热桥，其设置在所述介电材料层内，并与至少两个相邻的叉指式换能器电极指的上表面接触以从其散热。
2.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述介电材料的所述第一部分具有与所述介电材料的所述第二部分不同的成分。
3.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述导热桥包括设置在所述至少两个相邻的叉指式换能器电极指的所述上表面上的散热层和覆盖层。
4.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层包括具有比所述介电材料更高热导率的材料。
5.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述覆盖层包括具有比所述介电材料更高热导率的材料。
6.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层由与所述覆盖层不同的材料形成。
7.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层由与所述覆盖层相同的材料形成。
8.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层具有足够高的电阻，以防止相邻的叉指式换能器电极之间通过所述散热层的短路。
9.根据权利要求8所述的声波器件，其中，所述散热层由陶瓷材料形成。
10.根据权利要求8所述的声波器件，其中，所述散热层由氮化硅、氮化铝、氧化铝、尖晶石或金刚石中的一种形成。
11.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层比所述叉指式换能器电极薄并且比所述介电材料层薄。
12.根据权利要求11所述的声波器件，其中，所述覆盖层比所述叉指式换能器电极薄并且比所述介电材料层薄。
13.根据权利要求12所述的声波器件，其中，所述覆盖层为10nm至50nm之间厚。
14.根据权利要求11所述的声波器件，其中，所述散热层为10nm至200nm之间厚。
15.根据权利要求3所述的声波器件，其中，所述散热层设置在所述介电材料的所述第一部分与所述介电材料的所述第二部分之间。
16.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述导热桥覆盖其中所述叉指式换能器电极相交错的区域。
17.根据权利要求16所述的声波器件，其中，所述导热桥还覆盖汇流条电极的、所述叉指式换能器电极从其延伸的部分。
18.根据权利要求16所述的声波器件，其中，所述导热桥还覆盖设置在所述叉指式换能器电极的相反侧上的反射器电极。
19.根据权利要求16所述的声波器件，其中，所述导热桥包括覆盖所述叉指式换能器电极的不同的相应部分的多个单独的散热层。
20.根据权利要求1所述的声波...
【专利技术属性】
技术研发人员：福原广野，卷圭一，后藤令，
申请(专利权)人：天工方案公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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