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具有叉指式换能器上的高导热层的声波器件制造技术
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下载具有叉指式换能器上的高导热层的声波器件的技术资料
文档序号:24129269
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一种声波器件,包括:压电基板;叉指式换能器电极,其包括设置在所述基板的上表面上的预定数量的电极指;以及介电材料层,其具有第一部分和第二部分。第一部分设置在基板的上表面上,并且在叉指式换能器电极指之间。第二部分设置在叉指式换能器电极指上方。声...
该专利属于天工方案公司所有,仅供学习研究参考,未经过天工方案公司授权不得商用。
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