一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本实用新型专利技术装置深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。

A purification device for preparing ultrapure gas from purified gas

【技术实现步骤摘要】
一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置
本技术属于气体纯化领域，本技术具体涉及一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置。
技术介绍
目前国内使用气体作为生产原料的行业有很多。随着产品质量和精密度的提高，对气体的纯度指标要求越来越高，对纯化器的要求也越来越高。目前，我国的纯化方法面对越来越高的气体纯度要求，急需进行改进和更新纯化方法。目前，我国纯化器的流程的顺序是原料气从装有吸附剂的容器底部进入，原料气体在容器中由下向上经过吸附剂，原料气中的杂质在被经过的吸附剂吸附脱除，再从容器上部离开。因气体质量很轻，由下进上出对气体在容器中的分布、停留时间和气体杂质与吸附剂的接触几率均产生不利影响。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本技术提供一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，本技术纯化装置深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气(用于氢气纯化时，不脱除氢)杂质或其中某种或多种杂质。本技术的上述目的是通过以下技术方案实现的：一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；所述的原料气入口监测组包括原料气进气口、原料气进气入口阀、原料气入口过滤器、原料气入口压力测量仪表、原料气流量测量仪表并依次顺序连接；所述的外接再生气体入口监测组包括再生气入口、外接再生气进气入口阀、外接再生气入口过滤器、外接再生气入口压力测量仪表、外接再生气流量调节阀、外接再生气流量测量仪表、外接再生气截止阀、放空吹扫截止阀、放空气流量调节阀并依次顺序连接；所述的产品再生气阀门仪表组包括产品再生气流量调节阀、产品再生气流量测量仪表、产品再生气截止阀、产品气单向阀并依次顺序连接；所述的产品出气组包括产品气出口过滤器、产品气采样分析出口阀、产品气出口阀、产品气采样分析出口、产品气出口；所述产品气采样分析出口阀与产品气采样分析出口连接构成产品气采样管路，所述产品气出口过滤器、产品气出口阀、产品气出口依次顺序连接构成产品气出气管路，产品气采样管路与产品气出气管路并联连接；所述的排液组包括低位排液阀、排液口、低位排液阀与排液口连接组成排气管路，排气管路与废气排放口并联连接；所述的吸附组包括脱氧吸附器入口阀a，脱氧吸附器入口阀b，再生冷却器A，脱氧吸附器压力测量仪表a，再生废气出脱氧吸附器出口阀a，再生废气出脱氧吸附器出口阀b，再生冷却器B，脱氧吸附器压力测量仪表b，脱氧吸附器A，脱氧吸附器B，再生加热器A，再生气进入脱氧吸附器入口阀a，再生气进入脱氧吸附器入口阀b，再生加热器B，产品气出脱氧吸附器出口阀a，产品气出脱氧吸附器出口阀b；所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部(出口)与产品气出脱氧吸附器出口阀连接。再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部(出口)连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱氧吸附器压力测量仪表、再生废气出脱氧吸附器出口阀；再生加热器处设有再生气进入脱氧吸附器入口阀；所述吸附组在纯化装置中并联设置两组以上。所述的吸附组中设有的脱氧吸附器A和脱氧吸附器B外部分别各设置5个以上温度测量仪表。脱氧吸附器右侧2个温度测量仪表的用于测量和控制脱氧吸附器内吸附剂的温度；脱氧吸附器外再生加热器上的1个温度测量仪表用于测量和控制外再生加热器的加热温度和脱氧吸附器外壁温度；再生加热器上的温度测量仪表用于测量再生加热器的温度；位于再生加热器和脱氧吸附器之间的温度测量仪表用于测量经再生加热器加热后再生气的温度。通过套管设置安装温度测量仪表。进一步的，所述的脱氧吸附器入口阀、产品气出脱氧吸附器出口阀、外接再生气截止阀、放空吹扫截止阀、再生气进入脱氧吸附器入口阀、再生废气出脱氧吸附器出口阀为自动阀或手动阀。进一步的，所述的脱氧吸附器，内装吸附用填料，用于吸附原料气中的杂质。内部设有气流分配器。并装有脱氧吸附剂。气流分配器设置在脱氧吸附器入口处。所述的脱氧吸附剂可选用适用于所有气体纯化用的填料；优选专利申请号为201410407743.0的效果最佳。进一步的，所述的再生加热器，用于加热再生气，该加热器可与脱氧吸附器集成。进一步的，所述的再生冷却器，用于高温再生废气冷却，冷却方式为水冷却或空冷却。进一步，本装置内的所使用的脱氧吸附器A和脱氧吸附器B表面均进行抛光处理，其处理后的表面粗糙度<10um；优选其处理后表面粗糙度<1um的脱氧吸附器A和脱氧吸附器B。进一步的，所述的脱氧吸附器内部还设有过滤装置，采用三重过滤，即脱氧吸附器入口粗过滤，脱氧吸附器出口二级过滤和脱氧吸附器出口精密过滤。其中，二级过滤，精度采用180um；出口精密过滤精度采用1um，且过滤面与填料填充高度的方面平行设置。进一步的，所述的脱氧吸附器A和脱氧吸附器B外部分别置有加热器或加热器设置在内部，但填料与加热器分开设置。进一步的，本技术纯化装置中采用的管道和管件的洁净等级为EP级：表面粗糙度<1um。管道和管件连接处的活接头均采用VCR连接方式。进一步的，本技术纯化装置中原料气入口至脱氧吸附器入口之间的阀门采用隔膜阀或波纹管阀，洁净等级为EP级。进一步的，所述脱氧吸附器A、脱氧吸附器B由上封头部分、直筒段和下封头部分构成,该纯化装置包括以下部件：一级过滤器，加料筒，定位器a，气流分配器，气流分配器支撑柱，上封头a，直筒段，二级过滤器，二级过滤器支撑部，三级过滤器，三级过滤器固定板，下封头a，进气管a，出气管a，固定柱，热偶套管A和热偶套管B；其中，上封头a、直筒段和下封头a按照由上至下的顺序连接构成密封中空的容器主体并固定在固定柱上；上封头部分：上封头a顶部中心位置开口，在上封头a开口外端设有内径与开口尺寸相同的空心圆柱体状、一端去底的加料筒，加料筒去底端连接在上封头a顶端开口处，加料筒的内设置圆柱状的一级过滤器，一级过滤器侧壁设有均匀开孔，加料筒的顶端的外侧开孔连接有与其内径相等进气管a，加料筒与一级过滤器之间设有定位器a，气流分配器支撑柱一端连接在上封头a内壁，另一端连接中心中空的气流分配器；直筒段部分：直筒段靠近上封头a位置设置一个热偶套管A，中部靠下位置设置一个热偶套管B，热偶套管B的下方设置二级过滤器，二级过滤器为板状结构，二级过滤器下方与二级过滤器支撑部相接触，直筒段底部设有三级过滤器固定板，三级过滤器固定板开有圆形的开口，开口处固定与其直径相同的中空的一端去底的圆柱状三级过滤器，三级过滤器的另一个底面靠近二级过滤器支撑部，三级过滤器的底面和侧壁有均匀开孔；下封头部分：下封头a的底部开口连有与其直径相同本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口(26)；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口(26)；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；/n所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部与产品气出脱氧吸附器出口阀连接，再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部连接，再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱氧吸附器压力测量仪表、再生废气出脱氧吸附器出口阀；再生加热器处设有再生气进入脱氧吸附器入口阀；所述吸附组在纯化装置中并联设置两组以上。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口(26)；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口(26)；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；
所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部与产品气出脱氧吸附器出口阀连接，再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部连接，再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱氧吸附器压力测量仪表、再生废气出脱氧吸附器出口阀；再生加热器处设有再生气进入脱氧吸附器入口阀；所述吸附组在纯化装置中并联设置两组以上。


2.如权利要求1所述的一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，所述的原料气入口监测组包括原料气进气口(1)、原料气进气入口阀(2)、原料气入口过滤器(3)、原料气入口压力测量仪表(4)、原料气流量测量仪表(5)并依次顺序连接；
所述的外接再生气体入口监测组包括再生气入口(27)、外接再生气进气入口阀(28)、外接再生气入口过滤器(29)、外接再生气入口压力测量仪表(30)、外接再生气流量调节阀(31)、外接再生气流量测量仪表(32)、外接再生气截止阀(33)、放空吹扫截止阀(17)、放空气流量调节阀(16)并...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵霖，乐昀，于洋，金万宇，刘智超，郑晨达，郭奎宇，邱浩明，王鹏，邱长春，
申请(专利权)人：大连中鼎化学有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21