本发明涉及一种从天然气液化后的不凝气体中提取氦气的纯化装置与方法，属于资源综合利用技术领域。主要技术方案为高压循环风机、循环气体流量计量和控制装置、催化脱氢反应器、水冷却和分水器形成的闭环系统；所述的催化脱氢反应器的入口设有原料气入口管...

本发明涉及一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置和方法，属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下：一种从单晶硅、多晶硅炉放空尾气中回收制备超纯氩的装置，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化...

本实用新型涉及一种回收高纯氨的装置，属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为：包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置，以及阀门、管道管件和控制系统；所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、主换热器、冷凝塔、再...

本实用新型涉及一种从不凝气体中提取氦气的纯化装置，属于资源综合利用技术领域。主要技术方案为高压循环风机、循环气体流量计量和控制装置、催化脱氢反应器、水冷却和分水器形成的闭环系统；所述的催化脱氢反应器的入口设有原料气入口管道，在原料气入口...

本发明涉及一种回收制备超纯氩的装置，属于气体生产与应用领域。主要技术方案如下：一种回收制备超纯氩的装置，包括依次通过管路串连的前置缓冲罐、压缩机、尾气预处理系统和低温再沸液化氩气系统；所述的尾气预处理系统包括催化塔、热交换器、吸附干燥塔...

本实用新型涉及涉及一种用于氢气、氩气和氦气纯化的装置，属于气体纯化工艺技术领域。主要技术方案为：包括原料气入口、再生氮气入口、冷却水回水口、冷却水上水口，所述的原料气入口位于再生氮气入口、冷却水回水口、冷却水上水口的上方，所述的原料气入...

一种气体快速加热纯化装置，属于气体纯化技术领域。该气体纯化快速加热装置设有一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器三个不同孔径的过滤器；在气体入口设有加热器。本实用新型通过设置三级孔径不同的过滤器对气体中的机械杂质进行有效的过滤，同时在二级过...

本发明涉及一种从化合物半导体尾气回收高纯氨的装置及方法，属于环境与资源利用技术领域。主要技术方案为：包括依次连接的尾气缓冲罐、多级压缩机和低温再沸脱气氨液化装置，以及阀门、管道管件和控制系统；所述的低温再沸脱气氨液化装置包括透平膨胀机、...

一种气体加热器，属于气体加热器领域。气体加热器包括加热器本体、进气管、加热器筒体、热偶套管和出气管。加热器本体包括：上部封头、换热体、流体通过孔、定位器、热源内槽和热偶内槽。气体通过进气管进入加热器本体经热源内槽内的加热源加热后由流体通...

本实用新型属于化学气体纯化领域，公开了一种用于氮气、氧气、氩气和氦气的纯化装置。装置包括原料气入口监测组，气体催化氧化组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；装置根据工况深度脱除原料其中...

本实用新型属于气体纯化领域，公开了一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的装置。该装置包括原料气入口阀门仪表组，辅助气体入口阀门仪表组，换热器，加热器，吸附器A，冷却器，吸附器B，主气路流通阀，临时气路流通阀，产品气出口阀门仪表组，分析...

本实用新型属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本实用新型装置深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳...

一种气体纯化装置，属于气体纯化技术领域。该装置由上封头部分、直筒段部分和下封头部分三部分组成，上封头部分设有气流分配器、一级过滤器和定位器，直筒段设有热偶套管、二级过滤器和三级过滤器，下封头下部连有出气管。三种过滤器的孔径按照孔径从大到...

一种气体快速加热纯化装置，属于气体纯化技术领域。该气体纯化快速加热装置设有一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器三个不同孔径的过滤器；在气体入口设有加热器。本发明通过设置三级孔径不同的过滤器对气体中的机械杂质进行有效的过滤，同时在二级过滤器...

本发明涉及一种用于氢气、氩气和氦气纯化的方法，属于气体纯化工艺技术领域。主要技术方案如下：包括吸附步骤、吸气步骤、再生步骤，所述的吸附步骤如下：原料气经过滤自原料气入口进入脱氧吸附器A脱除包括一氧化碳、二氧化碳、氧气、水的杂质气体；所述...

一种气体加热器，属于气体加热器领域。气体加热器包括加热器本体、进气管、加热器筒体、热偶套管和出气管。加热器本体包括：上部封头、换热体、流体通过孔、定位器、热源内槽和热偶内槽。气体通过进气管进入加热器本体经热源内槽内的加热源加热后由流体通...

本发明属于气体纯化领域，公开了一种可在线更换吸附柱的氩气、氦气和氢气的装置及其纯化工艺。该装置包括原料气入口阀门仪表组，辅助气体入口阀门仪表组，换热器，加热器，高温吸附器A，冷却器，高温吸附器B，主气路流通阀，临时气路流通阀，产品气出口...

本发明属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本发明工艺深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳...

一种气体纯化装置，属于气体纯化技术领域。该装置由上封头部分、直筒段部分和下封头部分三部分组成，上封头部分设有气流分配器、一级过滤器和定位器，直筒段设有热偶套管、二级过滤器和三级过滤器，下封头下部连有出气管。三种过滤器的孔径按照孔径从大到...

本发明属于化学气体纯化领域，公开了一种一种用于氮气、氧气、氩气和氦气的纯化装置及其工艺。装置包括原料气入口监测组，气体催化氧化组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；工艺分为催化氧化工序...