一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺制造方法及图纸

本发明专利技术属于气体纯化领域，公开了一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺。包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口；本发明专利技术工艺深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷杂质或其中某种或多种杂质。

A Purification Device and Technology for Purifying Gas to Prepare Ultra Pure Gas

【技术实现步骤摘要】
一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺
本专利技术属于气体纯化领域，本专利技术具体涉及一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺。
技术介绍
目前国内使用气体作为生产原料的行业有很多。随着产品质量和精密度的提高，对气体的纯度指标要求越来越高，对纯化器的要求也越来越高。目前，我国的纯化方法面对越来越高的气体纯度要求，急需进行改进和更新纯化方法。目前，我国纯化器的流程的顺序是原料气从装有吸附剂的容器底部进入，原料气体在容器中由下向上经过吸附剂，原料气中的杂质在被经过的吸附剂吸附脱除，再从容器上部离开。因气体质量很轻，由下进上出对气体在容器中的分布、停留时间和气体杂质与吸附剂的接触几率均产生不利影响。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置及其工艺，本专利技术工艺深度脱除气体中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气(用于氢气纯化时，不脱除氢)杂质或其中某种或多种杂质。本专利技术的上述目的是通过以下技术方案实现的：一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口(26)；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口(26)；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部与产品气出脱氧吸附器出口阀连接。再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱...

【技术特征摘要】
1.一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，包括原料气入口监测组，吸附组，外接再生气体入口监测组，产品再生气阀门仪表组，产品出气组，排液组，废气排放口(26)；所述原料气入口监测组与吸附组入口连接，吸附组出口分别连接产品再生气阀门仪表组、产品出气组；所述外接再生气体入口监测组分别连接排液组、废气排放口(26)；产品再生气阀门仪表组与外接再生气体入口监测组的管路相连接；所述的吸附组中脱氧吸附器入口阀与脱氧吸附器顶部入口连接，脱氧吸附器底部与产品气出脱氧吸附器出口阀连接。再生加热器与产品气出脱氧吸附器出口阀并列，再生加热器与脱氧吸附器底部连接，再生冷却器与脱氧吸附器连接，连接管路上设有脱氧吸附器压力测量仪表、再生废气出脱氧吸附器出口阀；再生加热器处设有再生气进入脱氧吸附器入口阀；所述吸附组在纯化装置中并联设置两组以上。2.如权利要求1所述的一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，所述的原料气入口监测组包括原料气进气口(1)、原料气进气入口阀(2)、原料气入口过滤器(3)、原料气入口压力测量仪表(4)、原料气流量测量仪表(5)并依次顺序连接；所述的外接再生气体入口监测组包括再生气入口(27)、外接再生气进气入口阀(28)、外接再生气入口过滤器(29)、外接再生气入口压力测量仪表(30)、外接再生气流量调节阀(31)、外接再生气流量测量仪表(32)、外接再生气截止阀(33)、放空吹扫截止阀(17)、放空气流量调节阀(16)并依次顺序连接；所述的产品再生气阀门仪表组包括产品再生气流量调节阀(37)、产品再生气流量测量仪表(36)、产品再生气截止阀(35)、产品气单向阀(34)并依次顺序连接；所述的产品出气组包括产品气出口过滤器(38)、产品气采样分析出口阀(39)、产品气出口阀(40)、产品气采样分析出口(41)、产品气出口(42)，所述产品气采样分析出口阀(39)与产品气采样分析出口(41)连接构成产品气采样管路，所述产品气出口过滤器(38)、产品气出口阀(40)、产品气出口(42)依次顺序连接构成产品气出气管路，产品气采样管路与产品气出气管路并联连接；所述的排液组包括低位排液阀(24)、排液口(25)；低位排液阀(24)与排液口(25)连接组成排气管路，排气管路与废气排放口(26)并联连接。3.如权利要求1所述的一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，所述的吸附组中设有的脱氧吸附器A(14)和脱氧吸附器B(15)外部分别各设置5个以上温度测量仪表。4.如权利要求1所述的一种用于纯化气体制备超纯气体的纯化装置，其特征是，所述的再生冷却器冷却方式为水冷却或空冷却。5.如权利要求1所述的一种用于纯化气体制备超...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵霖，乐昀，于洋，金万宇，刘智超，郑晨达，郭奎宇，邱浩明，王鹏，邱长春，
申请(专利权)人：大连中鼎化学有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21