一种应用于太阳能硅片的清洗架制造技术

本发明专利技术公开了一种应用于太阳能硅片的清洗架，包括工作平台、位于工作平台的清洗组件、设置在工作平台内部的固定架；所述工作平台包括喷枪杆、喷洒区域；所述喷枪杆设置在工作平台表面，所述喷洒区域位于喷枪杆一侧，所述清洗组件包括水箱、喷枪；所述水箱位于工作平台表面且与喷枪杆处于同一水平线上，所述喷枪位于喷枪杆顶端，喷枪底端通过水管与水箱固定连接，所述工作平台内部设置有清洗屉，所述固定架包括固定卡扣、卡环、清洗网；所述清洗网设置在清洗屉内部，清洗网两端通过清洗网两侧设置的固定杆与清洗屉连接，所述固定卡扣位于清洗网一侧，所述卡环设置在清洗网另一侧对应固定卡扣的位置处，卡环与固定卡扣活动连接。

A cleaning frame for solar silicon wafer

【技术实现步骤摘要】
一种应用于太阳能硅片的清洗架
本专利技术涉及硅片清洗装置
，尤指一种应用于太阳能硅片的清洗架。
技术介绍
随着大规模集成电路的发展，集成度的不断提高，线宽的不断减小，对硅片的质量要求也越来越高，特别是对硅片的表面质量要求越来越严。这主要是因为硅片抛光面的颗粒和金属杂质沾污会严重影响器件的质量和成品率。在目前的集成电路生产中,硅片清洗不彻底，可能使全部硅片报废，或者制造出来的器件性能低劣，稳定性和可靠性很差。而对于现有的清洗架来说，由于设计不合理，清洗架对于太阳能硅片的固定效果较差，且硅片清理不彻底，容易对太阳能硅片的使用产生波及，造成太阳能硅片资源的浪费和损坏，从而危及环境，造成污染，因此，我们要设计出一种方便固定太阳能硅片的清洗架，使得硅片在清洗架内方便固定的同时提高硅片的清洗程度。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是传统的硅片清洗架的固定硅片效果较差，硅片清洁程度较低，影响硅片的使用，现提供一种应用于太阳能硅片的清洗架。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了如下的技术方案：一种应用于太阳能硅片的清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种应用于太阳能硅片的清洗架，其特征在于，包括工作平台(1)、位于工作平台(1)的清洗组件(2)、设置在工作平台(1)内部的固定架(3)；所述工作平台(1)包括喷枪杆(11)、喷洒区域(12)；所述喷枪杆(11)设置在工作平台(1)表面，所述喷洒区域(12)位于喷枪杆(11)一侧，喷洒区域(12)由若干喷洒通孔组成，所述清洗组件(2)包括水箱(21)、喷枪(22)；所述水箱(21)位于工作平台(1)表面且与喷枪杆(11)处于同一水平线上，所述喷枪(22)位于喷枪杆(11)顶端，喷枪(22)与工作平台(1)表面的喷洒区域(12)处于同一垂直线上，喷枪(22)底端通过水管与水箱(21)固定连接...

【技术特征摘要】
1.一种应用于太阳能硅片的清洗架，其特征在于，包括工作平台(1)、位于工作平台(1)的清洗组件(2)、设置在工作平台(1)内部的固定架(3)；所述工作平台(1)包括喷枪杆(11)、喷洒区域(12)；所述喷枪杆(11)设置在工作平台(1)表面，所述喷洒区域(12)位于喷枪杆(11)一侧，喷洒区域(12)由若干喷洒通孔组成，所述清洗组件(2)包括水箱(21)、喷枪(22)；所述水箱(21)位于工作平台(1)表面且与喷枪杆(11)处于同一水平线上，所述喷枪(22)位于喷枪杆(11)顶端，喷枪(22)与工作平台(1)表面的喷洒区域(12)处于同一垂直线上，喷枪(22)底端通过水管与水箱(21)固定连接，所述工作平台(1)内部设置有清洗屉(4)，所述固定架(3)包括固定卡扣(31)、卡环(32)、清洗网(33)；所述清洗网(33)设置在清洗屉(4)内部，清洗网(33)两端通过清洗网(33)两侧设置的固定杆与清洗屉(4)连接，清洗网(33)两端与固定杆活动连接，且清洗网(33)与正上方喷洒区域(12)相对应，所述固定卡扣(31)位于清洗网(33)一侧，所述卡环(32)设置在清洗网(33)另一侧对应固定卡扣(31)的位置处，卡环(32)与固定卡扣(31)活动连接。


2.根据权利要求1所述的一种应用于太阳能硅片的清洗架，其特征在于，所述工作平台(1)底部设置有三个支撑柱(6)，工作平台(1)通过支撑柱(6)与底面连接，且支撑柱(6)之间呈三角连接结构。

【专利技术属性】
技术研发人员：程林，
申请(专利权)人：合肥敬卫新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34