【技术实现步骤摘要】
LPCVD前道硅片运转装置
本专利技术涉及硅片搬运
，尤其涉及一种LPCVD前道硅片运转装置。
技术介绍
现市面上LPCVD前的硅片搬运和输送还是采用的原始的人工进行搬运和装卸片，反应炉内的气体液体都会带有一定的毒性，对人员的身体健康造成了极大的影响，同时人工操作效率低下。
技术实现思路
为了能够提高硅片转运的效率，本专利技术的技术方案提供了一种LPCVD前道硅片运转装置。技术方案如下：本专利技术提供了一种LPCVD前道硅片运转装置，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，硅片入花篮装置与花篮流转装置对接，硅片缓存装置设置在硅片入花篮装置上，硅片缓存装置被配置为缓存硅片入花篮装置输送的硅片，硅片翻转入缓存机械手对接硅片入花篮装置和卸片装置，硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给卸片装置，卸片装置被配...
【技术保护点】
1.LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，所述花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，所述硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，所述硅片入花篮装置与所述花篮流转装置对接，所述硅片缓存装置设置在所述硅片入花篮装置上，所述硅片缓存装置被配置为缓存所述硅片入花篮装置输送的硅片，所述硅片翻转入缓存机械手对接所述硅片入花篮装置和所述卸片装置，所述硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给所述卸片装置，所述卸片装置被配置为将硅片从花...
【技术特征摘要】
1.LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，所述花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，所述硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，所述硅片入花篮装置与所述花篮流转装置对接，所述硅片缓存装置设置在所述硅片入花篮装置上，所述硅片缓存装置被配置为缓存所述硅片入花篮装置输送的硅片，所述硅片翻转入缓存机械手对接所述硅片入花篮装置和所述卸片装置，所述硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给所述卸片装置，所述卸片装置被配置为将硅片从花篮中卸除，所述卸片装置与所述装片装置对接，所述装片装置被配置为将硅片转存至硅片小舟中，所述小舟定位装置被配置为固定所述硅片小舟的位置，所述硅片小舟搬运夹爪与所述对接送料跑道对接，所述硅片小舟搬运夹爪被配置为将所述硅片小舟搬运并旋转放置在所述对接送料跑道上。
2.根据权利要求1所述的LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，还包括对接接料跑道，所述对接跑道对应所述硅片小舟搬运夹爪并与所述卸片装置对接。
3.根据权利要求1所述的LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，所述硅片小舟搬运夹爪，包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，所述旋转部包括旋转动力装置和安装板，所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接，所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块，所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置连接在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文杰，
申请(专利权)人：无锡市江松科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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