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本发明公开了LPCVD前道硅片运转装置，涉及硅片搬运技术领域。空花篮通过花篮流转装置进入LPCVD前道硅片运转装置，然后硅片入花篮装置将散装的硅片依次送入空花篮中，实现硅片入花篮的动作，花篮入满硅片且下一个花篮没有到位的时候，硅片缓存装置就...
该专利属于无锡市江松科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市江松科技有限公司授权不得商用。

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