【技术实现步骤摘要】
用于处理衬底的衬底处理设备
本公开大体上涉及一种用于处理多个衬底的衬底处理设备。更具体地说，本公开涉及衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：第一反应器和第二反应器，每个反应器被配置成用于处理多个衬底；以及，衬底处置机器人，其被构造和布置成转移衬底。
技术介绍
为了将容纳多个衬底的匣盒馈送到衬底处理设备，匣盒处置器可在匣盒出入端口、衬底转移位置和/或存储装置之间转移衬底匣盒。存储装置可包括匣盒存储回转料架，用于存储多个匣盒。衬底处置机器人可被构造和布置成将衬底在衬底转移位置处的匣盒与设备的下部区域中的衬底支架之间转移。下部区域可任选地设有支架传送机，支架传送机可包含回转料架或可旋转臂，支架可位于所述回转料架或可旋转臂上。通过使回转料架或可旋转臂旋转，可使支架从卸载和/或加载位置到达第一反应器或第二反应器下的处理位置。可在下部区域中提供升降机，以将带有衬底的支架抬升到反应器中或从反应器降低带有处理后的衬底的支架。在反应器中处理期间，支架和其中容纳的衬底可升高温度。利用抬升、回转料架或可旋转臂，可从反应器移除...
【技术保护点】
1.一种衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：/n第一反应器和第二反应器，每个反应器被配置成用于处理多个衬底；以及，/n衬底处置机器人，其被构造和布置成转移衬底；/n其中所述设备被构造和布置成在所述第一反应器与所述第二反应器之间具有维护区域，以允许从所述维护区域到所述第一反应器和所述第二反应器两者来维护所述反应器。/n
【技术特征摘要】
20181031 US 16/176,5171.一种衬底处理设备，所述衬底处理设备包括：
第一反应器和第二反应器，每个反应器被配置成用于处理多个衬底；以及，
衬底处置机器人，其被构造和布置成转移衬底；
其中所述设备被构造和布置成在所述第一反应器与所述第二反应器之间具有维护区域，以允许从所述维护区域到所述第一反应器和所述第二反应器两者来维护所述反应器。
2.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中在所述第一反应器和所述第二反应器中的每一个与所述维护区域之间，设置反应器门，以允许从所述维护区域维护所述反应器。
3.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中在俯视图中，竖直炉被配置成大体U形，其中所述第一反应器和所述第二反应器设置在所述U形的支腿中，且所述维护区域配置在所述U形的所述支腿之间。
4.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中所述衬底处置机器人设置在所述U形的底部中。
5.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中所述第一反应器和所述第二反应器中的至少一个设置在所述U形的所述支腿的下部部分中。
6.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中被构造和布置成向所述第一反应器和所述第二反应器中的至少一个提供处理气体的气体柜设置在所述U形的所述支腿的上部部分中。
7.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中被构造和布置成从所述第一反应器和所述第二反应器中的至少一个移除处理气体的气体排放管设置于所述U形的所述支腿中。
8.根据权利要求3所述的衬底处理设备，其中后门设置在所述U形的所述支腿之间，以关闭所述维护区域。
9.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述衬底处置机器人被构造和布置成邻近于处置器门，以允许由站在所述维护区域上的人员通过所述处置器门维护所述衬底处置机器人。
10.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述设备包括外壳，所述外壳具有与在工具的全长上延伸的第一侧壁和第二侧壁连接的前壁和后壁，其中在所述侧壁中未设置门。
11.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述工具的宽度在200cm与240cm之间，且所述维护区域具有在60cm与120cm之间的宽度。
12.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中所述第一反应器设有第一升降机以在所述设备的第一下部区域与所述第一反应器之间转移衬底的支架，且所述第二反应器设有第二升降机以在所述设备的第二下部区域与所述第二反应器之间转移衬底的支架。
13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中所述第一升降机和所述第二升降机中的至少一个包括可移动支架支撑臂，所述可移动支架支撑臂具有被配置成支撑衬底支架的支承表面。
14.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中所述设备的所述第一下部区域和所述第二下部区域中的至少一个设有支架传送机，所述支架传送机包括用于支架的容纳区，且被构造和布置成在所述至...
【专利技术属性】
技术研发人员：T·奥斯特拉肯，C·德里德，
申请(专利权)人：ASMIP控股有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL
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