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本公开涉及衬底处理设备，所述衬底处理设备具有：第一反应器和第二反应器，每个反应器被配置成用于处理多个衬底；以及，衬底处置机器人，其被构造和布置成在衬底转移位置处的衬底匣盒与所述第一反应器和所述第二反应器之间转移衬底。所述设备被构造和布置成在...
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