一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法技术

本发明专利技术涉及铁电薄膜制备技术领域，具体涉及一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，属于化学工程技术领域。一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，是将LaNiO

A preparation method of thin film with substrate controlled performance for electric card

【技术实现步骤摘要】
一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法
本专利技术涉及铁电薄膜制备
，具体涉及一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，属于化学工程

技术介绍
随着电子、信息和控制技术朝着微型化、高集成化方向的发展，以及高科技领域对于快速制冷的需求，高效率的固态制冷技术的发展已经被提上日程。作为压电材料的一类分支，铁电体材料因其具有在外加电场下的电卡特性使得其成为优秀候选材料。目前对铁电材料电卡效应的研究主要集中在陶瓷和以Si基半导体为衬底的薄膜研究领域，比如研究了PbxSr1-xTiO3体系中各成分的电卡效应，比如研究了铂金衬底上Pb0.8Ba0.2ZrO3薄膜中的电卡效应。由于铁电薄膜的应用非常广泛，不同的应用对其提出了不同的要求，现有的铁电薄膜很难完全满足应用的要求，因此，探索研制新型的铁电薄膜具有非常重要的意义。
技术实现思路
为了解决上述现有技术的不足之处，本专利技术提供了一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，本专利技术通过溶胶凝胶合成法在不同基底上面制备出的Pb0.78Ba0.2La0.02ZrO3薄膜材料具有较本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：/n1)将LaNiO

【技术特征摘要】
1.一种通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：
1)将LaNiO3前驱体溶液旋涂于衬底之上，制得第一湿膜；
2)将第一湿膜干燥、热解、退火制得一层LaNiO3薄膜；
3)重复步骤1)～2)，制得具有多层LaNiO3/衬底的复合基底；
4)将Pb0.78Ba0.2La0.02ZrO3前驱体溶液旋涂于步骤3)所制得的复合基底之上，制得第二湿膜；
5)将第二湿膜干燥、热解、退火制得一层Pb0.78Ba0.2La0.02ZrO3薄膜；
6)重复步骤4)～5)，制得多层Pb0.78Ba0.2La0.02ZrO3薄膜；
其中，步骤1)所述衬底为Pt(111)/TiOx/SiO2/Si(100)、n-typeGaN和p-typeGaN中的任一一种。


2.根据权利要求1所述的通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)所述的LaNiO3前驱体溶液是由Ni(CH3COO)2、La(NO3)3溶解于冰醋酸、水和甲酰胺的混合溶液中放置20～30小时，制得浓度为0.3M的LaNiO3前驱体溶液。


3.根据权利要求2所述的通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，其特征在于，步骤1)所述旋涂的转速为4000～6000rpm，旋涂时间为30～60s。


4.根据权利要求1所述的通过衬底调控电卡性能薄膜的制备方法，其特征在于，步骤2)所述干燥温度为180～250℃，干燥时间为3～5min；热解温度为450～600℃，热解时间为10～15mi...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭彪林，姜锦涛，
申请(专利权)人：广西大学，
类型：发明
国别省市：广西;45