【技术实现步骤摘要】
旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法
本专利技术涉及微通道板的制备
，具体而言涉及一种旋转式微通道板腐蚀装置与腐蚀方法。
技术介绍
微通道板是一种特殊光学纤维器件，是一种先进的具有传输、增强电子图像功能的电子倍增器，具有体积小、重量轻、分辨率好、增益高、噪声低、使用电压低等优点，它利用其二次电子发射特性，可使高速碰撞在内壁(通道)上的电子成倍增加，使之达到万倍以上的电子增流。利用这种特性，目前微通道板广泛用于光电倍增管、像增强器、微光电视、X光像增强器、高速示波管以及光子计数、X-射线、紫外光子、电子、离子、带电粒子、亚原子粒子等多领域的探测应用。微通道板的生产过程涉及到的步骤众多，其中腐蚀过程用于微通道孔的形成，通道孔(内壁)质量的好坏对于产品性能有着直接的影响。目前主流的腐蚀方法是借助恒温磁力搅拌器的磁石转子搅动烧杯中的酸碱液。该方法受控于流体在通道板表面的流速大小与方向不定，影响了通道孔内部腐蚀残余的及时析出以及腐蚀液在通道孔内的更新，因此腐蚀效率较低且表面质量差。
技术实现思路
为了克服...
【技术保护点】
1.一种旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，包括：/n用于提供扭转动力的电动机；/n用于传递扭转力的液压传动组件，具有与所述电动机连接的液压传动轴；/n用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；/n用于放置微通道板的石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上；/n用于装盛腐蚀及清洗液的腐蚀槽；/n用于控制腐蚀及清洗液用量和更换时间的供排液系统；以及/n用于清洗微通道板的超声波装置，设置在腐蚀槽底部；/n其中，电动机输出的扭力通过液压传动组件施加到托盘上，驱动托盘可进行周向旋转，并且所述液压传动组件为可升降液压传动组件，在其驱动下使得托盘上下升降以进入和脱离腐蚀槽；/n所述液压连杆组件...
【技术特征摘要】
1.一种旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，包括：
用于提供扭转动力的电动机；
用于传递扭转力的液压传动组件，具有与所述电动机连接的液压传动轴；
用于放置腐蚀夹具的托盘，与液压传动组件连接；
用于放置微通道板的石英腐蚀夹具，设置在所述托盘上；
用于装盛腐蚀及清洗液的腐蚀槽；
用于控制腐蚀及清洗液用量和更换时间的供排液系统；以及
用于清洗微通道板的超声波装置，设置在腐蚀槽底部；
其中，电动机输出的扭力通过液压传动组件施加到托盘上，驱动托盘可进行周向旋转，并且所述液压传动组件为可升降液压传动组件，在其驱动下使得托盘上下升降以进入和脱离腐蚀槽；
所述液压连杆组件将腐蚀托盘和电动机置于腐蚀液位上下两侧，腐蚀过程中所述腐蚀槽中液体完全没过石英腐蚀夹具，并通过所述托盘自身旋转来实现微通道板快速腐蚀。
2.根据权利要求1所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，所述微通道板的石英腐蚀夹具置于托盘中，每个托盘放置两个石英腐蚀夹具，并且微通道板的表面法向量与旋转线速度垂直。
3.根据权利要求1所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，所述托盘的四周和底部为镂空结构。
4.根据权利要求2或3所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，所述旋转式微通道板腐蚀装置具有多组托盘，均匀地围绕所述液压传动组件为轴线的方向布置。
5.根据权利要求1所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，所述腐蚀槽的容积为30-200L，腐蚀液在每道工序中均注满整个腐蚀槽。
6.根据权利要求1所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，腐蚀过程中，托盘位置处于腐蚀槽的液位之下150mm处。
7.根据权利要求5或6所述的旋转式微通道板腐蚀装置，其特征在于，所述液压传动轴为多段升降结构，每段升降高度50-100mm。
8.根据权利要求1-7中任意一项所述的旋转式微通道板腐蚀装置的微通道板腐蚀方法，其特征在于，包括：
通过供排液系统向腐蚀槽注入硝酸溶液，将液压传动组件连带托盘一起上升至完全露出液位表面，再将已经装好待腐蚀的微通道板的夹具装入托盘，托盘中的微通道板表面法线与旋转方向垂直；
然后，将托盘下降到微通道板完全浸没在硝酸中，设定托盘转速，按照预设工艺步骤和时间进行腐蚀，流体平行略过微通道板表面，微通道孔内部的腐蚀残余随表面流动液体带...
【专利技术属性】
技术研发人员：李婧雯，孙建宁，张欢，邱祥彪，张正君，丛晓庆，牛鹏杰，孙赛林，高鹏，郭一亮，
申请(专利权)人：北方夜视技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：云南;53
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