一种全自动晶圆贴膜送料装置制造方法及图纸

技术编号:24079390 阅读:36 留言:0更新日期:2020-05-09 03:47
本实用新型专利技术公开了一种全自动晶圆贴膜送料装置,包括输送辊架,所述输送辊架的底部设有多个支架,所述支架的底部设有行走轮,所述输送辊架设有限位调节机构,所述限位调节机构包括设置在输送辊架底部的一对滑杆,每个所述滑杆的下方设有与之平行的转动螺杆,所述转动螺杆由正向螺杆和反向螺杆组成,所述第一滑筒经连接架与第一滑块连接,所述第二滑筒经连接架与第二滑块连接,所述输送辊架的两侧分别设有第一限位板架和第二限位板架。本实用新型专利技术第一限位板架和第二限位板架之间的进料间隙可根据输送晶圆的规格以及形状的大小进行调节,使得输送晶圆在第一限位板架和第二限位板架的限位作用下输送到指定位置。

A fully automatic wafer film feeding device

【技术实现步骤摘要】
一种全自动晶圆贴膜送料装置
本技术涉及建筑消防
,具体为一种全自动晶圆贴膜送料装置。
技术介绍
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片,由于其形状为圆形,故称为晶圆;在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构,而成为有特定电性功能的集成电路产品。在晶圆生产过程中,需要将晶圆在加工设备之间进行转运,通常是利用一个普通的输送带进行运输,因为不同的需求晶圆被加工成各种尺寸各种形状,而不能有效的对晶圆进行限位输送,不能将晶圆送入到指定的位置内。因此我们提供一种全自动晶圆贴膜送料装置。
技术实现思路
为解决现有技术存在的缺陷,本技术提供一种全自动晶圆贴膜送料装置。为了解决上述技术问题,本技术提供了如下的技术方案:本技术一种全自动晶圆贴膜送料装置,包括输送辊架,所述输送辊架的底部设有多个支架,所述支架的底部设有行走轮,所述输送辊架设有限位调节机构,所述限位调节机构包括设置在输送辊架底部的一对滑杆,每个所述滑杆的下方设有与之平行的转动螺杆,所述转动螺杆由正向螺杆和反向螺杆组成,所述正向螺杆上螺纹连接有第一滑块,所述反向本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种全自动晶圆贴膜送料装置,其特征在于:包括输送辊架(1),所述输送辊架(1)的底部设有多个支架(2),所述支架(2)的底部设有行走轮(3),所述输送辊架(1)设有限位调节机构(4),所述限位调节机构(4)包括设置在输送辊架(1)底部的一对滑杆(5),每个所述滑杆(5)的下方设有与之平行的转动螺杆(6),所述转动螺杆(6)由正向螺杆(7)和反向螺杆(8)组成,所述正向螺杆(7)上螺纹连接有第一滑块(9),所述反向螺杆(8)螺纹连接有第二滑块(10),所述滑杆(5)的两端分别设有第一滑筒(11)和第二滑筒(17),所述第一滑筒(11)经连接架与第一滑块(9)连接,所述第二滑筒(17)经连接架...

【技术特征摘要】
1.一种全自动晶圆贴膜送料装置,其特征在于:包括输送辊架(1),所述输送辊架(1)的底部设有多个支架(2),所述支架(2)的底部设有行走轮(3),所述输送辊架(1)设有限位调节机构(4),所述限位调节机构(4)包括设置在输送辊架(1)底部的一对滑杆(5),每个所述滑杆(5)的下方设有与之平行的转动螺杆(6),所述转动螺杆(6)由正向螺杆(7)和反向螺杆(8)组成,所述正向螺杆(7)上螺纹连接有第一滑块(9),所述反向螺杆(8)螺纹连接有第二滑块(10),所述滑杆(5)的两端分别设有第一滑筒(11)和第二滑筒(17),所述第一滑筒(11)经连接架与第一滑块(9)连接,所述第二滑筒(17)经连接架与第二滑块(10)连接,所述输送辊架(1)的两侧分别设有第一限位板架(12)和第二限位板架(13),所述第一限位板架(...

【专利技术属性】
技术研发人员:沈磊
申请(专利权)人:上海幂帆电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:上海;31

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