一种氟化氢钢瓶除水的方法技术

本发明专利技术公开了一种氟化氢钢瓶除水的方法，属于氟化氢气体纯化技术领域。所述方法包括如下步骤：(1)设置氟化氢钢瓶瓶体温度为50℃～60℃，从钢瓶上部通入氟气和氮气混合气，进入钢瓶的氟气与钢瓶中的水分接触后，除去钢瓶中的水分，得到产物1；(2)对反应后的钢瓶依次反复进行“抽真空—打氮气—抽真空”处理，收集处理后的气体至尾气回收装置，即完成了氟化氢钢瓶的除水。本发明专利技术处理氟化氢钢瓶效率高，处理水分彻底，且工艺简单，无污染。

A method of removing water from HF cylinder

【技术实现步骤摘要】
一种氟化氢钢瓶除水的方法
本专利技术属于氟化氢气体纯化
，涉及一种氟化氢钢瓶除水的方法。
技术介绍
随着集成电路产业的不断发展，市场对电子气体纯度的要求和需求量日益增加，对盛装产品的钢瓶也提出更高的要求。客户使用后的钢瓶内会残留大量水分。客户长期使用后的钢瓶内壁粗糙，水分更容易吸附在钢瓶内壁，增大钢瓶水分处理难度。钢瓶中残存的水分不仅会严重影响产品质量，还会大大缩短钢瓶的使用寿命。因此钢瓶的水分处理是生产过程中极为关键的环节。目前常用的钢瓶除水方式是采用对钢瓶加热升温，再向钢瓶充入氮气或者其他惰性气体，抽空，反复多次进行“充气—抽空”处理。苏州金宏气体股份有限公司的专利CN108687574A即是采用加热抽空的方式去除钢瓶中的水分；黎明化工研究设计院有限责任公司的专利CN109838686A同样采用加热抽空的方式去除钢瓶中的水分。该方法处理效率低，周期长，且处理效果差，难以将钢瓶水分处理到较好水平。尤其是盛装腐蚀性介质的钢瓶，长期使用后，钢瓶内壁会变粗糙，更容易积存水分，加大钢瓶水分处理难度。专利
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，包括如下步骤：/n(1)设置氟化氢钢瓶瓶体温度为50℃～60℃，从钢瓶上部通入氟气和氮气混合气，进入钢瓶的氟气与钢瓶中的水分接触后发生如式Ι所示的反应，除去钢瓶中的水分，得到产物1：/n2F

【技术特征摘要】
1.一种氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)设置氟化氢钢瓶瓶体温度为50℃～60℃，从钢瓶上部通入氟气和氮气混合气，进入钢瓶的氟气与钢瓶中的水分接触后发生如式Ι所示的反应，除去钢瓶中的水分，得到产物1：
2F2+2H2O→4HF+O2I
(2)对反应后的钢瓶依次反复进行“抽真空—打氮气—抽真空”处理，收集处理后的气体至尾气回收装置，即完成了氟化氢钢瓶的除水。


2.根据权利要求1所述的氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，步骤(1)中所述的氟气和氮气混合气的压力为0.2～0.3MPa，氟气的体积占混合气总体积的20％～40％；反应时间为5～10min。


3.根据权利要求1所述的氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，步骤(1)中所述氟化氢钢瓶的初始含水量为1×10-6～100×10-6。


4.根据权利要求1所述的氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，步骤(1)在通入氟气和氮气混合气之前，对氟化氢钢瓶进行抽真空预处理，真空度小于等于1KPa。


5.根据权利要求1所述的氟化氢钢瓶除水的方法，其特征在于，步骤(2)所述“抽真空—打氮气—抽真空”处理中每次抽真空的真空度小于等于1KPa，每次打氮气后钢瓶中的氮气压力为0.2～0.3MPa。


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【专利技术属性】
技术研发人员：王云飞，李海军，沙婷，张明杰，孙秋丽，鲁毅，张雷，李丹丹，郑艺，
申请(专利权)人：中船重工邯郸派瑞特种气体有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13