纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板；壳体的一端固定有气体输入端口，另一端安装有用于导入电和气的法兰；法兰上安装有电极组；电极组的气管一端通过细管与气体输入端口相连，气管的另一端通过第一电极接至绝缘放电室；绝缘放电室与气体输入隔离器相连；气体输入隔离器的圆周面上缠绕有射频功率感性负载；射频功率感性负载的一端接地，另一端接电极组的电极R端。

Manual power matching system for vacuum plasma lighting with pure capacitance regulation

【技术实现步骤摘要】
纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统
本技术涉及半导体
，特别涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统。
技术介绍
半导体行业和真空镀膜行业里经常用到射频电子发生器以产生要用的离子，射频电子发生器装置一般包括前端的射频功率源、中间的射频功率匹配系统以及后端的射频电子发生器。现有的射频功率匹配系统采用人工手动利用调节旋钮在现场对可调电容Cl、C2、C3的容值进行调节，由于绝缘放电室为陶瓷材料，经过的通道较短时，所达到的效果不佳。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种使气体电离并保持电离状态，减少电容的调节频次的纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统。实现本技术目的的技术方案是：一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；所述壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；所述壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体（1）；所述壳体（1）的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头（2）和用于外界电源的航空接头（12）；所述壳体（1）内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关（3），以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板（4）；所述壳体（1）的一端固定有气体输入端口（5），另一端安装有用于导入电和气的法兰（7）；所述法兰（7）上安装有电极组（6）；其特征在于：所述电极组（6）的气管（14）一端通过细管（13）与气体输入端口（5）相连，气管（14）的另一端通过第一电极接至绝缘放电室（8）；所述绝缘放...

【技术特征摘要】
1.一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体（1）；所述壳体（1）的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头（2）和用于外界电源的航空接头（12）；所述壳体（1）内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关（3），以及用于对输入的射频功率震荡用的起辉震荡驱动板（4）；所述壳体（1）的一端固定有气体输入端口（5），另一端安装有用于导入电和气的法兰（7）；所述法兰（7）上安装有电极组（6）；其特征在于：所述电极组（6）的气管（14）一端通过细管（13）与气体输入端口（5）相连，气...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈晓东，
申请(专利权)人：常州鑫立离子技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32