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本实用新型涉及一种纯电容调节的真空等离子体起辉用手动功率匹配系统，包括壳体；壳体的一端固定有用于输入射频功率的射频功率输入接头和用于外界电源的航空接头；壳体内设有可调射频匹配电容C1、C2、C3，用于控制可调电容C3投切的电容切换开关，以及...
该专利属于常州鑫立离子技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州鑫立离子技术有限公司授权不得商用。

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