蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法技术

形成于掩模片(15)的有效部(YA)以横跨被蒸镀基板的多个有源区域(3)的方式进行设置，有效部(YA)具有第一区域(YA1)以及第二区域(YA2)，第一区域(YA1)按照每个有源区域(3)而设置为与有源区域(3)对应的形状，在第二区域(YA2)且第一区域(YA1)外设置有对多个蒸镀孔(H)进行遮蔽的遮蔽部(25)。

Evaporated mask and the manufacturing method of evaporated mask

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法
本专利技术涉及一种蒸镀掩模以及蒸镀掩模的制造方法。
技术介绍
如专利文献1所记载那样，在有机EL显示装置中，在各像素上图案化形成发光层时，使用蒸镀掩模。如图18的(a)所示，将分别为片状的多个覆盖片112与多个支撑片113呈格子状且相互正交地安装于具有框开口部111a的框状的掩模框111。多个覆盖片112以及多个支撑片113在安装于掩模框111时，向外架设(拉伸)两端部并且将两端部附近熔接于掩模框111。由此，将多个覆盖片112以和与掩模框111的长边方向(纸面中的上下方向)正交的短边方向(纸面中的左右方向)平行的方式安装于掩模框111。此外，将多个支撑片113以与掩模框111的长边方向平行的方式安装于掩模框111。接着，将形成有对位标记的对准片114以对位标记来到规定位置的方式沿框开口部111a的短边安装于掩模框111。并且，以对位标记为基准，将短条状的多个掩模片115的两端部向外架设(拉伸)并且将两端部附近熔接于掩模框111。在掩模片115形成有多个有效部115本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的特征在于，/n具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，/n所述有效部具有第一区域和第二区域，/n所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，/n在所述第二区域中设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种蒸镀掩模，其用于在设置有多个排列有参与显示的像素的有源区域的被蒸镀基板的所述像素上蒸镀蒸镀层，所述蒸镀掩模的特征在于，
具有掩模片，所述掩模片设置有以横跨所述多个有源区域的方式排列形成有多个蒸镀孔的有效部，
所述有效部具有第一区域和第二区域，
所述第一区域具有与所述有源区域对应的形状，
在所述第二区域中设置有对所述第一区域的形状进行限定并对所述多个蒸镀孔中的一部分蒸镀孔进行遮蔽的遮蔽部。


2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部以横跨所述第二区域所包含的多个蒸镀孔的方式进行设置。


3.根据权利要求1或2所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部设置于与所述掩模片中的、和所述被蒸镀基板对置的第一面相反侧的第二面。


4.根据权利要求1至3中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部为树脂。


5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述遮蔽部为光固化性树脂。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述有效部为正方形或长方形。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
在所述有效部中设置有形状不同的多个所述第一区域。


8.根据权利要求1至7中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述第一区域包含供所述第二区域从该第一区域的一边朝向内部方向突出的切口，
在所述第一区域外且被所述切口包围的区域内的所述多个蒸镀孔被所述遮蔽部遮蔽。


9.根据权利要求1至8中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，
所述第二区域包含浮岛部，所述浮岛部被所述第一区域包围的区域且不与该第一区域的外形接触。


10.一种蒸镀掩模的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山渕浩二，中岛信作，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP