【技术实现步骤摘要】
一种镀铝机的蒸发舟装置
本技术涉及镀铝机
,更具体地说,本技术涉及一种镀铝机的蒸发舟装置。
技术介绍
镀铝机是在真空条件下,利用电子束加热待蒸材料,使之气化蒸发后凝结在晶片表面上成膜的设备,蒸发舟是其中的的重要部件。专利申请公布号CN204714883U的技术专利公开了一种真空镀铝机蒸发舟装置。其包括复式电极、简式电极和蒸发舟。其特征在于所述复式电极由电极柱、电极筒、夹头组成。该技术提供的复式电极结构通过安装夹头的方式取代传统的导电电极。当导电电极损坏时,只需更换夹头即可,无需把整个电极换掉,这样不仅节省物料损耗,且夹头的价格也比整个导电电极的价格便宜很多。蒸发舟的排列方式采用两排交错式排列,这使得镀铝后的产品表面光滑、铝层均匀、提高镀铝产品的质量;该技术的真空镀铝机蒸发系统结构可明显提高蒸发舟的使用寿命。但是其在实际使用时,仍旧存在较多缺点,如该技术中。蒸发舟本体直接放置在电极上,虽便于更换操作,但可能因为振动等而脱落,从而影响镀铝机正常工作。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷 ...
【技术保护点】
1.一种镀铝机的蒸发舟装置,包括蒸发舟组件(1),其特征在于:所述蒸发舟组件(1)包括蒸发舟本体(2)和承托组件(3),所述蒸发舟本体(2)设于承托组件(3)上;/n所述承托组件(3)包括第一电极块(4)和第二电极块(5),所述第一电极块(4)和第二电极块(5)内侧均开设有第一凹槽(6)、第二凹槽(7)、第三凹槽(8)、第四凹槽(9)和第五凹槽(10),所述第一凹槽(6)内部设有挡板(11)和第一弹簧(12),所述挡板(11)顶部固定设有拨杆(13),所述拨杆(13)设于第五凹槽(10)内部,所述挡板(11)底部开设有卡槽(14),所述第三凹槽(8)内部设有竖杆(15)和连 ...
【技术特征摘要】
1.一种镀铝机的蒸发舟装置,包括蒸发舟组件(1),其特征在于:所述蒸发舟组件(1)包括蒸发舟本体(2)和承托组件(3),所述蒸发舟本体(2)设于承托组件(3)上;
所述承托组件(3)包括第一电极块(4)和第二电极块(5),所述第一电极块(4)和第二电极块(5)内侧均开设有第一凹槽(6)、第二凹槽(7)、第三凹槽(8)、第四凹槽(9)和第五凹槽(10),所述第一凹槽(6)内部设有挡板(11)和第一弹簧(12),所述挡板(11)顶部固定设有拨杆(13),所述拨杆(13)设于第五凹槽(10)内部,所述挡板(11)底部开设有卡槽(14),所述第三凹槽(8)内部设有竖杆(15)和连接条(16),所述竖杆(15)贯穿设于连接条(16)上,所述连接条(16)底部固定设有第二弹簧(17),所述连接条(16)顶部一侧固定设有压块(18),所述压块(18)设于第四凹槽(9)内部,所述连接条(16)顶部一侧固定设有卡条(19),所述卡条(19)设于第二凹槽(7)内部。
2.根据权利要求1所述的一种镀铝机的蒸发舟装置,其特征在于:所述卡条(19)顶部设置为斜坡型,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵光剑,徐继伟,刘建国,冯怀玉,张连华,杨杰,张发朋,刘珩,
申请(专利权)人:青州金青云新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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