一种平面抛光装置制造方法及图纸

一种平面抛光装置，包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。本实用新型专利技术以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得工件的抛光精度更高，也使得抛光盘的研磨更加均匀，寿命更长。

A plane polishing device

【技术实现步骤摘要】
一种平面抛光装置
本技术主要涉及平面抛光机领域，具体涉及一种平面抛光装置。
技术介绍
现今的电子工艺产品如水晶振子基片、硅片、铌酸锂基片等，不仅对表面平整度有极高的要求，而且也要求基板的两端平行且不具有晶体取向误差，根据传统的抛光方法，抛光模具的表面似乎符合要求，但其表面形状易于更换，需要进一步修改，而且传统的抛光方法加工时，操作者的加工工艺更加严格，所以使用传统的抛光方法生产效率低，难度更大。因此，为了保证元件的性能和降低抛光成本，目前这些电子元件最终采用超精密抛光技术进行处理。超精密平面抛光机是用于各种精度要求很高的零件的加工机器，其工作时，电机带动主轴旋转，主轴再带动抛光盘旋转，而零件在抛光盘上做从动运动，但是其摩擦的轨迹比较单一，抛光效果不好，而且对抛光盘同一位置的磨损较严重，影响抛光盘的寿命。
技术实现思路
为了解决克服现有的平面抛光机的抛光效果不好、使用寿命较短的不足，本技术提供了一种平面抛光装置，以曲柄摇杆为核心原理的摆动机构，配合上端的往复平动的抓手，使得工件在抛光盘上的运动更加复杂无序，从而使得工件的抛光精度更高，也使得抛光盘的研磨更加均匀，寿命更长。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种平面抛光装置，包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。所述顶部摆动机构需要修正作为摇杆的工件的抓握运动，以实现小角度。因此，本专利设计的摇杆机构的行程和返程行程是工作行程。摆动机构设计为无急回特性的曲柄摇杆机构。进一步，所述抓手呈圆心角为150°的圆弧状，尾部做一定的延长，并在延长杆上开出两个大小不同的孔，用于与支撑杆和连接杆的联接。所述圆弧状抓手内环半径为r1，外环半径为r2，r1＜r2，并且r1、r2根据不同的抛光装置，不同的抛光盘大小可取不同的值。优选的，开口两端设有两个小孔，用于安装修整环，修整环可防止工件在加工运动时飞出抓手范围，保证工件在预定范围内完成加工。针对不同工件和不同的抛光装置，工件的摆角不同，根据不同摆角，摇杆的摆角也相应可以取适当值，而曲柄与摇杆的长度应该满足：其中，为摇杆的摆动角，a为曲柄长度，c为摇杆长度。所述顶部摆动机构包括转轮、可伸缩连杆、滑块、液压缸和工件夹具，所述转轮、可伸缩连杆和滑块组成曲柄滑块结构，电机带动转轮转动，通过可伸缩连杆带动滑块在滑轨上往复平动，滑块下部连接液压缸，液压杆底部连着工件夹具，液压缸配置控制系统，可根据工件厚度人工控制液压缸的升降，以调整工件与抛光盘的接触，以及设置适当的压力，其中，滑块平移的长度l与抛光盘的之间D应满足以下关系：l≤kD其中k为系数，取0.75～0.85。进一步，所述可伸缩连杆可据抛光盘大小以及参考其他参数合理设置其长度，从而改变夹具的平动幅度，实现预期的摆动以及加工效果。进一步的，所述可伸缩连杆与支撑杆、抓手之间采用销轴联接。本技术的技术构思为：曲柄摇杆机构制造方便，运动副均为低副，能够承受较大负荷，而且速度可以控制；虽然在实现驱动杆的运动规律方面灵活性较差，为了实现半平面运动，如本专利所预期的，实现摆动运动时，更合适；连杆机构是一种即先进又合理，实用的一种机构。本技术的有益效果主要表现在：解决了目前抛光机抛光工件时工件的运动轨迹单一导致工件加工精度不够以及抛光盘磨损严重、寿命较短的问题，提供了一种使得工件抛光精度更高，效率更高的结构，并且使得抛光盘的磨损更加均匀，工作寿命更长，节省成本。附图说明图1为本技术平面抛光装置机构的主视图图2为本技术平面抛光装置中曲柄摇杆机构的示意图图3为本技术所述曲柄摇杆机构中的抓手示意图图4为本技术中的工件加工智能调整反馈优化系统流程图具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步描述。参照图1～图4，一种平面抛光装置，主要结构示意图如图1，包括平行摆动机构和抛光盘上端平动机构，参照图2的平行摆动机构主要为曲柄摇杆机构，抛光盘上端平动机构为曲柄滑块机构带动。曲柄摇杆机构制造方便，运动副均为低副，能够承受较大负荷，而且速度可以控制。虽然在实现驱动杆的运动规律方面灵活性较差，为了实现半平面运动，如本专利所预期的，实现摆动运动时，更合适。现在在这个领域的连杆机构的研究也比较成熟，深入，应该说连杆机构是一种即先进又合理，实用的一种机构。所述平行摆动机构主要包括调速主动轮9、从动轮10、皮带12、支撑杆14、连接杆11、抓手15以及修整环。电机带动主动轮9，主动轮9通过皮带12带动从动轮10转动，两连接杆11分别于主从动轮联接，每个连接杆11另一端分别与抓手13联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手13在抛光盘上带动加工工件摆动。抓手13呈圆弧状，两抓手的相对位置不变，抓手两端设有修整环，防止零件加工时被甩出抓手范围之外。本实施例的摆动机构，需要修正作为摇杆的工件的抓握运动，以实现小角度。因此，本专利设计的摇杆机构的行程和返程行程是工作行程。摆动机构设计为无急回特性的曲柄摇杆机构。所述抓手(如图3)呈圆心角为150°的圆弧状，抓手的水平长度为b,尾部做一定的延长，整个摇杆的水平长度为c，并在延长杆上开出两个大小不同的孔，用于与支撑杆和连接杆的联接。所述圆弧状抓手内环半径为r1，外环半径为r2，r1＜r2，并且r1、r2根据不同的抛光机，不同的抛光盘大小可取不同的值。开口两端设有两个小孔，用于安装修整环，修整环可防止工件在加工运动时飞出抓手范围，保证工件在预定范围内完成加工。针对不同工件和不同的抛光机，工件的摆角不同，根据不同摆角，抓手13(即摇杆)的摆角也相应可以取适当值，而曲柄11与抓手13(即摇杆)的长度应该满足：其中，为抓手13(即摇杆)的摆角，a为曲柄11长度，c为抓手13(即摇杆)长度。进一步，为抓手13(即摇杆)摆动时两个极限位置之间的夹角。所述抛光盘上端结构包括转轮3、可压缩连杆4、滑块5、液压缸6和夹具7，转轮3、连杆4和滑块5组成曲柄滑块结构，电机带动转轮3转动，通过连杆4带动滑块5在滑轨上往复平动，滑块5下部连接液压缸6，液压缸6底部连着工件夹具7，液压缸配置控制系统，可根据工件厚度人工控制液压缸6的升降，以调整工件与抛光盘的接触，以及设置适当的压力。其中，滑块平移的长度l与抛光盘的之间D应满足以下关系：l≤kD其中k为系数，取0.75—0.85。进一步，所述可压缩连杆4可根据抛光盘大小以及参考其他参数合理设置其长度，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平面抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。/n

【技术特征摘要】
1.一种平面抛光装置，其特征在于，所述抛光装置包括平行摆动机构和顶部摆动机构，所述平行摆动机构为曲柄摇杆机构，所述顶部摆动机构为曲柄滑块机构；所述平行摆动机构包括调速制动电机、主动轮、皮带、从动轮、支撑杆、连接杆和抓手，所述调速制动电机带动主动轮，主动轮通过皮带带动从动轮转动，两连接杆分别于主从动轮联接，每个连接杆另一端分别与抓手联接，形成曲柄摇杆机构，从而带动抓手在抛光盘上带动加工工件摆动；所述抓手呈圆弧状，两抓手的相对位置不变。


2.如权利要求1所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述抓手呈圆心角为150°的圆弧状，尾部做一定的延长，并在延长杆上开出两个大小不同的孔，用于与支撑杆和连接杆的联接。


3.如权利要求1或2所述的一种平面抛光装置，其特征在于，所述圆弧状抓手内环半径为r1，外环半径为r2，r1＜r2，并且r1、r2根据不同的抛光机，不同的抛光盘大小可取不同的值。


4.如权利要求3所述的一种平面抛光装置，其特征在于，开口两端设有两个小孔，用于...

【专利技术属性】
技术研发人员：颜朝寿，周佩剑，蒋豪杰，郑水华，牟介刚，
申请(专利权)人：浙江工业大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33